2.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE10122081B4

    公开(公告)日:2004-02-05

    申请号:DE10122081

    申请日:2001-05-07

    Abstract: A method and an apparatus provides for calibrating a test system for an integrated semiconductor circuit, a pattern generator of the test system generating a test signal in the form of a pattern of successive rising and falling edges, which is composed of superposed sub-patterns formed via different internal paths of the pattern generator. The pattern generator provides an information signal for a measuring device of the test system, which identifies the edges of at least one sub-pattern of the test signal with regard to their origin from one of the internal paths. The calibration is carried out for the internal path separately using the information signal.

    Verfahren zum Testen einer zu testenden Schaltungseinheit, welche Schaltungsuntereinheiten aufweist, und Testvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

    公开(公告)号:DE102005007580B4

    公开(公告)日:2015-10-29

    申请号:DE102005007580

    申请日:2005-02-18

    Abstract: Testvorrichtung zum Testen einer zu testenden Schaltungseinheit (101), welche Schaltungsuntereinheiten (102a–102n) aufweist, mit: a) einem Testsystem (200) zur Ausgabe von Testsignalen (201) zu der zu testenden Schaltungseinheit (101) und zum Auswerten von Antwortsignalen (202), die aus der zu testenden Schaltungseinheit (101) in Abhängigkeit von den dieser zugeführten Testsignalen (201) ausgegeben werden; b) einem Testerkanal (203) zum Anschließen der zu testenden Schaltungseinheit (101) an das Testsystem (200); und c) einer in der zu testenden Schaltungseinheit (101) angeordneten Verbindungseinheit (104) zum Verbinden des Testerkanals (203) mit den Schaltungsuntereinheiten (102a–102n) der zu testenden Schaltungseinheit (101), wobei mindestens eine erste Schaltungsuntereinheit (102a) ferner aufweist: d) eine erste Kompressions/Dekompressionseinheit (106a) zum Beschreiben der ersten Schaltungsuntereinheit (102a) in einem Dekompressionsmodus derart, dass die erste Schaltungsuntereinheit (102a) die Testsignale (201) erhält; dadurch gekennzeichnet, dass e) die der ersten Schaltungsuntereinheit (102a) der zu testenden Schaltungseinheit (101) von dem Testsystem (200) zugeführten Testsignale (201) in der ersten Kompressions/Dekompressionseinheit (106a) dekomprimiert werden; f) die erste Schaltungsuntereinheit (102a) in einen unkomprimierten Modus umschaltbar ist; g) mindestens eine zweite Schaltungsuntereinheit (102b) mit den dekomprimierten Testsignalen (201) aus der ersten Schaltungsuntereinheit (102a) beschrieben wird; h) Antwortsignale (202) aus der mindestens einen zweiten Schaltungsuntereinheit (102b) in die erste Schaltungsuntereinheit (102a) invertiert rückgeschrieben werden; und i) ein Kompressionsmodus durch die erste Kompressions/Dekompressionseinheit (106a) zum Auslesen der Antwortdaten (202) aus der ersten Schaltungsuntereinheit (102a) und zum Zuführen als Gesamt-Antwortdaten zu dem Testsystem (200) derart bereitgestellt wird, dass die aus der ersten Schaltungsuntereinheit (102a) der zu testenden Schaltungseinheit (101) ausgegebenen und dem Testsystem (200) zugefuhrten Antwortsignale (202) in der ersten Kompressions/Dekompressionseinheit (106a) komprimiert werden.

    8.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE10141025B4

    公开(公告)日:2007-05-24

    申请号:DE10141025

    申请日:2001-08-22

    Abstract: The invention provides a method for testing wafers ( 101 ) to be tested in a test device ( 100 ), in which the test device ( 100 ) can be calibrated, at least one calibration wafer ( 102 ) being automatically introduced into the test device ( 100 ) by means of a handling unit ( 103 ), calibration values of the test device ( 100 ) being determined by means of a control by a calibration sequence control unit ( 105 ), the calibration values determined being stored in a memory unit ( 106 ), the test device ( 100 ) being calibrated by means of the stored calibration values, the calibration wafer ( 102 ) being output from the calibrated test device ( 100 ), and at least one wafer ( 101 ) to be tested being introduced into the calibrated test device ( 100 ) by means of the handling unit ( 103 ) and being tested by a control by means of a test sequence control unit ( 104 ) in the calibrated test device ( 100 ), the stored calibration values being applied.

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