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公开(公告)号：KR20210000134A
公开(公告)日：2021-01-04
申请号：KR20190075038
申请日：2019-06-24
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 나노입자코팅장치가개시된다. 상기나노입자코팅장치는유전체; 상기유전체상에배치되는제1 전극; 상기제1 전극의반대편에서상기유전체를상기제1 전극과의사이에두고, 상기유전체와이격되게배치되는제2 전극; 상기제1 전극및 상기제2 전극에전압을인가하는전원공급장치; 및상기제1 전극및 상기제2 전극에전압이인가되면플라즈마가발생하는영역으로서, 상기유전체와상기제2 전극사이에위치하는플라즈마발생부를포함하고, 상기제2 전극의일부또는전체는상기플라즈마발생부에노출되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020160130017A
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：KR1020150061732
申请日：2015-04-30
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은투명전극의제조방법및 이에의해제조된투명전극에관한것으로, 상기투명전극의제조방법은기재를준비하는기재준비단계; (1) 상기기재를표면처리하거나, (2) 상기기재에유기용매를코팅하여유기용매레이어를형성시키는기재처리단계; 상기기재상에금속나노와이어또는금속나노메쉬를코팅하는금속코팅단계; 상기금속나노와이어또는금속나노메쉬상에고분자, 산화물및 질화물중 적어도하나를포함한물질을코팅하여제1전극층을형성하는제1전극층형성단계; 및상기기재를제거하는기재제거단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 표면거칠기가개선된투명전극을제공하여디스플레이소자또는플렉서블소자에유용하게적용할수 있다.
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公开(公告)号：KR101915693B1
公开(公告)日：2018-11-07
申请号：KR1020170054935
申请日：2017-04-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: B23K10/02 , B23K9/32 , B23K31/02 , B32B9/04 , B23K103/18
Abstract: 본발명은플라즈마프레스장치및 이를접합방법에관한것으로, 플라즈마를 발생한상태에서접합되는두 기재를가압하면서접합하여종래보다현저하게향상된접합력을제공하며, 별도의가열공정없이도접합이가능하여접합하는기재에열손상을방지할수 있는것을특징으로한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170122910A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：KR1020160051747
申请日：2016-04-27
Applicant: 성균관대학교산학협력단 , 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L21/3065 , H01L21/02 , H01L21/28 , H01L21/324 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/3065 , H01J37/32009 , H01J37/3244 , H01J2237/334 , H01L21/67069 , H01L21/67115
Abstract: 본발명은원자층식각방법에관한것으로서, 본발명에따른원자층식각방법은원자층제거시램프의광원을이용한가열을통해피식각물질층의상면및 측면을동시에제거가능하여수 나노미터스케일의패턴이더라도쉽게평면적크기를줄일수 있는원자층식각방법이제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及原子层蚀刻方法，在根据本发明的原子层蚀刻方法中，可以通过使用灯的光源的加热同时去除层状材料的上表面和侧表面， 提供了即使使用图案也能够容易地减小平面尺寸的原子层蚀刻方法。
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公开(公告)号：KR101467116B1
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020130113622
申请日：2013-09-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G02F1/1303 , H01L21/3065 , H01L21/677
Abstract: 표면 처리 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 표면 처리 방법은 기판 표면에 그래핀 플레이크를 분사하여 마스크를 형성하는 마스크 형성 단계 및 그래핀 플레이크가 분사된 상기 기판 표면에 에너지원을 조사하는 에너지 조사 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 에너지 조사 단계에서 상기 기판 표면에 분사된 그래핀 플레이크가 모두 식각될 때까지 에너지를 조사하고, 상기 에너지원은 대기압 플라즈마인 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 公开了一种表面处理方法。 根据本发明的表面处理方法包括通过在基板的表面上喷涂石墨烯薄片形成掩模的掩模形成步骤以及在基板的表面上散射能量源的能量辐射方法，在该表面上，石墨烯 薄片喷雾。 在能量辐射步骤中，辐射能量，直到喷涂在基板表面上的石墨烯薄片被完全蚀刻。 能源是大气等离子体。
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公开(公告)号：KR102245712B1
公开(公告)日：2021-04-28
申请号：KR1020190075038
申请日：2019-06-24
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 나노입자코팅장치가개시된다. 상기나노입자코팅장치는유전체; 상기유전체상에배치되는제1 전극; 상기제1 전극의반대편에서상기유전체를상기제1 전극과의사이에두고, 상기유전체와이격되게배치되는제2 전극; 상기제1 전극및 상기제2 전극에전압을인가하는전원공급장치; 및상기제1 전극및 상기제2 전극에전압이인가되면플라즈마가발생하는영역으로서, 상기유전체와상기제2 전극사이에위치하는플라즈마발생부를포함하고, 상기제2 전극의일부또는전체는상기플라즈마발생부에노출되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020170124967A
公开(公告)日：2017-11-13
申请号：KR1020170054935
申请日：2017-04-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: B23K10/02 , B23K9/32 , B23K31/02 , B32B9/04 , B23K103/18
Abstract: 본발명은플라즈마프레스장치및 이를접합방법에관한것으로, 플라즈마를 발생한상태에서접합되는두 기재를가압하면서접합하여종래보다현저하게향상된접합력을제공하며, 별도의가열공정없이도접합이가능하여접합하는기재에열손상을방지할수 있는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明是一种等离子体加压装置，并且它涉及接合，通过焊接，同时按下两个基板中引起的等离子体提供了比用于结合的常规基材显著提高接合强度，能够通过，而不需要加入单独的加热工序中的状态下被接合的方法 从而防止热损伤。
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公开(公告)号：KR1020170048183A
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020160136383
申请日：2016-10-20
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/027 , H01L21/033 , H01L21/324 , H01L21/67
Abstract: 본발명은고가의장비를사용하지않고, 상온에서대기압하에서기판표면의성질을개질하여특정한영역에패터닝이가능한패터닝방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种图案化方法，其能够通过在室温下在大气压力下改变基板表面的性质而不使用昂贵的设备来图案化特定区域。
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