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公开(公告)号：CN102143906A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200980134864.X
申请日：2009-04-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00158 , B81B2201/0257 , B81C2201/0133 , G01P15/0802 , G01P15/097 , G01P15/123
Abstract: 本发明公开了一种微机电系统器件及其制造方法。微机电系统器件包括具有第一主表面及与该第一主表面相反一侧的面即第二主表面的基板(101)、形成在所述基板(101)中的通孔(110)以及覆盖所述通孔(110)而形成在所述第一主表面的上侧的振动膜(105)。所述第一主表面和所述第二主表面都是(110)晶面，所述第二主表面上的所述通孔(110)的形状实质上为菱形。
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公开(公告)号：CN1926919B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200580006383.2
申请日：2005-02-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H04R19/01
CPC classification number: H04R19/016 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2207/012 , H01G7/02 , H04R19/005
Abstract: 驻极体电容式麦克风，包括：设有开口部25的衬底13、以堵住开口部25的方式与衬底13的一面连接并且具有声孔12及空孔2的驻极体电容器50、与衬底13的一面连接的驱动电路元件15、以及以覆盖驻极体电容器50及驱动电路元件15的方式安装在衬底13的外盒17。在驻极体电容器50与衬底13的连接处两者电接触。声孔12通过开口部25与外部空间连接。空孔2及外盒17的内部区域成为驻极体电容器50的背部气室。
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公开(公告)号：CN101682821A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200780053193.5
申请日：2007-12-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01L9/0016 , H04R19/005
Abstract: 本发明公开了一种振动膜构造及声波传感器。形成有从基板101的上表面贯穿到底面的通孔(102)。在基板(101)上形成有覆盖通孔(102)的振动电极膜(103)。位于通孔(102)上的那一部分振动电极膜(103)起振动膜(104)的作用。基板(101)上表面的通孔(102)的开口形状为六角形。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1926919A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200580006383.2
申请日：2005-02-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H04R19/01
CPC classification number: H04R19/016 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2207/012 , H01G7/02 , H04R19/005
Abstract: 驻极体电容式麦克风，包括：设有开口部25的衬底13、以堵住开口部25的方式与衬底13的一面连接并且具有声孔12及空孔2的驻极体电容器50、与衬底13的一面连接的驱动电路元件15、以及以覆盖驻极体电容器50及驱动电路元件15的方式安装在衬底13的外盒17。在驻极体电容器50与衬底13的连接处两者电接触。声孔12通过开口部25与外部空间连接。空孔2及外盒17的内部区域成为驻极体电容器50的背部气室。
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公开(公告)号：CN1926918A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200580006382.8
申请日：2005-02-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H04R19/016 , B81B2201/0257 , B81C1/00944 , B81C2201/112 , H04R19/005
Abstract: 驻极体电容器包括：具有由上部电极构成的导电膜118的固定膜110，具有下部电极104及由驻极体膜构成的氧化硅膜105的振动膜112，以及具有在固定膜110与振动膜112之间形成且具有空气隙109的氧化硅膜108。固定膜110及振动膜112的露出在空气隙109的部分分别由氮化硅膜106及114所构成。
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公开(公告)号：CN1926918B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200580006382.8
申请日：2005-02-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H04R19/016 , B81B2201/0257 , B81C1/00944 , B81C2201/112 , H04R19/005
Abstract: 驻极体电容器包括：具有由上部电极构成的导电膜118的固定膜110，具有下部电极104及由驻极体膜构成的氧化硅膜105的振动膜112，以及具有在固定膜110与振动膜112之间形成且具有空气隙109的氧化硅膜108。固定膜110及振动膜112的露出在空气隙109的部分分别由氮化硅膜106及114所构成。
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公开(公告)号：CN1883020B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200480034059.7
申请日：2004-11-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01G5/0136 , H01G5/16 , H01G7/025 , H04R19/016 , H04R2499/11
Abstract: 以覆盖成为驻极体的带电氧化硅膜105的方式，来形成氮化硅膜103及氮化硅膜106。
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公开(公告)号：CN1883020A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200480034059.7
申请日：2004-11-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01G5/0136 , H01G5/16 , H01G7/025 , H04R19/016 , H04R2499/11
Abstract: 以覆盖成为驻极体的带电氧化硅膜105的方式，来形成氮化硅膜103及氮化硅膜106。
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