公开(公告)号：NL2003226A

公开(公告)日：2010-03-09

申请号：NL2003226

申请日：2009-07-17

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KEMPER NICOLAAS ,  ANTONEVICI ANCA ,  KATE NICOLAAS ,  OTTENS JOOST ,  BECKERS MARCEL ,  POLIZZI MARCO ,  RIEPEN MICHEL ,  KUIJPER ANTHONIE ,  STEFFENS KOEN ,  BAETEN ADRIANES

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2003225A1

公开(公告)日：2010-01-26

申请号：NL2003225

申请日：2009-07-17

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： DIRECKS DANIEL ,  DONDERS SJOERD ,  KEMPER NICOLAAS ,  PHILIPS DANNY ,  RIEPEN MICHEL ,  DUNGEN CLEMENS VAN DEN ,  BAETEN ADRIANES ,  EVANGELISTA FABRIZIO

IPC: G03F7/20