公开(公告)号：CN102760649A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210239469.1

申请日：2012-04-23

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： F·佩雷斯-维拉德

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3178 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31744

Abstract: 一种处理系统包括：围绕在聚焦透镜和相互作用区域之间的束通道环形延伸的环形管道，特别是以圆环形的形式延伸；其中环形管道在面向相互作用区域的侧部上包括朝向相互作用区域的多个用于气体的出口；并且其中环形管道包括保持器装置，其配置成绕着枢轴枢转环形管道，其中该枢轴平行于物体保持器的倾斜轴。

公开(公告)号：CN100375218C

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN01818500.2

申请日：2001-08-17

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·M·本维尼斯特 ,  M·A·格拉夫 ,  E·R·哈林顿 ,  R·D·拉斯梅尔

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个粒子充电系统(12)，用于在离子束通过的区域中对粒子充电。在充电区域的下游处产生一个电场(50)以便促使带电粒子离开离子束(16)的行进方向(18)。

公开(公告)号：CN1325131A

公开(公告)日：2001-12-05

申请号：CN00128376.6

申请日：1996-07-17

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： J·G·布莱克

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317 ,  C30B31/22

CPC classification number: H01J37/3002 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明揭示一种原位除去附在离子束注入机(10)内表面上污物的方法。所述方法包括以下步骤:从源物质放出离子,并使离子形成离子束(14),所述离子束通过一抽真空区,到达一离子注入室(17);提供一个控制电子装置(11),用于控制在所述抽真空区内离子束的轨迹;利用所述控制装置使离子束撞击与抽真空区相联系的所述注入机内表面,以使所述污物脱落;取走所述注入机的抽真空区的污物。

公开(公告)号：CN108962711A

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201810700455.2

申请日：2018-06-29

Applicant: 江西展宇新能源股份有限公司

Inventor： 邱江南 ,  张明明 ,  刘庆平 ,  赵戟 ,  陈园 ,  付少剑

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3002 ,  H01J2237/002

Abstract: 本申请公开了一种电注入系统，包括腔体，所述腔体的上端和下端分别设置上电极和下电极，二者之间的空间用于堆叠电池片，且二者共同连接至电源以对所述电池片进行电注入，所述上电极的上面具有排风装置，所述腔体侧面不同高度上的至少两个位置均设置有共同连接至温度控制装置的电池片温度检测部件和降温部件，用于在所述温度控制装置的控制下保持各自所在位置的电池片温度保持在预设范围内。上述电注入系统，能够改善电注入腔体内部的温场均匀性，提高电注入处理电池片的光衰效果及效率预衰的均匀性。

公开(公告)号：CN108962708A

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201810661714.5

申请日：2014-11-14

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： W.H.乌尔巴努斯 ,  M.J-J.维兰德

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

Abstract: 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。

公开(公告)号：CN105874560B

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201480071806.8

申请日：2014-11-14

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： W.H.乌尔巴努斯 ,  M.J-J.维兰德

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/065

CPC classification number: G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

Abstract: 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。

公开(公告)号：CN107481913A

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201610405200.4

申请日：2016-06-08

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 柳鹏 ,  赵伟 ,  林晓阳 ,  周段亮 ,  张春海 ,  姜开利 ,  范守善

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/24 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/3002 ,  B82Y20/00 ,  B82Y35/00 ,  C01B32/182 ,  C01G39/06 ,  C01P2004/24 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/31 ,  H01J37/315 ,  H01J37/3174 ,  Y10S977/734 ,  Y10S977/755 ,  Y10S977/932 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/243 ,  H01J37/30 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31

Abstract: 本发明涉及一种电子束加工系统，其包括：一真空装置；一设置于所述真空装置内的电子枪，所述电子枪用于发射电子束；一设置于所述真空装置内的载物装置，所述载物装置用于承载待加工件；以及一控制电脑，所述控制电脑用于控制整个电子束加工系统的工作；其中，进一步包括一设置于所述真空装置内的衍射装置；所述衍射装置包括一二维纳米材料；所述电子枪发射的电子束先透过该二维纳米材料后形成一透射电子束和多个衍射电子束，所述透射电子束和多个衍射电子束照射在该待加工件表面形成一透射斑点和多个衍射斑点。本发明提供的电子束加工系统通过电子束衍射装置将一个电子束衍射成多个电子束，既成本低廉又提高了工作效率。

公开(公告)号：CN105874556B

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201480071827.X

申请日：2014-11-14

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： W.H.乌尔巴努斯 ,  M.J-J.维兰德

IPC: H01J37/065 ,  H01J37/317 ,  H01J37/12

CPC classification number: G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

Abstract: 本发明涉及一种电极堆叠(70)，其包括用于操纵沿着光轴(A)的带电粒子束的堆叠的电极(71‑80)。每个电极包括电极主体，该电极主体具有用于所述带电粒子束的孔。电极主体相互间隔开并且电极孔沿着光轴同轴地对准。电极堆叠包括介于每一对相邻的电极之间的电绝缘间隔结构(89)，电绝缘间隔结构(89)用于沿着轴向方向(Z)以预定相互距离来定位电极(71‑80)。第一电极和第二电极各自包括具有一个或多个支撑部分(86)的电极主体，其中每个支撑部分被配置为容纳至少一个间隔结构(89)。电极堆叠具有至少一个夹紧构件(91‑91c)，夹紧构件(91‑91c)被配置为将第一电极和第二电极的支撑部分(86)以及中间间隔结构(89)保持在一起。

公开(公告)号：CN103325651B

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201310089789.8

申请日：2013-03-20

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： J.拉斯穆森 ,  K.C.马利纳克

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/32 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/3002 ,  B05B1/005 ,  B05B1/30 ,  F16K11/0716 ,  H01J37/02 ,  H01J37/023 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/317

Abstract: 公开了一种多种气体喷射系统。一种多位置阀被用于控制来自多个气体源的气流的目的地。在一个阀位，气体在引入样品真空室之前先流向隔离的真空系统，在其中可以调节流速和混合。在另一个阀位，预混合的气体从隔离的真空室流出并经过阀针流入样品真空室内。

公开(公告)号：CN106971931A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201610897868.5

申请日：2016-10-14

Applicant: 汉辰科技股份有限公司

Inventor： 万志民 ,  K·沙丹特曼德 ,  N·怀特

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/04924 ,  H01J37/3002

Abstract: 公开了离子植入系统和工艺。示范性的离子植入系统可以包括离子源、提取操纵器、磁分析仪以及电极组件。提取操纵器可以构造为通过从离子源提取离子而生成离子束。所生成的离子束的截面具有长维度以及与离子束的长维度正交的短维度。磁分析仪可构造为沿着平行于离子束的短维度的x方向聚焦离子束。电极组件可构造为加速或减速离子束。电极组件的一个或多个入口电极可限定第一开口，电极组件可相对于磁分析仪定位而使得随着离子束通过第一开口进入而使得离子束沿x方向收敛。