公开(公告)号：KR101572746B1

公开(公告)日：2015-11-27

申请号：KR1020137031389

申请日：2012-05-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미츠오카가즈유키 ,  유겐 ,  오노히로키 ,  오리이다케히코 ,  이와시타미츠아키 ,  도시마다카유키 ,  하야시히데카즈 ,  사토요헤이 ,  오쿠치히사시 ,  도미타히로시

IPC: H01L21/302

Abstract: [과제] 기판의패턴내에들어간건조방지용의액체를비교적짧은시간에제거할수 있는기판처리방법등을제공한다. [해결수단] 표면에요철패턴이형성되고, 그오목부내에들어가도록상기패턴을덮는건조방지용의액체가부착된기판(W)을처리용기(31)내에반입하며, 이어서, 기판(W)을가열하고, 가압용의기체또는고압상태의유체를처리용기(31)내에공급하여, 패턴붕괴를야기하는정도까지건조방지용의액체가기화하기전에이 처리용기(31)내에고압분위기를형성하며, 상기패턴의오목부내에들어간상태그대로건조방지용의액체를고압상태로한 후, 처리용기(31)내의유체를고압상태또는기체상태로배출한다.

公开(公告)号：KR1020140030218A

公开(公告)日：2014-03-11

申请号：KR1020137031389

申请日：2012-05-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미츠오카가즈유키 ,  유겐 ,  오노히로키 ,  오리이다케히코 ,  이와시타미츠아키 ,  도시마다카유키 ,  하야시히데카즈 ,  사토요헤이 ,  오쿠치히사시 ,  도미타히로시

IPC: H01L21/302

Abstract: [과제] 기판의 패턴내에 들어간 건조 방지용의 액체를 비교적 짧은 시간에 제거할 수 있는 기판 처리 방법 등을 제공한다. [해결수단] 표면에 요철 패턴이 형성되고, 그 오목부내에 들어가도록 상기 패턴을 덮는 건조 방지용의 액체가 부착된 기판(W)을 처리 용기(31)내에 반입하며, 이어서, 기판(W)을 가열하고, 가압용의 기체 또는 고압 상태의 유체를 처리 용기(31)내에 공급하여, 패턴 붕괴를 야기하는 정도까지 건조 방지용의 액체가 기화하기 전에 이 처리 용기(31)내에 고압 분위기를 형성하며, 상기 패턴의 오목부내에 들어간 상태 그대로 건조 방지용의 액체를 고압 상태로 한 후, 처리 용기(31)내의 유체를 고압 상태 또는 기체 상태로 배출한다.

公开(公告)号：KR101568469B1

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：KR1020130082873

申请日：2013-07-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시히데카즈 ,  사토요헤이 ,  오쿠치히사히 ,  도미타히로시 ,  미츠오카가즈유키 ,  요우겐 ,  오노히로키 ,  오리이다케히코 ,  도시마다카유키

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01L21/02101 ,  B08B7/0021 ,  H01L21/02041 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67109

Abstract: 본발명은, 기판을처리용기에반입할때까지의건조방지용불소함유유기용제의휘발및 처리용기내에있어서의불소함유유기용제의분해를억제할수 있는기판처리방법등을제공하는것을목적으로한다. 표면이제1 불소함유유기용제에의해덮인기판(W)을처리용기(31) 내에반입하고, 이처리용기(31)에, 비점이제1 불소함유유기용제보다낮은제2 불소함유유기용제를원료로하는고압유체를공급한다. 그리고처리용기(31) 내에상기제1 불소함유유기용제와제2 불소함유유기용제의혼합물의고압유체분위기를형성하여, 기판의표면을덮는제1 불소함유유기용제를제거하고, 처리용기(31) 내의유체를고압유체또는기체의상태로배출하여건조시킨기판(W)을얻는다.

公开(公告)号：KR1020140011269A

公开(公告)日：2014-01-28

申请号：KR1020130082873

申请日：2013-07-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시히데카즈 ,  사토요헤이 ,  오쿠치히사히 ,  도미타히로시 ,  미츠오카가즈유키 ,  요우겐 ,  오노히로키 ,  오리이다케히코 ,  도시마다카유키

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01L21/02101 ,  B08B7/0021 ,  H01L21/02041 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67109

Abstract: The purpose of the present invention is to provide a substrate processing method etc. capable of suppressing the volatilization of a fluorine-containing organic solvent for dry prevention until a substrate is carried into a processing container, and the decomposition of the fluorine-containing organic solvent within the processing container. A substrate (W) in which the surface is covered by a first fluorine-containing organic solvent is carried into a processing container (31). A high pressure fluid made of a second fluorine-containing organic solvent in which the boiling point is lower than the first fluorine-containing organic solvent is provided to the processing container (31). A high pressure fluid condition of a compound of the first and second fluorine-containing organic solvents is formed within the processing container (31). The first fluorine-containing organic solvent which covers the surface of the substrate is removed. A dried substrate (W) is obtained by discharging the fluid within the processing container (31) as the state of the high pressure fluid or gas. [Reference numerals] (321) Feeding unit; (5) Control unit

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够抑制用于干燥的含氟有机溶剂的挥发直到基材被运送到处理容器中的基板处理方法等，并且含氟有机溶剂的分解 在处理容器内。 表面被第一含氟有机溶剂覆盖的基板（W）被携带到处理容器（31）中。 将由沸点低于第一含氟有机溶剂的第二含氟有机溶剂制成的高压流体提供给处理容器（31）。 第一和第二含氟有机溶剂的化合物的高压流体状态形成在处理容器（31）内。 除去覆盖基材表面的第一含氟有机溶剂。 通过将处理容器（31）内的流体作为高压流体或气体的状态排出来获得干燥的基材（W）。 （附图标记）（321）进给单元; （5）控制单元