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公开(公告)号：CN111913006A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010679391.X
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种石英振梁加速度计驱动电路，包括稳压电源模块(1)、多谐振荡驱动电路模块(2)。所述稳压电源模块(1)为多谐振荡驱动电路模块(2)提供工作电源电压，所述稳压电源模块(1)基于串联反馈原理实现稳压电路设计，当输入供电电源电压增大或减小时，输出电压通过晶体管进行负反馈调节，保持不变。所述多谐振荡驱动电路模块(2)包含移相放大(21)、限幅放大(22)、波形整形(23)以及并联驱动(24)，其中移相放大(21)、限幅放大(22)与石英振梁加速度计表头一起形成闭环正反馈谐振。本发明提高了工作电压的稳定性和振梁敏感结构的谐振稳定性。
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公开(公告)号：CN110988396A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911191906.5
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及加速度计技术领域，公开了一种石英振梁加速度计敏感组件。该组件包括外框、挠性支撑件、隔离框、外连接件、内连接件、支架、检测质量块和振梁，隔离框位于外框内部，隔离框一端外侧通过外连接件与外框内侧相连，隔离框另一端内侧通过内连接件与支架相连，振梁一端与检测质量块相连而另一端与支架相连，支架的上端面与检测质量块的下端面之间设置挠性支撑件且挠性支撑件对称分布于振梁两侧，振梁与挠性支撑件不共面，两侧的挠性支撑件共面。由此，通过增加隔离框及相关部件的设置可以阻断振梁能量耗散通道，将双叉指结构简化为单叉指，避免了狭小间隙的出现。并且，隔离框可以阻断外界热应力的传入，提高了加速度计温度环境适应性。
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公开(公告)号：CN116886047A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310706253.X
申请日：2023-06-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其中，前置放大将石英振梁输出的电荷进行电荷‑电压转换和信号放大，同相放大环节进行二级放大和一级移相，带通滤波环节实现二级移相和高低频噪声的抑制，相位补偿环节对谐振梁内部静态电容导致的相移进行补偿，生成方波的陡直度通过波形整形环节进行增强，并通过驱动增强环节，提升驱动能力后输出给系统应用。上电后，这些环节与加速度计谐振梁结构形成闭环正反馈自激振荡，驱动石英振梁起振并实现稳幅振荡。本发明可以支撑石英谐振梁加速度计稳定性、分辨率等性能指标达到导航级水平。
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公开(公告)号：CN113791241B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202110913158.8
申请日：2021-08-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计，该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环，应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔，振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置，振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件，摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件，第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘，第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。
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公开(公告)号：CN115541930A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211136210.4
申请日：2022-09-19
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , H03B5/04 , H03B5/32
Abstract: 本发明提供一种带相位补偿的低压驱动石英振梁加速度计激振电路，该激振电路包括：前置放大和移相限幅模块，用于实现输入信号的直流偏置和反相放大，并输出至移相限幅和低压驱动模块，移相限幅和低压驱动模块将信号经移相限幅处理后输出至波形整形模块，同时还将信号经移相限幅处理和低压驱动处理后分为两路，一路施加至石英振梁的驱动电极，另一路进入相位补偿，波形整形模块用于对输入信号的波形上升及下降沿的陡直度进行调整，并将输出信号至并联反相模块；并联反相模块对输入信号的波形再一次反相处理。该方案有效减小激振电路的相位误差，降低温度变化对振梁谐振特性的影响，有利于提高加速度计的长期稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110989727A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911191925.8
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明涉及惯性仪表制造技术领域，公开了一种加速度计测试温控装置。其中，该测试温控装置装配在分度装置上，该测试温控装置包括框架、安装工装、半导体制冷器件和保温层，所述框架通过所述分度装置的转轴与所述分度装置连接，所述安装工装设置在所述框架中且具有用于固定加速度计的安装孔，所述半导体制冷器件设置在所述安装工装底部与所述安装孔对应的位置用于对所述加速度计进行加热或制冷，所述保温层设置在所述框架内侧用于隔离外部环境，所述分度装置在翻滚的情况下通过所述转轴带动所述加速度计翻滚。由此，可以通过半导体制冷器件和相应结构实现加速度计静态测试或多点翻滚时的温度控制。
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公开(公告)号：CN103217151A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201210017308.8
申请日：2012-01-19
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本发明属于陀螺敏感装置，具体涉及一种四质量块线振动硅微陀螺敏感装置。一种四质量块线振动硅微陀螺敏感装置，包括敏感结构和分别设置敏感结构上下两侧的上封帽、下封帽，所述的敏感结构包括4个质量块。本发明的显著效果是：避免了耦合误差；抵消了在硅微陀螺敏感装置工作状态下基座所受耦合力矩；节约了加工成本。
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公开(公告)号：CN103213939A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201210017609.0
申请日：2012-01-19
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明涉及加工方法，特别是具有不等高梳齿结构和需圆片级封装的硅微机电陀螺结构的加工方法。它包括步骤一：加工下封帽；步骤二：下封帽与敏感结构键合，敏感结构上表面结构加工；下封帽与敏感结构键合；步骤三：加工敏感结构，敏感结构支撑层与绝缘层的去除；氮化硅掩膜图形化；生长二氧化硅；敏感结构掩膜图形化；刻蚀定齿结构；刻蚀动齿结构；步骤四：加工上封帽，上封帽引线孔加工；上封帽质量块加工；步骤五：敏感结构与上封帽键合；步骤六：金属化。本发明的效果是：有利于保证线条质量，提高梳齿结构的侧壁垂直度；解决了不同材料的热膨胀系数不同所引起的残余应力等问题，提高了工艺兼容性；减少了加工工序，降低了工艺成本。
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公开(公告)号：CN117990315A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311718751.2
申请日：2023-12-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明提供一种双自由度旋转叠加振动工装，该振动工装包括基座；主体结构，所述主体结构设置在所述基座上，所述主体结构包括外圈轴承组件、内圈轴承组件、惯测安装平台、惯测组合以及压环，本发明能够真实还原惯测组合在旋转状态和振动应力共同作用下的实际载荷工况。同时该振动工装还可以同时满足三个方向的随机振动试验，提高试验效率。
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公开(公告)号：CN111707250A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010493576.1
申请日：2020-06-03
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5621 , F16F15/04 , F16F15/02
Abstract: 本发明涉及一种石英音叉陀螺减振装置，石英音叉(103)、组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303)。组合梁(301)包含四个呈空间S形分布弹性梁(311)，外侧与膜状结构(302)固定，内侧与石英音叉中心锚点(104)相连，膜状结构(302)的下部为用于提供稳定封闭环境的管壳(303)。膜状结构(302)整体呈长方形，在与驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。在不增大体积的条件下，能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，抑制应力。
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