公开(公告)号：CN108369887A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201780004430.2

申请日：2017-01-19

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 尼尔·科尔文 ,  哲-简·谢 ,  保罗·西尔弗斯坦

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/04 ,  H01J37/063 ,  H01J37/09 ,  H01J37/08 ,  H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/083

Abstract: 一种用于离子注入系统的光学面板，该光学面板包括一对孔径组件。每对孔径组件各自包括第一孔径构件、第二孔径构件以及孔径固件，其中该孔径固件将第一孔径构件固定至第二孔径构件。孔径尖端可以同样固定至第二孔径构件。第一孔径构件、第二孔径构件、孔径尖端和孔径固件中的一个或多个由耐熔金属、钨、钨镧合金、钨钇合金和/或石墨和碳化硅中的一种或多种制成。孔径组件可以限定离子注入系统中的引出电极组件、接地电极组件或其他电极组件。

公开(公告)号：CN107408484A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201580077898.5

申请日：2015-04-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 塙晓成 ,  菊池秀树 ,  谷口佳史 ,  矢口纪惠 ,  土桥高志 ,  渡边庆太郎 ,  玉置央和

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/224 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/295

Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。

公开(公告)号：CN103996593B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201410053976.5

申请日：2014-02-18

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 布赖恩·麦科米林 ,  亚瑟·萨托 ,  尼尔·本杰明

IPC: H01J37/09

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32642 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/30655 ,  H01L21/76898

Abstract: 本发明涉及一种用于等离子体晶片处理的混合边缘环，具体公开了一种在等离子体处理室中使用的边缘环组件，所述边缘环组件包括：射频导电环，其被定位在底板的环形表面上，并被配置为包围所述底板的上部，且在被定位在所述底板的上表面上的晶片的外缘下面延伸；以及晶片边缘保护环，其被定位在所述射频导电环的上表面的上方并且被配置为在所述晶片的外缘上延伸。所述保护环具有：厚度均匀的内缘部分，所述内缘部分在所述晶片的外缘上延伸；从所述内缘部分向外延伸到水平上表面的圆锥形上表面；以及内环槽，所述内环槽被定位在所述射频导电环的上表面上并且被配置为在所述晶片的外缘上延伸。

公开(公告)号：CN105161393A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201510512550.6

申请日：2004-09-07

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 ,  以色列实用材料有限公司

Inventor： 赖纳·克尼佩梅尔 ,  奥利弗·金茨勒 ,  托马斯·克门 ,  海科·米勒 ,  斯特凡·乌勒曼 ,  马克西米利安·海德尔 ,  安东尼奥·卡萨雷斯 ,  史蒂文·罗杰

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/14 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01J37/04 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/14 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。

公开(公告)号：CN102473576B

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201080033608.4

申请日：2010-07-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 金子朝子 ,  武藤宏史 ,  上野敦史

IPC: H01J37/09 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/31

CPC classification number: H01J37/09 ,  G01N1/286 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/31

Abstract: 本发明涉及配置在离子铣削装置的离子源(1)与试样(7)之间与试样接触的位置上的遮蔽板(8，10)，其特征在于，上述遮蔽板为在中心具有开口的圆形，并能够相对于通过上述开口的轴(11)进行旋转。并且，在上述遮蔽板的端部的上述离子源侧的面上设有槽，再有，在上述遮蔽板的端部设有倾斜面。由此，能够提供具有增加能够加工次数并能够高精度地进行遮蔽板的位置调整的遮蔽板的离子铣削装置。

公开(公告)号：CN104599927A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201410817305.1

申请日：2014-12-24

Applicant: 西安理工大学

Inventor： 臧源 ,  林涛 ,  李连碧 ,  封先锋 ,  马特 ,  袁思嘉

IPC: H01J37/09

CPC classification number: H01J9/14 ,  H01J37/09

Abstract: 本发明公开了一种多孔光阑的制备方法，包括以下步骤：对圆形金属钼片依次使用氨水、丙酮、酒精和去离子水进行超声清洗，并使用N2吹干；将经过N2吹干的圆形金属钼片进行烘干；使用匀胶机涂上正性光刻胶，并依次进行前烘、曝光、显影和坚膜处理，得到光刻后的圆形金属钼片；将光刻后的圆形金属钼片置于腐蚀液中搅拌，腐蚀液由磷酸、硝酸、乙酸和去离子水组成；用去离子水对腐蚀后的圆形金属钼片冲洗，然后进行刻蚀处理；将刻蚀后的圆形金属钼片进行双面蒸金处理，得到多孔结构光阑。本发明的一种多孔结构光阑的制备方法，解决了现有技术中存在的光阑加工效率低、成本高的技术问题。

公开(公告)号：CN101996839B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201010510825.X

申请日：2010-07-26

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 德克·普雷克扎斯 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/141

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。

公开(公告)号：CN103620693A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280028667.1

申请日：2012-04-26

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： M·J-J·威兰 ,  A·H·V·范费恩 ,  S·W·H·K·施藤布里克 ,  A·范邓布罗姆

IPC: G21K1/087 ,  H01J37/317 ,  G03F7/20 ,  H01J29/46 ,  H01J37/09

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子系统，例如，多束光刻系统，该带电粒子系统包括用于操纵一条或多条带电粒子束的操纵器装置，其中，操纵器装置在平面基板的平面中包括至少一个通孔，用于使至少一条带电粒子束从中穿过。每个通孔都被设置有电极，所述电极按照沿着所述通孔的周边的第一部分的第一组多个第一电极和沿着所述周边的第二部分的第二组多个第一电极布置。电子控制电路被布置用于根据沿着通孔的周边的第一和第二电极的位置向这些电极提供电压差。

公开(公告)号：CN103069536A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201180028500.0

申请日：2011-03-31

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 ,  以色列实用材料有限公司

Inventor： R.尼佩尔迈耶

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0437 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种带电粒子探测系统，其包含多个探测元件和接近探测元件的多孔径板。带电粒子小波束可穿过多孔径板的孔径，以入射到探测元件上。可提供多于一个的多孔径板，以形成接近探测器的多孔径板的板组。提供给多孔径板的合适电势可具有对于穿过板的孔径的多个带电粒子小波束的能量过滤特性。

公开(公告)号：CN102956420A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210425491.5

申请日：2012-10-30

Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所

Inventor： 李景烨 ,  李林繁 ,  王敏 ,  张阔 ,  沈蓉芳 ,  蒋海青 ,  张聪

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/09

Abstract: 本发明公开了一种电子射线源产生装置及产生低剂量率电子射线的方法。该电子射线源产生装置用于辐照一照射面，该电子射线源产生装置包括一用于输出一电子射线的电子射线发生器，在该电子射线的传输路径上设有一遮蔽板，用于遮挡该电子射线，该遮蔽板上开有用于漏射部分该电子射线的多个漏孔。本发明的电子射线源产生装置及产生低剂量率电子射线的方法能够输出低剂量率的电子射线，同时结构简单、成本低廉。