LEITFÄHIGE VERBINDUNG VON LASEREINGEBRACHTEN SIGNALLEITERBAHNEN MIT PASTENMETALLISIERTEN PADS AUF ALN SUBSTRATEN
    68.
    发明申请
    LEITFÄHIGE VERBINDUNG VON LASEREINGEBRACHTEN SIGNALLEITERBAHNEN MIT PASTENMETALLISIERTEN PADS AUF ALN SUBSTRATEN 审中-公开
    导电连接体的激光信号已经提出了与对AlN SUBSTRATES CONDUCTORS PASTENMETALLISIERTEN PADS

    公开(公告)号:WO2016110531A1

    公开(公告)日:2016-07-14

    申请号:PCT/EP2016/050198

    申请日:2016-01-07

    Applicant: CERAMTEC GMBH

    Inventor: SCHWARZE, Felix

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbringen von Metallisierungen auf keramische Substrate (1), wobei die Metallisierungen aus Pads (2) und aus Signalleiterbahnen (3) bestehen und die Pads (2) eine größere Dicke als die Signalleiterbahnen (3) aufweisen, und in zumindest einem Verfahrensschritt Metallisierungen mit dem an sich bekannten Siebdruckverfahren aufgedruckt werden. Damit kostengünstig Pads (2) mit einer großen Dicke und Signalleiterbahnen (3) mit einer geringen Dicke auf einem keramischen Substrat (1) aufgebracht werden können, werden die folgenden, der Reihe nach auszuführenden Verfahrensschritte vorgeschlagen: a) Verwendung eines keramischen Substrats (1) aus Aluminiumnitrid (AlN), b) Aufdrucken der Pads (2) mit dem Siebdruckverfahren unter Verwendung eines Siebs mit einem oder mehreren Druckvorgängen, c) Einbringen der Signalleiterbahnen (3) mit einem Laser, wobei der Laserstrahl entlang der zu schaffenden Signalleiterbahnen (3) auf das keramische Substrat (1) gelenkt wird und sich durch die Wärme des Laserstrahls am Ort des Auftreffens des Laserstrahls auf das Substrat (1) das Aluminiumnitrid des Substrats (1) in das elektrisch leitende Aluminium umwandelt, d) gleichzeitig oder nach dem Verfahrensschritt (c) Lenken des Laserstrahls auf den Verbindungsbereich (4) zwischen den Pads (2) und den Signalleiterbahnen (3) zur Schaffung eines elektrisch leitenden Verbindungsbereichs (4), der die Signalleiterbahnen (3) mit den Pads (4) elektrisch leitend verbindet, und e) optional galvanisches Aufbringen eines metallischen Überzugs auf die Pads (2) und die Signalleiterbahnen (3).

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于施加金属涂层的陶瓷基板(1),其特征在于,垫(2)和(3)由信号导体的金属化,并且具有垫片(2)具有比所述信号迹线(3),并且在更大的厚度 至少一个处理步骤的金属化都印有已知的丝网印刷法。 因此,具有大的厚度和信号导体迹线(3)垫可以被廉价地施加(2),其具有陶瓷基板(1),下面上的小的厚度,为了执行方法步骤提出:1)使用的陶瓷基板(1)的 氮化铝(AlN),b)将垫(2)与使用丝网与一个或多个打印操作的丝网印刷法的印刷的,c)将信号导体迹线(3)用激光,其特征在于,沿所述激光束被创建信号导体迹线(3) 在基板(1)的氮化铝被引导到陶瓷基板(1),并通过激光束的热量在所述激光束的入射位置的基板(1)插入所述导电铝上延伸,(d)中同时或方法步骤之后 c)该激光束引导到所述垫(2)和信号导体迹线(3),以创建一个EL之间的接合区域(4) 的信号导体迹线(3)与所述焊盘(4)导电地连接,以及e)任选地,在衬垫(2)和信号导体(3)的金属涂层的电应用的ektrisch导电连接部分(4)。

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