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公开(公告)号：CN110091648A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201810081419.2
申请日：2018-01-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种掩模图案绘制装置及绘制方法。所述掩模图案绘制装置用于在基底上绘制掩模图案，其包括绘制工具和载置台，其中，所述载置台用于放置所述基底，所述绘制工具包括绘制头和储液部，所述储液部用于存储掩模图案绘制液，所述绘制头与所述储液部相通，当所述绘制头与所述基底接触时，所述储液部中的掩模图案绘制液能够经所述绘制头转移到所述基底上。本发明的掩模图案绘制装置能够以较低的成本和简单的工艺形成掩模图案，通过绘制工具的直接绘制，可以形成任何需要的图案，具有适用范围广、效率高、掩模材料浪费率低等优点。
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公开(公告)号：CN109518185A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201910025845.9
申请日：2019-01-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种器件的表面防护方法，包括步骤：S20、在所述器件的外围形成第一保护层；S30、在所述第一保护层的外围形成第二保护层；其中，第一保护层和第二保护层中的一者为致密的纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团等影响器件的液体分子的侵蚀、或者尺寸小于等于所述小分子团的离子或分子等液体分子的侵蚀；第一保护层和第二保护层中的另一者为微米级防止液体影响的涂层，用于防护10个以上的水或其它液体分子组成的大分子团等液体分子的侵蚀、或者尺寸大于等于所述大分子团的离子或分子等液体分子的侵蚀。本发明的表面防护方法还能提高器件的精度等指标，可广泛用于不同类型的器件防止液体影响的处理。
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公开(公告)号：CN108542360A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810475216.1
申请日：2018-05-17
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了属于医疗器械领域的一种利用传感器监测多种信息的智能引流管及监测系统。所述智能引流管包括体内和体外两部分或其中之一；在体内部分的引流管上安装有体内监测单元，其管壁设置多个引流孔；在体外部分的引流管上安装有体外监测单元和信号传输单元；其中，体内或体外监测单元中的传感器设置在引流管的管外壁上或管内壁上，所述传感器为光传感器，电阻或阻抗传感器，或超声波传感器，或电容传感器中一种或者多种的组合；其体内或体外监测单元分别与信号传输单元连接；该智能引流管具有实时监测引流管的通或堵等引流状态的功能，用于人体各个部位的引流与监测，采集患者多方面信息；多传感器提高引流系统监测的准确性、稳定性、可靠性。
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公开(公告)号：CN108106771A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711228380.4
申请日：2017-11-29
Applicant: 清华大学
IPC: G01L9/02
CPC classification number: G01L9/02
Abstract: 一种基于微/纳米薄膜的电涡流力/变形/压力检测方法，其特征在于：所述检测方法包括：将微/纳薄膜置于被检测物的表面或嵌入其内侧，为提高检测灵敏度也可在微/纳薄膜表面或内部制作微纳结构；设置检测电路，将所述检测电路的检测单元置于所述被测物外侧，所述检测单元产生交变磁场；被检测物受力/变形/压力的变化会导致微/纳米薄膜产生变形，从而导致了微/纳米薄膜上感应电流发生变化，感应电流发生变化后，进而导致所述检测单元中的电感线圈的阻抗发生变化，基于所述阻抗变化即可感测被测物的力/变形/压力变化。该检测方法以无线、无源的检测方式实现信号检测，且方法中传感器的结构简单，稳定性高、可实现高灵敏度非接触的应变、应力、压力等信号测量。
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公开(公告)号：CN107818957A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201711071322.5
申请日：2017-11-03
Applicant: 清华大学
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/00014 , H01L23/31 , H01L21/56
Abstract: 本发明涉及封装领域，更具体地涉及封装体及其制造方法。该封装体包括需要封装保护的器件和用于封装需要封装保护的器件的封装结构。需要封装保护的器件包括不可动部分和可动部分或者包括非感测部分和感测部分。封装结构包括至少收纳不可动部分或非感测部分的封装组件和至少包覆于可动部分或感测部分的预定表面的封装涂层。封装组件使得不可动部分或非感测部分与周围环境隔绝，可动部分或感测部分的预定表面隔着封装涂层与周围环境中的介质隔离，但能够感测上述介质的预定参数。本发明提出的这种封装体具有能够兼顾防护和保证需要封装保护的器件的各项指标性能不受影响等特点，同时该封装体的封装结构具有较高的耐疲劳强度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107520102A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710813864.9
申请日：2017-09-11
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B05D3/002 , B05D3/0493
Abstract: 本发明公开了一种偶联处理方法，用于在目标元器件的表面上形成偶联剂分子的自限分子层，所述偶联处理方法利用偶联剂在真空环境下进行偶联反应，以获得所述自限分子层，其中，偶联反应所利用的偶联剂为不含水的偶联剂。本发明的偶联处理方法中，无需采用含水的偶联剂进行偶联反应，使得目标元器件能够在不含水的偶联剂的干燥环境中完成偶联反应，免除了元器件在形成涂层的过程中因接触水而可能造成的腐蚀或损坏问题。
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公开(公告)号：CN106092828A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610404116.0
申请日：2016-06-08
Applicant: 清华大学
IPC: G01N13/00
CPC classification number: G01N13/00
Abstract: 本发明公开了一种接触角的光学测量方法，包括：选取一带有待测液滴的基底平面；调节显微镜的聚焦平面，分别得到基底平面的高度和基底平面经待测液滴折射后所形成的虚像面的高度，两者相减得到高度差Δh；测得待测液滴在基底平面上的沿与基底平面垂直的方向上的投影区域的俯视直径d；结合光的折射定律和高度差Δh、俯视直径d与接触角θ之间的几何关系综合得出接触角θ。本发明可以在俯视观察的条件下简单、精确地测量出待测小液滴的接触角，能够弥补常见的通过侧面观察测量接触角的方法的不足之处。
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公开(公告)号：CN102109858B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201010572176.6
申请日：2010-12-03
Applicant: 清华大学
IPC: G05D16/08
Abstract: 本发明提出一种基于液体表面张力的运动控制装置，包括：固定板；位于所述固定板之上的运动板，所述运动板在液体薄膜表面张力作用下可移动；液体薄膜，所述液体薄膜位于所述固定板与所述运动板之间以在所述固定板与所述运动板之间形成液体表面张力；和驱动装置，所述驱动装置驱动所述运动板相对于所述固定板移动，其中，所述液体表面张力在所述平面上的分力形成所述运动板的回复力。本发明提出的运动控制装置，具有结构简单、自润滑、无磨损等优点。且通过本发明装置的回复力-位移关系可以根据需要进行设计，以制成各种频率和运动特性的运动控制器。
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公开(公告)号：CN102344115B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201110295705.7
申请日：2011-09-28
Applicant: 清华大学
CPC classification number: H01L24/82 , H01L2224/32245 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2924/07802 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了精密加工技术领域中的一种基于蘸笔原理的微纳尺度连接方法，用以解决常用的微纳尺度结构的固定和连接方法存在的不足。包括对基底和待固定样品进行处理，使其基底和待固定样品处于亲胶状态；在探针表面包覆一层液体胶；在基底上确定需要连接的位置，控制探针与基底接触，使探针与基底之间形成液桥。在表面张力的作用下，通过控制探针直径、接触时间等参数实现微米甚至纳米尺度胶滴在基底的形成，从而实现基底和待固定样品微纳米尺度的连接。本发明与常用的微纳尺度结构的固定和连接方法相比，具有胶滴在微/纳米尺度方便可控、对样品无污染和损伤、无需真空和超净环境以及成本低廉等优点。
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公开(公告)号：CN101973506B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201010241981.0
申请日：2010-07-30
Applicant: 清华大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明提供了一种范德华力振荡器，包括相互贴合的两个部件，其中，位于振荡器上部的部件的下表面具有原子级光滑且平整的表面，位于振荡器下部的部件的上表面具有原子级光滑且平整的表面，所述两个部件接触而且可滑动，在滑动方向上存在至少一个接触面积的极大值。当所述两个部件接触而且存在暴露表面时，则所述两个部件的接触表面间具有范德华力约束力。在滑动方向上设计不同形状的接触面积，可以得到所期望恢复力的平面振荡器件。通过本发明，可以实现不需要有固定梁的平面滑移型运动振荡器。这种振荡器的优点是体积小、造价低、速度快，Q值高。
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