公开(公告)号：CN101436506A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200810169778.X

申请日：2008-10-16

Applicant: 加州大学评议会

Inventor： A·K·施米德 ,  N·安德烈森

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H02N2/0095 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/20278 ,  H01J2237/28 ,  Y10T74/20348

Abstract: 本发明涉及一种用于定位透射电子显微镜试样的电动操纵器，其用于使TEM试样固定器以亚微米分辨率而平行于y－z平面进行定位，并在该y－z平面中旋转该试样固定器，所述操纵器包括基座(2)和用于将试样固定器连接到操纵器上的附连装置(30)，其特征在于，该操纵器还包括安装在基座上的至少三个纳米促动器(3a，3b，3c)，各纳米促动器呈现有顶端(4a，4b，4c)，该至少三个顶端限定该y－z平面，各顶端能在该y－z平面中相对于基座移动；与纳米促动器的顶端相接触的平台(5)；以及用于将平台压在纳米促动器顶端上的夹紧装置(6)；结果，纳米促动器可在y－z平面中相对于基座旋转该平台，并且平行于该y－z平面而平移该平台。

公开(公告)号：CN100373532C

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200410049044.X

申请日：2004-06-11

Applicant: FEI公司

Inventor： H·G·塔佩尔

IPC: H01L21/00 ,  G01N21/86

CPC classification number: G01N1/32 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/28

Abstract: 在半导体工业中，显微试样从基底中被切出以用于分析。就已知方法而言，要从基底上切下的试样与连接至操纵器的试样载体相连接，且试样从基底上被切下。随后，该试样被固定在TEM栅格上，并完全与试样载体分离开。根据本发明，试样载体(3)与试样(1)相连接，而试样载体(3)与操纵器(4)分离开。通过使与试样(1)相连接的试样载体(3)远大于(显微)试样(1)，并通过操纵试样载体(3)，使得连接至其上的显微试样的操纵-借助(宏观)操纵器-变得比操纵没有连接试样载体的试样(1)更加容易。此外，还示出了在操纵器(4)和试样载体(3)之间的具有较高自动化程度的机械连接。

公开(公告)号：CN105280464B

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201510581543.1

申请日：2015-06-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： I·米勒 ,  N·本格塞 ,  C·里德塞尔 ,  T·凯门 ,  J·雅各比 ,  A·托马 ,  M·多林 ,  D·蔡德勒 ,  J·基纳斯特 ,  G·本纳

IPC: H01J37/256 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H05H7/10 ,  H01J49/02

CPC classification number: H01J37/21 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31764 ,  H01J2237/31774

Abstract: 一种操作多波束粒子光学单元的方法，包括：(1)提供粒子光学部件的效应的第一设定，其中粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；(2)确定矩阵A；使得以下适用：，其中且，其中，表示在所述第一设定的情况下的部件的效应的改变，表示在所述第一设定的情况下的参数的改变；(3)确定矩阵S，使得以下适用：S·A＝DA，其中DA是对角矩阵；(4)限定表征期望的成像的参数的值；(5)提供所述部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：，其中且，其中，表示在所述第二设定的情况下部件的效应，并且表示所述参数的限定值。

公开(公告)号：CN109256312A

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201810762251.1

申请日：2018-07-12

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： A.施蒙兹 ,  H.多默

IPC: H01J37/20 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N1/286 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/31 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  G01N1/28

Abstract: 本发明涉及原位制备用于电子显微镜研究的显微镜样本的方法。所述方法借助粒子束设备实施，所述粒子束设备包括用于产生聚焦的带电粒子束的粒子束柱；用于承接样本块的样本支座和用于探测粒子束与样本材料之间相互作用的相互作用产物的探测器。所述方法包括步骤：a)提供具有裸露结构的样本块，所述裸露结构包括感兴趣的样本区域(ROI)；b)通过粒子束的作用在裸露结构中产生弯折棱边，从而使裸露结构的至少一部分朝向入射的粒子束变型；c)移动承接样本块的样本支座，使得包括在变型结构中的样本区域能够在粒子束设备中被观察和/或被加工。

公开(公告)号：CN108666192A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810233827.5

申请日：2018-03-21

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 岩堀敏行

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31749 ,  H01J37/04 ,  H01J37/1471

Abstract: 本发明的提供带电粒子束装置，其能够容易执行使入射到试样的电子束减速的电极与试样的适当且高精度的位置对齐。该带电粒子束装置(10)具有试样室(110)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)、以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。带电粒子束装置(10)具有电极部件(45)。该电极部件(45)设置为能够在电子束镜筒(13)的出射端部和试样载台(31)之间的插入位置与离开插入位置的退出位置之间移位，并形成有使电子束通过的电极贯通孔。带电粒子束装置(10)具有使电极部件(45)移位的驱动机构(42)、对电极部件(45)施加负电压的电源(20)、以及对试样室(11)和驱动机构(42)与电极部件(45)进行电绝缘的绝缘部件(43)。

公开(公告)号：CN104756223B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201380055784.1

申请日：2013-10-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明的试样收纳容器具备：将试样(6)收纳在与外部的环境状态不同的环境状态下的收纳容器(100)；带电粒子线能通过或透过的隔膜(10)；试样载物台(103)，其设于收纳容器(100)的内部，能在将收纳容器(100)的内外环境状态保持为不同的环境状态的状态下，使试样(6)相对于隔膜(10)的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部(104)，其从收纳容器(100)的外部操作试样载物台(103)的移动，以收纳试样(6)的状态设于带电粒子线装置的真空房间内。

公开(公告)号：CN104094096B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201380007954.9

申请日：2013-02-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 盐野正道 ,  西村雅子 ,  许斐麻美

IPC: G01N1/30 ,  G01N1/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: G01N1/30 ,  G01N1/28 ,  G01N1/2806 ,  G01N1/31 ,  G01N1/34 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/28

Abstract: 减少水生生物内外的渗透压差，防止从生物试样内部的脱水，由此，不会破环浸渍于离子液体水溶液中的水生生物的自然的形态，且保持外骨骼及关节部的柔软性。首先向浓度低的离子液体投入水生生物，使离子液体的浓度连续升高，由此在保持水生生物的生物体时的形状的状态下，将水生生物内的水分置换成浓度高的离子液体水溶液。通过利用自然干燥产生的缓慢的离子液体水溶液的浓度上升，由此减少水生生物内外的渗透压差并使水生生物内部的离子液体浓度连续升高。

公开(公告)号：CN103842471B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201280045309.1

申请日：2012-10-26

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝高新材料公司

Inventor： 森本一光 ,  足达祥卓 ,  齐藤昭久 ,  小柳津英二 ,  丰岛正规

IPC: C09K11/00 ,  C09K11/79 ,  C09K11/80 ,  G21K4/00 ,  H01J37/244

CPC classification number: C09K11/7774 ,  G21K4/00 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/28 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明提供了在含有稀土氧化物烧结体的固体闪烁体中，该固体闪烁体的光输出从最大值变为该最大值的1/e需要的时间，即余辉时间为200ns以下的固体闪烁体。所述稀土氧化物烧结体优选具有由下述通式（1）表示的组成：[化1]LnaXbOc：Ce（1）（式中，Ln为选自Y、Gd及Lu的一种以上的元素，X为选自Si、Al及B的一种以上的元素，a、b及c满足1≤a≤5、0.9≤b≤6、2.5≤c≤13）。

公开(公告)号：CN102064074B

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201010550058.5

申请日：2010-11-18

Applicant: FEI公司

Inventor： A·亨斯特拉

IPC: H01J37/153

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明涉及用于粒子光学透镜的轴向像差的校正器。市售高分辨率透射电子显微镜（HR-TEM）和扫描透射电子显微镜（HR-STEM）现在装配有用于校正所谓的物镜的轴向球面像差Cs的校正器。不可避免地，其它像差变成限制性的像差。对于也称为Rose校正器的六极型校正器或其变体而言，由校正器引入的也称为A5的六重轴向像散和也称为D6的第六阶三叶像差被已知变成限制性的像差。本发明表明，通过在六极之间的交叉点上添加弱六极（126），可以制成无A5或D6的类似于Rose的校正器或类似于Crewe的校正器，或者通过添加弱六极和十二极两者，可以制成无A5和D6两者的校正器。

公开(公告)号：CN104798173A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060092.6

申请日：2013-11-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  许斐麻美 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/224 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/28

Abstract: 带电粒子线装置具备产生一次带电粒子线的带电粒子光学镜筒(2)、内部通过真空泵(4)真空排气的机箱(7)、构成机箱(7)的一部分并能够维持其内部空间的气密状态的第一隔膜(10)、配置于第一隔膜(10)与试样(6)之间的第二隔膜(50)，使在带电粒子光学镜筒(2)中产生的一次带电粒子线透过或通过第一隔膜(10)以及第二隔膜(50)，并照射到与第二隔膜(50)接触的状态的试样(6)上。