开关用半导体器件及开关电路

    公开(公告)号:CN1320652C

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200410064104.5

    申请日:2004-08-19

    CPC classification number: H01L29/42316 H01L29/2003 H01L29/7787 Y10S257/918

    Abstract: 提供一种开关用半导体器件,具有在由碳化硅或者蓝宝石构成的单晶基片(101)上形成的由InxGa1-xN(其中,0≤x≤1)构成的第一化合物层(102)、在第一化合物层(102)上形成的由InyAlzGa1-y-zN(其中,0≤y≤1、0<z≤1)构成的第二化合物层(103)、和在第二化合物层(103)上形成的栅电极(105)。栅电极(105)通过在覆盖第一层间绝缘膜(106)的第二层间绝缘膜(107)上形成的金属布线(109),与在覆盖该栅电极(105)的第一层间绝缘膜(106)上形成的电阻元件(108)电连接。这样,可以同时实现导通电阻的减小和截止电容的减小,并且获得栅宽的最优设计值。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1082248C

    公开(公告)日:2002-04-03

    申请号:CN96102294.9

    申请日:1996-06-12

    CPC classification number: H01L28/40

    Abstract: 在形成于半导体基板上边的基底绝缘膜的上边形成由下部电极、由强电介质构成的陶瓷电容器膜和上部电极构成的强电介质电容器。在半导体基板的上边形成层间绝缘膜,使得把强电介质电容器覆盖起来,并在层间绝缘膜的上边形成电极布线。在存在于上部电极的侧面和陶瓷电容器膜的上表面的交点与陶瓷电容器膜的侧面和下部电极的上表面的交点之间的陶瓷电容器膜的表面的长度L,和陶瓷电容器膜的厚度D之间,L≥2D的关系成立。

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