公开(公告)号：NL2007501A

公开(公告)日：2013-04-02

申请号：NL2007501

申请日：2011-09-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HOL SVEN ANTOIN JOHAN ,  AANGENENT WOUTER ,  CLIJSEN GEORGE ,  AKKERMANS JOHANNES ,  VEER JACOB KORNELIS ,  BOEIJ JEROEN ,  VERMEULEN JOHANNES

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2010565A

公开(公告)日：2013-10-29

申请号：NL2010565

申请日：2013-04-03

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： GROOT ANTONIUS FRANCISCUS ,  BROERS SANDER CHRISTIAAN ,  CADEE THEODORUS PETRUS MARIA ,  HOOGENDAM CHRISTIAAN ALEXANDER ,  HUANG YANG-SHAN ,  BOEIJ JEROEN ,  LOOPSTRA ERIK ROELOF ,  VERMEULEN JOHANNES PETRUS MARTINUS ,  VEN BASTIAAN LAMBERTUS

IPC: G03F7/20