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公开(公告)号：CN107520471A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710875201.X
申请日：2017-09-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声打孔机工具头在线电火花修整装置，包括机床主体和修整装置；该机床主体包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头和工装；该修整装置包括修整槽、绝缘支架、修整工具和脉冲电源；该机床主体还包括位移台，该位移台能滑动连接在机架上，该工装和修整槽都装设在位移台之上且通过位移台的滑动使工具头配合工装或修整槽；该绝缘支架安装在修整槽内，该修整工具装设在绝缘支架顶部，该脉冲电源的两极分别电接工具头与修整工具，通过工具头与修整工具之间的相切运动使工具头与修整工具之间产生脉冲放电，以去除工具头的磨损部位实现修整。它具有如下优点：能在线修整工具头；修整过程中不产生切削力。
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公开(公告)号：CN106493647A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611144312.5
申请日：2016-12-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种轴向超声振动辅助杯形砂轮及其使用方法，该杯形砂轮包括基盘，基盘上周向均匀间隔地布置有若干超声振动单元；该超声振动单元包括振动磨块、超声变幅杆和超声换能器；超声变幅杆固接在基盘且平行于基盘轴向方向布置；该振动磨块呈圆弧形块状，若干超声振动单元的若干振动磨块相互拼接形成类圆环状的砂轮磨削部分；通过超声换能器推动超声变幅杆产生沿其轴向的超声振动并带动振动磨块相对基盘产生沿基盘轴向的超声振动。本发明在杯形砂轮的磨削过程中，对其施加一定方式的超声振动，提高杯形砂轮对硬脆性材料的加工效率和表面质量，并能有效地延长砂轮的工作时间、降低工艺成本，对硬脆性材料的加工技术具有重要意义。
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公开(公告)号：CN119890166A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510204523.6
申请日：2025-02-24
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L23/473 , H01L21/48 , H05K7/20 , B23D57/00
Abstract: 本发明提供了一种具有微织构表面的微通道散热器及其制备方法，涉及高热流密度电子器件散热技术领域。包括液体流动腔以及与液体流动腔贴合的上盖板，在所述上盖板或者所述液体流动腔的两侧设置有液体入口和出口；还包括放置在所述液体流动腔内的微通道基体，所述微通道基体上形成有若干平行间隔阵列排布的微通道，所述微通道的壁面排布有周期性微织构以调控微通道散热器的散热性能。通过本方案以制备具有微织构表面的超大深宽比微通道散热器。
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公开(公告)号：CN119673778B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510198737.7
申请日：2025-02-24
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/48 , H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/473 , B24D18/00 , B24D3/10 , B24D3/34
Abstract: 本发明提供了一种金刚石微通道散热器及其制备方法，涉及高热流密度芯片散热技术领域。本方案以固结有活性磨粒的金属丝或者活性金属丝作为线锯切割工具，以多线切割机床为加工设备，通过使线网快速形成线弓的方法，让活性磨粒线锯或活性金属丝在压力条件下高线速、往复、干式划擦金刚石基体，金刚石表面在活性磨粒或活性金属丝的作用下发生相变生成非晶碳或石墨或碳化物，再通过活性磨粒或活性金属丝的机械作用将相变产物去除，进而露出新鲜的金刚石表面，如此循环上述过程，实现金刚石微通道散热器的高效、高质加工。
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公开(公告)号：CN114659474B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202210240436.2
申请日：2022-03-10
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明实施例提供一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质，涉及平面度测量技术领域。其中，这种检测方法包含步骤S1至步骤S5。S1获取研磨盘的N条径向测量数据。S2分别消除N条径向测量数据的机械误差，以获得N条初始数据。S3根据N条初始数据，分别将各个磨块的高度信息均值化，并删除非磨块的高度信息，以获得N条磨块表面高度数据。S4分别缩放N条磨块表面高度数据至相同的数据长度，然后计算平均值，以获得磨盘径向高度数据。S5根据磨盘径向高度数据进行三维重构，以获得研磨盘的面型模型。采用本发明的检测方法能够根据测量到的高度数据快速计算得到研磨盘的表面模型，从而快速识别研磨盘的平面度，具有很好的实际意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114659474A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210240436.2
申请日：2022-03-10
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明实施例提供一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质，涉及平面度测量技术领域。其中，这种检测方法包含步骤S1至步骤S5。S1获取研磨盘的N条径向测量数据。S2分别消除N条径向测量数据的机械误差，以获得N条初始数据。S3根据N条初始数据，分别将各个磨块的高度信息均值化，并删除非磨块的高度信息，以获得N条磨块表面高度数据。S4分别缩放N条磨块表面高度数据至相同的数据长度，然后计算平均值，以获得磨盘径向高度数据。S5根据磨盘径向高度数据进行三维重构，以获得研磨盘的面型模型。采用本发明的检测方法能够根据测量到的高度数据快速计算得到研磨盘的表面模型，从而快速识别研磨盘的平面度，具有很好的实际意义。
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公开(公告)号：CN114193318A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111532741.0
申请日：2021-12-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。
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公开(公告)号：CN109333338A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811486276.X
申请日：2018-12-06
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B37/27
Abstract: 本发明公开了一种真空吸附式游星轮夹具及其使用方法，包括载片层、驱动层、密封圈和气门芯。该游星轮夹具采用载片层-驱动层-载片层的夹芯式结构，载片层与驱动层之间通过螺栓连接；该密封圈放置于载片层与驱动层内预设的密封圈槽中；该气门芯则螺接于载片层上预设的螺纹孔中。该载片层上圆周分布有若干载片槽，载片槽内均匀分布微小通孔，工件放置于载片槽内时，工件、载片层、密封圈、驱动层及气门芯之间形成一密闭空间。将气门芯连接气泵，抽取密闭空间内的空气形成负压，使工件吸附于游星轮载具上。上述夹具可在保持生产效率的同时减少传统游星轮夹具由于过薄、翘曲等缺陷引起工件破损现象，从而降低生产成本，适用于薄片工件的加工。
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公开(公告)号：CN107511938A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710873808.4
申请日：2017-09-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了精密超声打孔机及其工具头角度调整方法。精密超声打孔机包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头、进给系统、角度调节装置和位移传感器；该角度调节装置包括X轴角度微动台和Y轴角度微动台，该超声振动系统装接在Y轴角度微动台，通过角度调节装置能调节超声振动系统的角度，能调节工具头的角度；该位移传感器装接在机架上用于检测工具头移动前后位移传感器的两次测量值之差及工具头沿导轨的进给量，依据两次测量值之差及进给量并通过角度调节装置对工具头角度进行调整。它具有如下优点：能对工具头进行精准调节，使工具头轴线与导轨平行，有效地保证了打孔精度和起到保护工具头的作用。
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公开(公告)号：CN207388015U
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201721233467.6
申请日：2017-09-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了精密超声打孔机，它包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头、进给系统、角度调节装置和位移传感器；该角度调节装置包括X轴角度微动台和Y轴角度微动台，该超声振动系统装接在Y轴角度微动台，通过角度调节装置能调节超声振动系统的角度，能调节工具头的角度；该位移传感器装接在机架上用于检测工具头移动前后位移传感器的两次测量值之差及工具头沿导轨的进给量，依据两次测量值之差及进给量并通过角度调节装置对工具头角度进行调整。它具有如下优点：能对工具头进行精准调节，使工具头轴线与导轨平行，有效地保证了打孔精度和起到保护工具头的作用。
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