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公开(公告)号:CN119827798A
公开(公告)日:2025-04-15
申请号:CN202411943489.6
申请日:2024-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法,装置包括离心机和多个测试工装,离心机具有离心机圆盘,多个测试工装沿离心机圆盘的周向均匀间隔设置在圆盘面上,其中,每两个对称测试工装为一组,测试工装包括:固定底板、测试电路转接工装、加速度计固定装置和测试电路板,固定底板固定设置在圆盘上,测试电路转接工装为两个,对称间隔固定在固定底板上,测试电路板固定设置在两个转接工装上,加速度计通过加速度计固定装置设置在测试电路板上并与测试电路板电气联结。本发明通过使用特定的批量测试工装和计算方法,同时完成多只加速度计的标度因数对称性测试。
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公开(公告)号:CN119044537A
公开(公告)日:2024-11-29
申请号:CN202411120062.6
申请日:2024-08-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , H03G3/30 , H03L7/08 , H03K5/01 , G01P15/08
Abstract: 本发明提供一种双闭环石英谐振梁加速度计激振电路,电路采用幅值、相位双闭环控制及数字化配置方案,不仅能够维持石英振梁正常工作时的振幅、相位稳定,而且可以通过软件配置寄存器方式进行参数优化调整。比之前基于反相器或运放的开环方案,该闭环激振电路稳定性、温度鲁棒性有明显改善,可以支撑石英谐振梁加速度计的稳定性、分辨率、温度稳定性等指标进一步提升到导航级水平。
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公开(公告)号:CN112730892A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011438663.3
申请日:2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明涉及机械技术领域,公开了一种振梁结构及振梁加速度计敏感结构。其中,该振梁结构包括两个连接单元、两个锁能单元、两个驻波节点和两个叉指,两个所述叉指并联连接在两个所述驻波节点之间,每个锁能单元一端与一个所述驻波节点未连接两个所述叉指的一端连接,另一端与一个所述连接单元连接。由此,可以通过驻波节点与锁能单元配合实现双叉指振动能量的内聚,提高振梁Q值,提高加速度计快速启动特性。并且,锁能单元对对称性要求低,降低了振梁加工难度,提高了成品率,降低了加工成本。此外,振梁在总长度、厚度不变的情况下降低了振梁Z向刚度,提高了加速度计标度因数。
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公开(公告)号:CN115728517B
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202211423060.5
申请日:2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括:转接底座;平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板,均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接,并且在需要进行平面轴向测试时,所述平面轴向测试安装板与转接底座连接;在需要进行Z轴测试时,所述Z轴测试安装板与转接底座连接;测试电路安装板;所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上,所述测试电路安装板具有镂空通孔c,沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔,测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性,使得测试流程得以简化,极大的提高了测试效率,且精度得以提高。
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公开(公告)号:CN115728517A
公开(公告)日:2023-03-03
申请号:CN202211423060.5
申请日:2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括:转接底座;平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板,均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接,并且在需要进行平面轴向测试时,所述平面轴向测试安装板与转接底座连接;在需要进行Z轴测试时,所述Z轴测试安装板与转接底座连接;测试电路安装板;所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上,所述测试电路安装板具有镂空通孔c,沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔,测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性,使得测试流程得以简化,极大的提高了测试效率,且精度得以提高。
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公开(公告)号:CN111913006A
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN202010679391.X
申请日:2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种石英振梁加速度计驱动电路,包括稳压电源模块(1)、多谐振荡驱动电路模块(2)。所述稳压电源模块(1)为多谐振荡驱动电路模块(2)提供工作电源电压,所述稳压电源模块(1)基于串联反馈原理实现稳压电路设计,当输入供电电源电压增大或减小时,输出电压通过晶体管进行负反馈调节,保持不变。所述多谐振荡驱动电路模块(2)包含移相放大(21)、限幅放大(22)、波形整形(23)以及并联驱动(24),其中移相放大(21)、限幅放大(22)与石英振梁加速度计表头一起形成闭环正反馈谐振。本发明提高了工作电压的稳定性和振梁敏感结构的谐振稳定性。
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公开(公告)号:CN110988396A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201911191906.5
申请日:2019-11-28
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及加速度计技术领域,公开了一种石英振梁加速度计敏感组件。该组件包括外框、挠性支撑件、隔离框、外连接件、内连接件、支架、检测质量块和振梁,隔离框位于外框内部,隔离框一端外侧通过外连接件与外框内侧相连,隔离框另一端内侧通过内连接件与支架相连,振梁一端与检测质量块相连而另一端与支架相连,支架的上端面与检测质量块的下端面之间设置挠性支撑件且挠性支撑件对称分布于振梁两侧,振梁与挠性支撑件不共面,两侧的挠性支撑件共面。由此,通过增加隔离框及相关部件的设置可以阻断振梁能量耗散通道,将双叉指结构简化为单叉指,避免了狭小间隙的出现。并且,隔离框可以阻断外界热应力的传入,提高了加速度计温度环境适应性。
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公开(公告)号:CN110425250A
公开(公告)日:2019-11-08
申请号:CN201910646053.3
申请日:2019-07-17
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种用于MEMS惯性仪表系统的一体化减振结构,能够解决现有技术中用于MEMS惯性仪表系统的减振结构所存在的技术问题。该MEMS惯性仪表系统包括MEMS惯性仪表和配套的印制电路板,MEMS惯性仪表设置在印制电路板上,该一体化减振结构包括:连接组件和一体化减振器,连接组件套设在MEMS惯性仪表的外侧,用于将一体化减振器与MEMS惯性仪表连接,连接组件沿着MEMS惯性仪表的周向具有环形空腔;一体化减振器用于MEMS惯性仪表系统的减振,其包括多个形状相同的减振元件,多个减振元件沿着环形空腔的周向间隔设置在空腔内,多个减振元件呈中心对称且采用相同弹性材料制成,其中,多个减振元件通过一体成型方式设置在空腔内。
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公开(公告)号:CN116886047A
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN202310706253.X
申请日:2023-06-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路,其中,前置放大将石英振梁输出的电荷进行电荷‑电压转换和信号放大,同相放大环节进行二级放大和一级移相,带通滤波环节实现二级移相和高低频噪声的抑制,相位补偿环节对谐振梁内部静态电容导致的相移进行补偿,生成方波的陡直度通过波形整形环节进行增强,并通过驱动增强环节,提升驱动能力后输出给系统应用。上电后,这些环节与加速度计谐振梁结构形成闭环正反馈自激振荡,驱动石英振梁起振并实现稳幅振荡。本发明可以支撑石英谐振梁加速度计稳定性、分辨率等性能指标达到导航级水平。
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公开(公告)号:CN113791241B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN202110913158.8
申请日:2021-08-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计,该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环,应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔,振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置,振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件,摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件,第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘,第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。
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