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公开(公告)号:WO2011102929A3
公开(公告)日:2012-02-02
申请号:PCT/US2011021626
申请日:2011-01-19
Applicant: IBM , GRUBER PETER A , LAURO PAUL A , NAH JAE-WOONG
Inventor: GRUBER PETER A , LAURO PAUL A , NAH JAE-WOONG
IPC: H01L21/3205
CPC classification number: H05K3/3452 , H01L21/4853 , H01L23/3157 , H01L23/49811 , H01L23/49816 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/742 , H01L2224/0401 , H01L2224/05647 , H01L2224/10145 , H01L2224/1131 , H01L2224/11472 , H01L2224/1148 , H01L2224/11849 , H01L2224/13021 , H01L2224/13022 , H01L2224/131 , H01L2224/1403 , H01L2224/742 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01038 , H01L2924/01042 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01087 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H05K3/3468 , H05K2201/09036 , H05K2201/09827 , H05K2201/09845 , H05K2203/0126 , H05K2203/043 , H05K2203/0557 , H05K2203/0594 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: A substrate comprising a plurality of wet-able pads formed on a surface of the substrate; and a solder resist layer deposited on the surface of the substrate is obtained. At least the solder resist layer is formed with recessed regions defining volumes adjacent the wet- able pads. Molten solder is directly injected into the volumes adjacent the wet-able pads, such that the volumes adjacent the wet-able pads are filled with solder and the solder solidifies forming a plurality of solder structures adhered to the wet-able pads. The substrate and the solder are re-heated after the solidification, to re-flow the solder into generally spherical balls extending above the outer surface of the solder resist layer. In an alternative approach, solder injection and solidification are carried out in a nitrogen environment or a forming gas environment, and the reflow step may be omitted.
Abstract translation: 一种衬底,包括形成在所述衬底的表面上的多个可湿性焊盘; 并且获得沉积在基板表面上的阻焊层。 至少阻焊层形成有限定与湿润垫相邻的体积的凹陷区域。 将熔融的焊料直接注入到与可湿性焊盘相邻的体积中,使得与可湿性焊盘相邻的体积被焊料填充,并且焊料固化形成粘附到湿润焊盘的多个焊料结构。 在固化之后,将基板和焊料重新加热,以将焊料重新流入延伸到阻焊层的外表面之上的大致球形的球体。 在替代方法中,焊料注入和凝固在氮气环境或形成气体环境中进行,并且可以省略回流步骤。
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公开(公告)号:AU2020224954A1
公开(公告)日:2021-09-30
申请号:AU2020224954
申请日:2020-02-11
Applicant: IBM
Abstract: According to an embodiment of the present invention, a method of producing a quantum computer chip includes performing a frequency measurement on a qubit chip bonded to a test interposer chip for qubits on the qubit chip at an operating temperature of the qubit chip. The method further includes pulling the qubit chip apart from the test interposer chip after performing the frequency measurement, and modifying a frequency of a subset of qubits after pulling the qubit chip apart from the test interposer chip. The method further includes bonding the qubit chip to a device interposer chip after modifying the frequency of the subset of qubits.
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公开(公告)号:DE112012003625T5
公开(公告)日:2014-05-15
申请号:DE112012003625
申请日:2012-08-29
Applicant: IBM
Inventor: HONG AUGUSTIN J , JUNG WOO-SHIK , DEVENDRA SADANA K , KIM JEEHWAN , NAH JAE-WOONG
IPC: H01L51/40
Abstract: Es werden Halbkugeln (18) und Kugeln (28) gebildet und für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet. Halbkugeln (18) werden verwendet, um ein Substrat zu bilden, welches eine obere Fläche und eine untere Fläche (12) aufweist. Die obere Fläche umfasst Spitzen von Säulen (10), welche einen Boden aufweisen, der an der unteren Fläche angebracht ist. Die Spitzen weisen eine Dichte auf, die an der oberen Fläche durch ein Feld von halbkugelförmigen Metallstrukturen (18) definiert ist, welche während eines Ätzverfahrens zum Entfernen von Substratmaterial herunter bis zu der unteren Fläche während des Bildens der Säulen als Maske fungieren. Die Säulen sind dicht und gleichmäßig und weisen einen mittleren Durchmesser im Mikromaßstab auf. Die Kugeln werden als unabhängige Metallkugeln oder Nanoteilchen für andere Anwendungen gebildet.
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公开(公告)号:DE112020002985T5
公开(公告)日:2022-03-10
申请号:DE112020002985
申请日:2020-06-17
Applicant: IBM
Inventor: LEWANDOWSKI ERIC PETER , NAH JAE-WOONG , YAU JENG-BANG , SORCE PETER JEROME
IPC: H01L21/60 , B82Y10/00 , G06N10/40 , H01L21/58 , H01L23/485 , H01L23/498 , H01L23/50 , H01L39/22
Abstract: Ein Verfahren zum Bilden einer Lötperle (122) schließt Vorbereiten einer Transferform (100), die eine Lötmittelsäule (112) aufweist, die sich von einem Formsubstrat (102) und durch eine erste Photoresistschicht (104) erstreckt und eine Form aufweist, die zum Teil durch eine zweite Photoresistschicht (108) definiert wird, die vor dem Überführen des Lötmittels entfernt wird; Bereitstellen eines Einheitensubstrats (114) mit einer benetzbaren Anschlussfläche (120); Anordnen der Transferform (100) und des Einheitensubstrats (114) in ausgerichtetem Kontakt, so dass die Lötmittelsäule (112) in Kontakt mit der benetzbaren Anschlussfläche (120) steht; Bilden einer metallischen Verbindung zwischen der Lötmittelsäule (112) und der benetzbaren Anschlussfläche (120), z.B. durch ein Kaltschweißverfahren oder ein Aufschmelzverfahren; und Entfernen des Formsubstrats (102) und der ersten Photoresistschicht (104) ein. Das Formsubstrat (102) und die Transferform (100) können flexibel sein. Die Transferform kann wenigstens eines aufweisen von: eine Benetzungsschicht über dem Formsubstrat (402), in welchem Fall eine Säule (112), die Aluminium enthält, aufgebracht und aufgeschmolzen werden kann; eine Keimschicht über dem Formsubstrat (402); und eine nichtbenetzende Schicht über der zweiten Photoresistschicht (408). Das Einheitensubstrat (114, 502) kann ein Durchgangsloch (118, 504) aufweisen und kann ein Interposer sein, der aus Silicium, Glas und/oder organischem Substratmaterial hergestellt ist. Das Verfahren kann ferner Befestigen des Interposers (114, 502) an eine Qubit-Halbleitereinheit (einen supraleitenden Chip) (300, 516) einschließen, wobei die Qubit-Halbleitereinheit (300, 516) einen Josephson-Übergang (304, 518) aufweist und wobei das Befestigen des Interposers (114, 502) an der Qubit-Halbleitereinheit (300, 516) Ausrichten des Lochs (118, 504) durch den Interposer (114, 502) auf den Josephson-Übergang (304, 518) einschließt, um einen Weg zum Zugang zu dem Josephson-Übergang (304, 518), insbesondere für die Durchführung von Einstellungen seiner baueigenen Frequenz, bereitzustellen. Die Lötmittelsäule (122) kann eine aus einer Mehrzahl von Lötmittelsäulen sein, die um das Loch (118) zwischen der Qubit-Halbleitereinheit (300) und dem Interposer (114) gebildet sind, um ein Maß an Wärmeisolation des Josephson-Übergangs (304) bereitzustellen, die eine kreisförmige Wand (200A, 200B) um die Qubits und zwischen dem Interposer (114) und dem supraleitenden Chip (300) bilden, wobei die kreisförmige Wand (200A, 200B) wenigstens eine hindurchgehende Lücke (202) aufweisen kann. Die Lötmittelsäule (122) kann eine aus einer Mehrzahl von Lötmittelsäulen (512) der Transferform sein, einschließlich einer ersten Lötmittelsäule (512) mit einem ersten Durchmesser und einer zweiten Lötmittelsäule (512) mit einem zweiten Durchmesser, wobei der erste Durchmesser größer als der zweite Durchmesser ist. Das Einheitensubstrat (602) kann ein Halbleitersubstrat aufweisen, das eine tiefe Vertiefung (604) aufweist, wobei eine Schaltungskomponente (608) in der tiefen Vertiefung (604) enthalten sein kann. Das Vorbereiten der Transferform (100) kann einschließen: Strukturieren der ersten und der
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公开(公告)号:GB2491739B
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:GB201214867
申请日:2011-01-19
Applicant: IBM
Inventor: GRUBER PETER , LAURO PAUL A , NAH JAE-WOONG
IPC: H01L21/48
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公开(公告)号:DE112021000300T5
公开(公告)日:2022-11-10
申请号:DE112021000300
申请日:2021-02-01
Applicant: IBM
Inventor: DANG BING , PANCOAST LEANNA , NAH JAE-WOONG , KNICKERBOCKER JOHN
IPC: H01M10/0585 , H01M10/0525
Abstract: Es werden Mikrobatterien und Verfahren zum Bilden von Mikrobatterien bereitgestellt. Die Mikrobatterien und die Verfahren gehen zumindest eines oder beides von Randversiegelungsproblemen für Ränder eines Stapels, der einen Teil einer Mikrobatterie bildet, und einer Gesamtversiegelung für einzelne Zellen für Mikrobatterien in einem Chargenverfahren an. In einem Beispiel werden eine versetzbare Lötmittel-Formvorrichtung und eine Versiegelungsstruktur vorgeschlagen, um ein Metallgehäuse für eine Festkörper-Dünnschicht-Mikrobatterie bereitzustellen. Ein beispielhaftes vorgeschlagenes Verfahren umfasst Abscheiden oder Vorformen eines Niedertemperatur-Lötmittel-Gehäuses separat von den Mikrobatterien. Anschließend kann eine thermische Kompression angewendet werden, um das Lötmittelgehäuse zu jeder Batteriezelle zu überführen, in einem Beispiel mit einer Handhabungsvorrichtung in einem Chargenverfahren. Durch diese beispielhaften Ausführungsformen können die Temperaturtoleranzbeschränkungen für eine Festkörper-Dünnschichtbatterie während der Handhabung, der Metallversiegelung und der Verkapselung angegangen werden.
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公开(公告)号:GB2508748A
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:GB201403424
申请日:2012-08-29
Applicant: IBM
Inventor: HONG AUGUSTIN J , JUNG WOO-SHIK , KIM JEEHWAN , NAH JAE-WOONG , SADANA DEVENDRA K
IPC: H01L31/0352 , H01L51/40 , H01L51/42
Abstract: Hemispheres (18) and spheres (28) are formed and employed for a plurality of applications. Hemispheres (18) are employed to form a substrate having an upper surface and a lower surface (12). The upper surface includes peaks of pillars (10) which have a base attached to the lower surface. The peaks have a density defined at the upper surface by an array of hemispherical metal structures (18) that act as a mask during an etch to remove substrate material down to the lower surface during formation of the pillars. The pillars are dense and uniform and include a microscale average diameter. The spheres are formed as independent metal spheres or nanoparticles for other applications.
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公开(公告)号:GB2508748B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:GB201403424
申请日:2012-08-29
Applicant: IBM
Inventor: HONG AUGUSTIN J , JUNG WOO-SHIK , KIM JEEHWAN , NAH JAE-WOONG , SADANA DEVENDRA K
IPC: H01L31/0352 , H01L51/40 , H01L51/42
Abstract: Hemispheres and spheres are formed and employed for a plurality of applications. Hemispheres are employed to form a substrate having an upper surface and a lower surface. The upper surface includes peaks of pillars which have a base attached to the lower surface. The peaks have a density defined at the upper surface by an array of hemispherical metal structures that act as a mask during an etch to remove substrate material down to the lower surface during formation of the pillars. The pillars are dense and uniform and include a microscale average diameter. The spheres are formed as independent metal spheres or nanoparticles for other applications.
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公开(公告)号:GB2491739A
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:GB201214867
申请日:2011-01-19
Applicant: IBM
Inventor: GRUBER PETER , LAURO PAUL A , NAH JAE-WOONG
IPC: H01L21/48 , H01L23/498 , H05K3/34
Abstract: A substrate comprising a plurality of wet-able pads formed on a surface of the substrate; and a solder resist layer deposited on the surface of the substrate is obtained. At least the solder resist layer is formed with recessed regions defining volumes adjacent the wet-able pads. Molten solder is directly injected into the volumes adjacent the wet-able pads, such that the volumes adjacent the wet-able pads are filled with solder and the solder solidifies forming a plurality of solder structures adhered to the wet-able pads. The substrate and the solder are re-heated after the solidification, to re-flow the solder into generally spherical balls extending above the outer surface of the solder resist layer. In an alternative approach, solder injection and solidification are carried out in a nitrogen environment or a forming gas environment, and the reflow step may be omitted.
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公开(公告)号:AU2021235525A1
公开(公告)日:2022-08-18
申请号:AU2021235525
申请日:2021-02-01
Applicant: IBM
Inventor: DANG BING , PANCOAST LEANNA , NAH JAE-WOONG , KNICKERBOCKER JOHN
IPC: H01M10/0525 , H01M10/0585
Abstract: Microbatteries and methods for forming microbatteries are provided. The microbatteries and methods address at least one or both of edge sealing issues for edges of a stack forming part of a microbatteries and overall sealing for individual cells for microbatteries in a batch process. A transferable solder molding apparatus and sealing structure are proposed in an example to provide a metal casing for a solid-state thin-film microbattery. An exemplary proposed process involves deposition or pre-forming low-temperature solder casing separately from the microbatteries. Then a thermal compression may be used to transfer the solder casing to each battery cell, with a handler apparatus in a batch process in an example. These exemplary embodiments can address the temperature tolerance constrain for solid state thin film battery during handling, metal sealing, and packaging.
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