公开(公告)号：CA904933A

公开(公告)日：1972-07-11

申请号：CA904933D

Applicant: GEN ELECTRIC

Inventor： SALDI IDEAL T

IPC: H01J3/26 ,  H01J29/44 ,  H01J29/45 ,  H01J31/30

公开(公告)号：SU359868A1

公开(公告)日：1971-11-30

申请号：SU1373440

申请日：1969-10-29

IPC: G02F3/00 ,  H01J3/26

公开(公告)号：JP5027507B2

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：JP2006527232

申请日：2004-09-01

Applicant: エムディーエス インコーポレイテッド ドゥーイング ビジネス アズ エムディーエス サイエックスMDS INC., doing business as MDS SCIEX ,  ザ ユニヴァーシティー オブ ブリティッシュ コロンビア

Inventor： ジェイ ダグラス，ドナルド ,  ディン，チュアン−ファン ,  ロンドリー，フランク

IPC: H01J49/42 ,  G01N27/62 ,  G21K1/08 ,  H01J3/26 ,  H01J49/00

CPC classification number: H01J49/4225 ,  H01J49/4215

公开(公告)号：JP2007507064A

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：JP2006527232

申请日：2004-09-01

Applicant: エムディーエス インコーポレイテッド ドゥーイング ビジネス アズ エムディーエス サイエックスMDS INC., doing business as MDS SCIEX ,  ザ ユニヴァーシティー オブ ブリティッシュ コロンビア

Inventor： ジェイ ダグラス，ドナルド ,  ディン，チュアン−ファン ,  ロンドリー，フランク

IPC: H01J49/42 ,  G01N27/62 ,  G21K1/08 ,  H01J3/26 ,  H01J49/00

CPC classification number: H01J49/4225 ,  H01J49/4215

Abstract: ２次元の実質的四重極電場を用いてイオンを操作するための方法及び装置並びに２次元の実質的四重極電場を用いてイオンを操作するための装置の作成及び動作方法が説明される。 電場は振幅がＡ
２ の四重極調和成分及び振幅がＡ
３ の六重極調和成分を有する。 電場の六重極成分の振幅Ａ
３ はイオン選択及びイオンフラグメント化に関して電場の性能を改善するように選ばれる。

公开(公告)号：JP3844253B2

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：JP51678996

申请日：1994-11-18

Applicant: ワイト マーチン,フレデリック

Inventor： ワイト マーチン，フレデリック

IPC: H01J37/145 ,  A61M1/14 ,  G21K1/08 ,  H01J3/12 ,  H01J3/26 ,  H01J23/08 ,  H01J29/58 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/145 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/1534

公开(公告)号：JP2006520078A

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：JP2006507851

申请日：2004-03-10

Applicant: マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

Inventor： クルイト、ピーター

IPC: H01J37/12 ,  G03F7/20 ,  G09G20060101 ,  H01J3/02 ,  H01J3/07 ,  H01J3/14 ,  H01J3/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J3/07 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/063 ,  H01J37/12 ,  H01J37/153 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/151 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本発明は、発散する荷電粒子ビームを発生させるための荷電粒子源と、この発散する荷電粒子ビームを屈折させるための集束手段と、複数のレンズを有するレンズアレイとを具備し、このレンズアレイは、前記荷電粒子源と、前記集束手段との間に位置されている複数の荷電粒子小ビームを発生させるための装置に関する。 このようにして、前記集束手段の収差を減少させることが可能である。

公开(公告)号：JPS6234132B2

公开(公告)日：1987-07-24

申请号：JP9466382

申请日：1982-06-02

Applicant: YOKOGAWA HYUURETSUTO PATSUKAADO KK

Inventor： JON KERII ,  FUEI PEI KUO ,  BAANAADO EMU ORIBAA ,  JATSUKU DEII FUOSUTAA ,  UEIN SHII HATSUSE

IPC: G01R31/302 ,  H01J3/26 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/153 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H01L21/66

公开(公告)号：JPS5737873Y2

公开(公告)日：1982-08-20

申请号：JP8270678

申请日：1978-06-16

IPC: H01J3/26 ,  H01J29/76 ,  H01J29/82 ,  H01J31/26 ,  H01J31/28

公开(公告)号：JPS5732522Y2

公开(公告)日：1982-07-16

申请号：JP13130875

申请日：1975-09-25

IPC: H01J3/26 ,  H01J29/02 ,  H01J29/86 ,  H01J29/90 ,  H01J31/20 ,  H01J31/46

公开(公告)号：JPS55163499A

公开(公告)日：1980-12-19

申请号：JP4341780

申请日：1980-04-02

Applicant: CGR MEV

Inventor： DOMINIKU TORON

IPC: H01J3/02 ,  A61N5/10 ,  G21K1/093 ,  G21K5/04 ,  H01J3/26 ,  H01J49/20 ,  H05H7/00