公开(公告)号：KR1019960039176A

公开(公告)日：1996-11-21

申请号：KR1019960011922

申请日：1996-04-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카이미쓰히로 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판처리방법은, LCD용 기판을 얹어놓은대 위에 얹어놓고, 이 얹어놓는대 위에 얹어놓인 기판의 적어도 한쪽면과의 사이에 클리어런스가 형성되도록 기판에 커버를 씌우고, 클리어런스에 처리액을 도입하여, 기판의 적어도 한쪽면에 처리액을 접촉시켜서, 처리액으로 기판을 처리하고, 커버를 기판으로부터 떼어내고, 기판을 얹어놓는대로부터 꺼낸다.

公开(公告)号：KR1019960008976A

公开(公告)日：1996-03-22

申请号：KR1019950023817

申请日：1995-08-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다테야마기요히사 ,  노무라마사후미 ,  도모에다다카유키

IPC: H01L21/02

CPC classification number: B05C11/1039 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/08 ,  G03F7/3021 ,  Y10S134/902

Abstract: 피처리체를현상액으로현상하는현상액처리장치는, 피처리체를회전가능하게유지하는유지부재와, 피처리체에현상액을공급하는현상액공급노즐과, 피처리체로공급된현상액을흡인하는현상액흡인노즐과, 현상액공급노즐을피처리체위쪽으로이동시키는현상액공급노즐이동기구와, 현상액흡인노즐을피처리체위쪽으로이동시키는현상액흡인노즐이동기구를구비하고, 현상액공급노즐을이동시켜서현상액을피처리체에공급한후, 현상액흡인노즐을이동시켜서피처리체상의현상액을흡인한다.

Abstract translation: 用于开发与显影溶液在加工对象物的显影剂装置被保持，其旋转地保持加工对象部件，以及一个显影液吸嘴和显影液供给喷嘴供给的显影液被处理，抽吸供给显影剂体被处理，并且 具有用于显影液供给喷嘴移动机构为显影液供给喷嘴移动到目标位置，移动显影溶液吸引喷嘴朝向目标位置并且，通过移动显影液供给喷嘴的显影剂吸嘴移动机构后供给显影液的待处理 ，显影剂吸嘴移动以吸引待处理物体上的显影剂。

公开(公告)号：KR1019940024920A

公开(公告)日：1994-11-19

申请号：KR1019940008171

申请日：1994-04-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다테야마기요히사 ,  마쓰시타미치아키

IPC: H01L21/304

公开(公告)号：KR1019920007088A

公开(公告)日：1992-04-28

申请号：KR1019910015595

申请日：1991-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 코니시노부오 ,  다카모리히데유키 ,  아키모토마사미 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/20

Abstract: 내용 없음