公开(公告)号：NL2008353A

公开(公告)日：2012-10-02

申请号：NL2008353

申请日：2012-02-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： VERMEULEN JOHANNES ,  AKKERMANS JOHANNES ,  WAL MARINUS ,  BEERENS RUUD ,  HUANG YANG-SHAN ,  AANGENENT WOUTER

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2007036A

公开(公告)日：2012-01-31

申请号：NL2007036

申请日：2011-07-04

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  UNIV EINDHOVEN TECH ,  SORAMA

Inventor： AANGENENT WOUTER ,  VERMEULEN JOHANNES ,  BEERENS RUUD ,  SCHOLTE RICK ,  LOPEZ ARTEAGA INES

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2007501A

公开(公告)日：2013-04-02

申请号：NL2007501

申请日：2011-09-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HOL SVEN ANTOIN JOHAN ,  AANGENENT WOUTER ,  CLIJSEN GEORGE ,  AKKERMANS JOHANNES ,  VEER JACOB KORNELIS ,  BOEIJ JEROEN ,  VERMEULEN JOHANNES

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2009902A

公开(公告)日：2013-07-01

申请号：NL2009902

申请日：2012-11-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  BLEEKER ARNO ,  HENNUS PIETER ,  HOEKS MARTINUS ,  HOL SVEN ANTOIN JOHAN ,  SCHOOT HARMEN ,  SLAGHEKKE BERNARDUS ,  TINNEMANS PATRICIUS ,  WIJST MARC ,  ZAAL KOEN ,  CADEE THEODORUS PETRUS MARIA ,  BEERENS RUUD ,  FISCHER OLOF ,  AANGENENT WOUTER ,  BOSCH NIELS JOHANNES MARIA

IPC: G03F7/20