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公开(公告)号：KR102162197B1
公开(公告)日：2020-10-06
申请号：KR1020180137314
申请日：2018-11-09
Applicant: 히라따기꼬오 가부시키가이샤 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
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公开(公告)号：KR101833586B1
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR1020140174955
申请日：2014-12-08
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G02B1/11
Abstract: 본발명은기재상에얇은산화알루미늄막을균일하게형성하여균일한미세요철형상의반사방지구조를얻을수 있는반사방지기능을가지는부재및 그제조방법을제공한다. 반사방지기능을가지는부재(10)는기재(11)와, 기재(11)의표면에형성된반사방지막(13)을구비하고있다. 반사방지막(13)은원자층퇴적법에의해형성된산화알루미늄막을, 고온의열수또는수증기에의해수열처리하는것에의해, 미세요철구조가형성된것이다.
Abstract translation: 本发明提供一种具有抗反射功能的部件及其制造方法，该部件能够在基板上均匀地形成薄的氧化铝膜以获得均匀的抗反射结构。 具有防反射功能的构件10包括基材11和形成在基材11的表面上的抗反射膜13。 防反射膜13通过利用热水或蒸汽对通过磁性层沉积法形成的氧化铝膜进行水热处理而形成。
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公开(公告)号：KR102002215B1
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：KR1020170072858
申请日：2017-06-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/683
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公开(公告)号：KR1020150068291A
公开(公告)日：2015-06-19
申请号：KR1020140169790
申请日：2014-12-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 장수명의유기 EL 모듈을제공하는것이다. 내부에발광부가되는유기층(4)을가진유기 EL 패널(2)과, 유기 EL 패널(2)의이면상에마련되어, 유기 EL 패널(2)의이면을봉지하는이면봉지판(6)과, 유기 EL 패널(2)의측면에마련되어, 유기 EL 패널(2)의측면을봉지하는측면봉지부재(7)와, 유기 EL 패널(2)의표면상에마련되어, 유기 EL 패널(2)의표면을봉지하는표면봉지판(8)과, 이면봉지판(6) 및표면봉지판(8) 중적어도한쪽의외표면과, 측면봉지부재(7)의외표면을덮는투명한보호피막(9)을구비한다.
Abstract translation: 提供使用寿命长的有机EL模块。 有机EL模块包括：有机EL面板（2），包括用作发光单元的有机层（4）; 设置在有机EL面板的后表面上以密封有机EL面板（2）的背面的背面密封板（6）; 设置在所述有机EL面板（2）的侧表面上以密封所述有机EL面板（2）的侧表面的侧表面密封构件（7）; 设置在有机EL面板（2）的表面上以密封有机EL面板（2）的表面的表面密封板（8）; 以及覆盖背面密封板（6）和表面密封板（8）的表面的至少一个外表面和侧面密封构件（7）的外表面的透明保护膜（9）。
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公开(公告)号：KR100835022B1
公开(公告)日：2008-06-03
申请号：KR1020060084744
申请日：2006-09-04
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명의 목적은 대형 FPD 기판의 반송실 내에 있어서의 위치 어긋남이나 깨짐 등의 이상을 확실하게 검출할 수 있는 기판처리장치 및 기판의 이상 검출방법을 제공하는 데에 있다. 본 발명에 있어서는, 반송장치(50)의 슬라이드 피크(513)에 기판(S)을 올려놓고, 반송실(20) 내로부터 게이트 개구(22d)를 거쳐 프로세스 챔버(10b)로 반입할 때에, 좌우로 배치된 한 쌍의 센서(70, 70)에 의해서 기판(S)의 양단부 근방의 파선 A, B로 나타낸 부위에 광선을 조사하여, 그 반사율 또는 투과율로부터 기판(S)의 위치 어긋남이나 결함 등의 검출을 행한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100978409B1
公开(公告)日：2010-08-26
申请号：KR1020080027985
申请日：2008-03-26
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
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公开(公告)号：KR1020030028394A
公开(公告)日：2003-04-08
申请号：KR1020020058297
申请日：2002-09-26
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H05H1/26
Abstract: PURPOSE: A plasma processing apparatus is provided to be capable of preventing foreign substance from being attached at a dielectric part between a high frequency antenna and a plasma generating part. CONSTITUTION: A plasma processing apparatus(100) is provided with a high frequency antenna(112), a high frequency supply voltage source(160) connected to the high frequency antenna, and a susceptor(106) for loading a process object body. The plasma processing apparatus further includes a dielectric part(120) between the high frequency antenna and the susceptor, a conductive part(170) between the high frequency antenna and the dielectric part, a ground circuit(180) connected to the conductive part, and an inductor(302) installed at the ground circuit.
Abstract translation: 目的：提供等离子体处理装置，以能够防止异物附着在高频天线和等离子体产生部件之间的介质部分。 构成：等离子体处理装置（100）设置有高频天线（112），连接到高频天线的高频电源（160），以及用于加载处理对象体的基座（106）。 等离子体处理装置还包括在高频天线和基座之间的介质部分（120），高频天线和电介质部分之间的导电部分（170），连接到导电部分的接地电路（180），以及 安装在接地电路上的电感器（302）。
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公开(公告)号：KR102100018B1
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：KR1020170179357
申请日：2017-12-26
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
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公开(公告)号：KR101961988B1
公开(公告)日：2019-03-25
申请号：KR1020160106752
申请日：2016-08-23
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
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公开(公告)号：KR1020170142889A
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：KR1020170072858
申请日：2017-06-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: (과제) 기판의탑재대에대하여돌몰이자유롭고, 기판의수수를행하기위한복수의리프트핀을구비한기판처리장치에있어서, 리프트핀의높이위치의검출을신속하게행하는것. (해결수단) 저부가기판과동일한크기로형성된용기(71) 내에점등회로가마련된지그(7)를준비한다. 용기(71)의저부는도전로플레이트(72)에의해구성되고, 한개의리프트핀(4)에대응하는영역 P1과다른영역 P2를절연하기위해영역 P1의주위에절연재(73)가마련되고, 점등회로의양단은각각영역 P1, S2에접속된다. 지그(7)를탑재대(2)에탑재하고, 영역 P1에 1개의리프트핀(4)을접촉시킨상태에서다른리프트핀(4)을영역 P2에접촉시키면, 리프트핀(4)끼리는전기적으로접속되어있기때문에, 지그(7) 내의 LED(77)가점등한다. 이때의광을광 검출부(60)에서검출하고, 조정대상의리프트핀(4)의서보모터(5)를제어한다.
Abstract translation: 本发明提供一种基板处理装置，其具有多个升降销，该升降销用于使基板的载置台上的石材脱离并进行基板的搬运，其中，能够迅速地检测升降销的高度位置。 （方案）准备在具有与基板形成为相同尺寸的底部的容器71中设置有点灯电路的夹具7。 容器71的底部由导电路径板72构成，并且绝缘材料73被放置在区域P1的周边上，以便使区域P1和与一个升降销4对应的区域P2绝缘， 电路的两端分别连接到区域P1和S2。 当夹具7安装在安装台2上并且其中一个提升销4与区域P1接触的状态下其他提升销4与区域P2接触时， 夹具7中的LED 77被指向或类似物。 此时的光由光学检测器60检测，并且要调节的升降销4的伺服电机5受到控制。
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