플렉시블 유기물 기판 위의 스핀코팅과 원자층 증착법을이용한 유기/무기 다층 게이트 절연체 제조방법과, 이를이용한 유기 반도체 소자 제조방법
    4.
    发明授权
    플렉시블 유기물 기판 위의 스핀코팅과 원자층 증착법을이용한 유기/무기 다층 게이트 절연체 제조방법과, 이를이용한 유기 반도체 소자 제조방법 失效
    使用旋转涂层和原子层沉积的有机基底上的多层栅介质的制造方法以及使用其制造有机半导体器件的方法

    公开(公告)号:KR100882722B1

    公开(公告)日:2009-02-06

    申请号:KR1020070017165

    申请日:2007-02-20

    Abstract: 플렉시블 유기물 기판의 도금 공정을 이용한 게이트 전극의 형성 방법과, 게이트 절연체층으로는 유/무기 다층 절연체층을 적용하고 이를 이용하여 플렉시블 전자 소자에 적용할 수 있는 바닥 게이트(Bottom Gate)의 인버티드 스테거(Inverted Staggered) 구조의 유기/무기 다층 게이트 절연체 제조방법이 개시된다. 그 제조방법은 폴리이미드와 함께 이루어진 플렉시블 유기물 기판을 구비하고, 상기 플렉시블 유기물 기판 위에 니켈(Ni)이나 다른 전도성 전극을 플라즈마 표면 처리를 통하여 플렉시블 유기물 기판 위에 형성하고 유기/무기 다층 게이트 절연체를 스핀코팅과 원자층 증착법을 이용하여 형성한다.
    플렉시블, 유기물 기판, 스핀코팅, 원자층 증착법, 유기/무기 다층 절연체, 유기 반도체 소자.

    플렉시블 유기물 기판 위의 스핀코팅과 원자층 증착법을이용한 유기/무기 다층 게이트 절연체 제조방법과, 이를이용한 유기 반도체 소자 제조방법
    5.
    发明公开
    플렉시블 유기물 기판 위의 스핀코팅과 원자층 증착법을이용한 유기/무기 다층 게이트 절연체 제조방법과, 이를이용한 유기 반도체 소자 제조방법 失效
    使用旋转涂层和原子层沉积的有机基底上的多层栅介质的制造方法以及使用其制造有机半导体器件的方法

    公开(公告)号:KR1020080077517A

    公开(公告)日:2008-08-25

    申请号:KR1020070017165

    申请日:2007-02-20

    Abstract: A method for manufacturing an organic/inorganic multi layer gate insulator and a method for manufacturing an organic semiconductor using the same are provided to improve low leakage current characteristics on a flexible organic substrate by using spin coating and atomic layer deposition. Method for manufacturing an organic/inorganic multi layer insulator includes the steps of preparing a flexible organic substrate of polyimide, forming conductive metal including nickel, copper and gold on the flexible organic substrate by using electroplating or electroless-plating, and forming an organic/inorganic multi layer gate insulator on the flexible organic substrate by using spin coating and atomic layer deposition.

    Abstract translation: 提供一种制造有机/无机多层栅极绝缘体的方法和使用该方法制造有机半导体的方法,以通过使用旋涂和原子层沉积来改善柔性有机基板上的低漏电流特性。 制造有机/无机多层绝缘体的方法包括以下步骤:通过使用电镀或无电镀在柔性有机基板上形成聚酰亚胺的柔性有机基板,形成包括镍,铜和金的导电金属,并形成有机/无机多层绝缘体 通过使用旋涂和原子层沉积在柔性有机基板上的多层栅极绝缘体。

    TSV 구조를 구비한 집적회로 소자 및 그 제조 방법
    10.
    发明公开
    TSV 구조를 구비한 집적회로 소자 및 그 제조 방법 审中-实审
    TSV具有硅通孔结构的集成电路器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170021070A

    公开(公告)日:2017-02-27

    申请号:KR1020150115413

    申请日:2015-08-17

    Abstract: 집적회로소자는 TSV (through-silicon-via) 공간의일부인제1 관통홀을한정하는제1 측벽을가지는기판과, TSV 공간의다른일부를제공하고제1 관통홀과연통되는제2 관통홀을한정하는제2 측벽과, 제1 관통홀에언더컷영역을제공하도록 TSV 공간의내측을향해돌출된돌출부를가지는층간절연막과, 기판및 층간절연막을관통하여제1 관통홀및 제2 관통홀내에서연장된 TSV 구조와, 제1 관통홀및 제2 관통홀내에서 TSV 구조를포위하는비아절연막을포함한다.

    Abstract translation: 提供集成电路(IC)装置,其包括具有限定作为穿硅通孔(TSV)空间的一部分的第一通孔的第一侧壁的衬底,具有第二侧壁和突起的层间绝缘层,其中第二通孔 侧壁限定了提供TSV空间的另一部分并与第一通孔连通的第二通孔,并且突出部朝向TSV空间的内部突出,并且限定第一通孔中的底切区域,穿透基板的TSV结构, 所述层间绝缘层延伸穿过所述第一通孔和所述第二通孔;以及通孔绝缘层,其围绕所述第一通孔和所述第二通孔中的TSV结构。

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