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公开(公告)号：KR101304248B1
公开(公告)日：2013-09-06
申请号：KR1020120012585
申请日：2012-02-08
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L35/34
Abstract: 본 발명은 필름형 열전소자의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 열전소재 필름을 얻은 다음, 상기 열전소재 필름을 전극이 형성된 기판 상에 전사하여 제조하는 필름형 열전소자의 제조방법을 제공한다. 바람직한 구현예에 따라서, 본 발명은 (1) 지지체 상에 희생막을 형성하는 단계; (2) 상기 희생막 상에 열전소재 필름을 형성하는 단계; (3) 상기 열전소재 필름 상에 폴리머 필름을 형성하여, 지지체 상에 희생막, 열전소재 필름 및 폴리머 필름이 형성된 적층체를 얻는 단계; (4) 상기 적층체의 희생막을 제거하여 지지체와 열전소재 필름을 분리하는 단계; (5) 상기 분리된 열전소재 필름을 전극이 형성된 기판 상에 전사하는 단계; 및 (6) 상기 열전소재 필름 상에 형성된 폴리머 필름을 제거하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 기판의 제약이 없으며, 열전 성능이 향상된 고품질의 필름형 열전소자를 제조할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020130067729A
公开(公告)日：2013-06-25
申请号：KR1020110134586
申请日：2011-12-14
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , H01L21/00 , G01N27/30
Abstract: PURPOSE: A nano-tube thin film gas sensor and a manufacturing method thereof are provided to obtain a gas sensor capable of mass production, with large area and high gas sensitivity, a rapid response speed, and an ultra-low sensing concentration limit. CONSTITUTION: A manufacturing method of a nano-tube thin film gas sensor comprises: a step of preparing a substrate(10) where an electrode(20) is formed; a step of depositing a metal thin film(32) on the electrode of the substrate; a step of forming a gas sensing layer including a metal nono-tube(34) by anodizing the metal thin film; and a step of etching the surface of the gas sensing layer. [Reference numerals] (AA) Anodization; (BB) Surface etching; (CC) Heat treatment
Abstract translation: 目的：提供一种纳米管薄膜气体传感器及其制造方法，以获得能够批量生产的气体传感器，具有大面积和高气体灵敏度，快速响应速度和超低感测浓度极限。 构成：纳米管薄膜气体传感器的制造方法包括：准备形成有电极（20）的基板（10）的工序; 在所述基板的电极上沉积金属薄膜（32）的步骤; 通过阳极氧化金属薄膜形成包括金属非管（34）的气体感测层的步骤; 以及蚀刻气体感测层的表面的步骤。 （标号）（AA）阳极氧化; （BB）表面蚀刻; （CC）热处理
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公开(公告)号：KR101210494B1
公开(公告)日：2012-12-10
申请号：KR1020100028684
申请日：2010-03-30
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B82B3/00
Abstract: 고분자미세구형체를이용하여제작된속이빈 반구체형태의 3차원구조산화물박막가스센서는기존의평면박막가스센서에비해 2~4배정도높은감응도를나타낸다. 이렇게 2~4배정도의감응도향상을가지는이유는속이빈 반구체형태의 3차원구조산화물박막에서그 표면적이평면박막에비해 2~4배이기때문이다. 다시말해서표면적증가가그에상응하는감응도향상으로나타나게된 것이다. 하지만, 속이빈 반구체형태의산화물박막가스센서가고감도유해공기차단시스템이나환경모니터링시스템에이용되기위해서는 2~4배보다더 큰감응도향상이필요한실정이다. 가령산화물나노입자구형체를이용하면평면박막가스센서대비 5배이상의감응도향상을가져올수 있다. 본발명에서는간단한플라즈마처리를이용하여속이빈 반구체산화물박막의나노구조형상을제어하고이를통해가스센서박막의감응도를획기적으로향상시켰다. 본발명에서개발된나노구조속이빈 반구체 TiO가스센서는종래에보고된 TiO가스센서보다더 높은 CO 가스감응도와빠른응답속도및 회복속도를보여준다.
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公开(公告)号：KR1020120089040A
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：KR1020110010134
申请日：2011-02-01
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: Methods for manufacturing a ferroelectric thin film and a planar structure device are provided to have excellent dielectric properties by optimizing an emission condition of an excimer laser. CONSTITUTION: A preliminary amorphous ferroelectric thin film(22) is formed on a substrate(10). The thickness of the preliminary amorphous ferroelectric thin film is more than 50nm. The preliminary amorphous ferroelectric thin film includes one or more selected from Ba, Sr, Pb, Ca, La, K, Na, Ti, Zr, Nb, Ta and Fe. An excimer laser is emitted to the preliminary amorphous ferroelectric thin film.
Abstract translation: 目的：通过优化准分子激光器的发射条件，提供制造铁电薄膜和平面结构器件的方法以具有优异的介电性能。 构成：在基板（10）上形成初步的非晶铁电薄膜（22）。 初步非晶铁电薄膜的厚度大于50nm。 初步的非晶铁电薄膜包括选自Ba，Sr，Pb，Ca，La，K，Na，Ti，Zr，Nb，Ta和Fe中的一种或多种。 将准分子激光器发射到初步的非晶铁电薄膜。
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公开(公告)号：KR1020110000917A
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：KR1020090058242
申请日：2009-06-29
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A sensor array for detecting temperature and multigas and a manufacturing method thereof are provided to be simply manufactured by forming gas sensitive layer arrays and to simultaneously obtain information about temperature and gas. CONSTITUTION: A sensor array for detecting temperature and multigas comprises an insulating substrate(110), a temperature sensitive layer(120), an insulating layer(130), electrode pattern arrays(146,148), and gas sensitive layer arrays(156,158). The temperature sensitive layer is formed on the insulating substrate. The insulating layer is arranged on the temperature sensitive layer. The electrode pattern arrays are arranged on the insulating layer. The gas sensitive layer arrays are arranged on the corresponding electrode pattern array.
Abstract translation: 目的：提供用于检测温度和多焦点的传感器阵列及其制造方法，其通过形成气体敏感层阵列简单地制造并且同时获得关于温度和气体的信息。 构成：用于检测温度和多焦点的传感器阵列包括绝缘衬底（110），温度敏感层（120），绝缘层（130），电极图案阵列（146,148）和气敏层阵列（156,158）。 在绝缘基板上形成温度敏感层。 绝缘层设置在感温层上。 电极图案阵列布置在绝缘层上。 气敏层阵列布置在相应的电极图案阵列上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090072767A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：KR1020070140976
申请日：2007-12-28
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L41/18
CPC classification number: H01L41/1876 , C04B35/491 , H01L41/0926
Abstract: An energy harvester is provided to enhance energy generation efficiency per unit area by manufacturing a cantilever of an energy harvester with a relaxor ferroelectric single crystal of a rhombohedral structure. A cantilever of an energy harvester includes a flexible substrate(302) and a piezoelectric single crystal layer(301). The piezoelectric single crystal layer is positioned on the flexible substrate. A polarizing direction of the piezoelectric single crystal layer is a vertical direction about the cantilever. A longitudinal direction of the cantilever has a piezoelectric constant d31. The piezoelectric single crystal layer is Pb(Zn2/3Nb1/3)O3-PbTiO3(PZN-PT) or Pb(Mg2/3Nb1/3)O3-PbTiO3(PMN-PT). The piezoelectric single crystal layer has a rhombohedral structure.
Abstract translation: 提供能量收集器以通过制造具有菱形结构的松弛剂铁电单晶的能量收集器的悬臂来提高每单位面积的能量产生效率。 能量收集器的悬臂包括柔性基板（302）和压电单晶层（301）。 压电单晶层位于柔性基板上。 压电单晶层的偏振方向是围绕悬臂的垂直方向。 悬臂的纵向具有压电常数d31。 压电单晶层为Pb（Zn2 / 3Nb1 / 3）O3-PbTiO3（PZN-PT）或Pb（Mg2 / 3Nb1 / 3）O3-PbTiO3（PMN-PT）。 压电单晶层具有菱形结构。
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公开(公告)号：KR100844432B1
公开(公告)日：2008-07-08
申请号：KR1020060062970
申请日：2006-07-05
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 개시된 유체 제어 밸브는 유체 유입구, 유체 유입구와 연통되며 밸브 개폐 단면을 갖는 유로, 유로와 연통된 유체 유출구를 가지며, 상부와 하부로 나누어진 밸브본체와, 상부본체와 하부본체 사이에 일측 단부가 고정되어 인가된 전압에 의해 형상이 변형될 때 유로를 개방하고, 전압이 해제되면 유로를 폐쇄하는 압전 액츄에이터로 이루어진다. 여기서 압전 액츄에이터는 적어도 2개가 병렬식으로 구비되며 밸브 개폐 단면과 면접되는 기밀패드에 의해 타측 단부가 서로 연결된다. 이러한 유제 제어 밸브는 인가되는 전압의 양에 따라 변위가 거의 선형적으로 비례하여 변화하는 압전 액츄에이터의 특성을 이용하여 유체가 흐르는 노즐을 개폐하므로 유체를 비례적으로 제어할 수 있고, 전압에 의해 구동되어 에너지 소모를 줄일 수 있는 효과가 있다. 또한, 특별한 제어기가 없어도 병렬로 연결된 복수의 압전 액츄에이터를 통해 히스테리시스를 감소시킬 수 있어 밸브를 형성하는 부품수가 적어지고, 부품의 조립에서 오는 제약조건이 없어 원하는 크기로의 밸브 가공과 제조가 용이할 뿐만 아니라, 가연성 가스를 이용한 공정에서도 발화가능성이 전혀 없어 사용환경에 대한 제약을 받지 않는 효과가 있다.
유량, 밸브, 압전 액츄에이터, 병렬, 히스테리시스, 탄성부재, 가압부재Abstract translation: 提供一种使用压电致动器的流量控制阀，以通过使用压电致动器的特性来成比例地流动并且减少能量消耗。 用于控制流量的流量控制阀包括阀体（100）和压电致动器（200）。 阀体分为上段和下段。 阀体包括流入孔（111），与流入孔连通的流路，具有与流路连通的喷嘴（112a）的流出孔（112）。 压电致动器的端部固定在上部和下部之间以定位成覆盖喷嘴。 压电致动器包括由施加电压变形的压电陶瓷。 压电致动器还包括附接在压电陶瓷的下表面上的弹性体。
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公开(公告)号：KR100712591B1
公开(公告)日：2007-04-30
申请号：KR1020050109193
申请日：2005-11-15
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 이동자를 2차원 평면 내에서 임의의 방향으로 구동시킬 수 있는 전방향성 초음파 압전 액츄에이터 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하며, 이 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 교류 전계의 인가에 의해 종방향 진동을 발생시키기 위한 제1 반파장 공진기와, 제1 반파장 공진기에 인가된 교류 전계와 90°의 위상차를 갖는 교류 전계의 인가에 의해 종방향 진동을 발생시키기 위한 제2 반파장 공진기와, 제1 및 제2 반파장 공진기를 연결하는 제1 진동빔을 구비하는 제1 액츄에이터와; 교류 전계의 인가에 의해 종방향 진동을 발생시키기 위한 제3 반파장 공진기와, 제3 반파장 공진기에 인가된 교류 전계와 90°의 위상차를 갖는 교류 전계의 인가에 의해 종방향 진동을 발생시키기 위한 제4 반파장 공진기와, 제1 액츄에이터의 진동빔에 교차 결합하며 제3 및 제4 반파장 공진기를 연결하는 제2 진동빔을 구비하는 제2 액츄에이터와; 제1 액츄에이터와 제2 액츄에이터의 진동빔의 교차 부분에 결합되며, 이동대상체를 마찰 구동시키기 위한 구동 부재를 포함하는 전방향성 초음파 압전 액츄에이터 시스템을 제공한다.
압전 세라믹스, 초음파 모터, 교류 전계, 교차형 진동빔, 전방향 구동Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够在二维平面内沿任意方向驱动动子的全向超声波压电致动器系统，为了实现该目的， 一个第一半波谐振器和所述第一施加的交流电场，使半波谐振器90℃下，用于产生振动;和一个第二半波谐振器，用于产生一个纵向振动由于具有相位差的交变电场的应用，所述 1和第二半波谐振器; 和第三半波谐振器，用于产生一个纵向振动由于交变电场，该第三施加AC电场，以与90℃下的半波谐振器的应用;由所述交变电场的应用具有用于产生的纵振动的相位差 第二致动器，具有第四半波谐振器，第二振荡光束交叉耦合到第一致动器的振荡光束并连接第三和第四半波谐振器; 一种全向超声波压电致动器系统，包括一个与第一致动器和第二致动器的振动梁的交点连接并用于摩擦地驱动一个移动物体的驱动件。
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公开(公告)号：KR100698438B1
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：KR1020050041376
申请日：2005-05-18
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H02N2/025 , H01L41/0973
Abstract: 본 발명은 압전 선형 모터, 보다 자세하게는 변위 확대 기구를 갖는 압전 선형 모터에 관한 것이다. 본 발명의 압전 선형 모터는 압전 세라믹과, 압전 세라믹 상에 장착된 변위 확대 기구와, 변위 확대 기구 상에 장착된 축과, 일정 마찰력을 갖고 축 둘레에 장착된 이동자를 포함한다. 상기 변위 확대 기구는 탄성 재료로 이루어지며, 압전 세라믹에 부착되는 기부 판 및 기부 판의 가장자리로부터 예각을 형성하며 내측으로 연장하고, 중심부가 축의 장착을 위하여 평평하게 형성되는 변형 판을 포함한다. 본 발명의 압전 선형 모터에 의하면, 동일한 시간에 달성 가능한 변위가 확대되어, 구동 대상물을 보다 빠르게 구동할 수 있게 된다.
압전 선형 모터, 압전 세라믹, 변위 확대 기구, 탄성체, 이동자, 포와슨 비-
公开(公告)号：KR1020060118927A
公开(公告)日：2006-11-24
申请号：KR1020050041376
申请日：2005-05-18
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H02N2/025 , H01L41/0973
Abstract: A piezoelectric linear motor with a displacement amplifying device is provided to drive a driving target with larger driving force and faster speed, by using the displacement amplifying device maximizing the displacement given by the deformation of a piezoelectric ceramic. A piezoelectric linear motor includes a piezoelectric ceramic(6) and a displacement amplifying device(9) installed on the piezoelectric ceramic. An axis is installed on the displacement amplifying device. A moving part has a constant friction force and is installed around the axis. The displacement amplifying device is made of an elastic material, and includes a base plate(91) attached to the piezoelectric ceramic and a displacement plate(92) having a flat center.
Abstract translation: 提供一种具有位移放大装置的压电线性电动机，通过使用使由压电陶瓷的变形给出的位移最大化的位移放大装置来驱动具有较大驱动力和较快速度的驱动目标。 压电线性电动机包括安装在压电陶瓷上的压电陶瓷（6）和位移放大装置（9）。 一个轴安装在位移放大装置上。 移动部件具有恒定的摩擦力并围绕轴安装。 位移放大装置由弹性材料制成，并且包括附接到压电陶瓷的基板（91）和具有平坦中心的位移板（92）。
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