公开(公告)号：TWI506721B

公开(公告)日：2015-11-01

申请号：TW098142134

申请日：2009-12-09

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 懷特 卡爾L ,  WHITE, CARL L. ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  李德 朱歐 ,  REED, JOE

IPC: H01L21/683

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/4585 ,  H01L21/67011 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68771

公开(公告)号：TWI489526B

公开(公告)日：2015-06-21

申请号：TW099114330

申请日：2010-05-05

Applicant: ASM美洲公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 阿嘉瓦 拉凡德K ,  AGGARWAL, RAVINDER K. ,  哈洛 羅伯C ,  HARO, ROBERT C.

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/52 ,  G01K7/04 ,  G05D23/22

CPC classification number: G01K7/02 ,  G01K7/04

公开(公告)号：TWI466174B

公开(公告)日：2014-12-21

申请号：TW095103699

申请日：2006-02-03

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 波爾 麥特喜愛斯 ,  BAUER, MATTHIAS ,  威克斯 基斯 多倫 ,  WEEKS, KEITH DORAN ,  托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE ,  寇帝 奈爾 ,  CODY, NYLES

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/7848 ,  C23C16/04 ,  C23C16/22 ,  C23C16/24 ,  C23C16/32 ,  C23C16/325 ,  C23C16/45512 ,  C30B25/02 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02636 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/32056 ,  H01L21/3215 ,  H01L29/165 ,  H01L29/66628 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/7834

公开(公告)号：TWI458946B

公开(公告)日：2014-11-01

申请号：TW098117513

申请日：2009-05-26

Applicant: ASM美洲公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 葉德納克三世 安迪 邁可 ,  YEDNAK III, ANDY MICHAEL

IPC: G01K7/06 ,  G01K7/02

CPC classification number: G01K7/04 ,  G01K13/00

公开(公告)号：TWI445836B

公开(公告)日：2014-07-21

申请号：TW096141034

申请日：2007-10-31

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/283

CPC classification number: C23C16/45525 ,  C23C16/4554 ,  C23C16/50 ,  H01L21/28088 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/517

公开(公告)号：TWI445117B

公开(公告)日：2014-07-11

申请号：TW097143524

申请日：2008-11-11

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 波爾 麥特喜愛斯 ,  BAUER, MATTHIAS

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/54 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/04 ,  C23C16/24 ,  C23C16/45514 ,  C23C16/45523 ,  C30B25/02 ,  C30B33/12 ,  C30B35/00

公开(公告)号：TWI439680B

公开(公告)日：2014-06-01

申请号：TW097118365

申请日：2008-05-19

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 雅可布斯 勞恩 ,  JACOBS, LOREN ,  海爾賓 邁克 ,  HALPIN, MIKE

IPC: G01K1/14 ,  G01K7/02 ,  G01K1/08 ,  H01L35/00

CPC classification number: G01K1/08 ,  G01K7/02 ,  G01K7/04

公开(公告)号：TWI424084B

公开(公告)日：2014-01-21

申请号：TW096102030

申请日：2007-01-19

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 普羅文撤 提莫西J. ,  PROVENCHER, TIMOTHY J. ,  希克森 克魯閣B. ,  HICKSON, CRAIG B.

IPC: C23C16/455 ,  C30B25/14 ,  C30B25/10

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45565 ,  F16K27/003 ,  F16K51/02 ,  Y10T137/87684

公开(公告)号：TWI417949B

公开(公告)日：2013-12-01

申请号：TW095130234

申请日：2006-08-17

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 小帕格里亞羅 羅伯特H. ,  PAGLIARO, JR., ROBERT H.

IPC: H01L21/30 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02052 ,  Y10S438/906

公开(公告)号：TW201327637A

公开(公告)日：2013-07-01

申请号：TW101148792

申请日：2012-12-20

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 寇帝 奈爾W ,  CODY, NYLES W. ,  湯瑪斯 蕭恩 ,  THOMAS, SHAWN ,  托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02661

Abstract: 用於在現場沈積之前進行低溫清潔一半導體表面之方法具有高產量及消耗非常少之熱預算。GeH4在該表面上沈積Ge且將任何表面氣轉換為GeOx。諸如Cl2或HCl之一蝕刻劑移除Ge及任何GeOx且之後係磊晶沈積。可因至該基板中之擴散而在該基板上剩下Ge濃度之一尖峰。可在比習知烘焙步驟更低之溫度下循序現場地進行所有三個步驟。

Abstract in simplified Chinese: 用于在现场沉积之前进行低温清洁一半导体表面之方法具有高产量及消耗非常少之热预算。GeH4在该表面上沉积Ge且将任何表面气转换为GeOx。诸如Cl2或HCl之一蚀刻剂移除Ge及任何GeOx且之后系磊晶沉积。可因至该基板中之扩散而在该基板上剩下Ge浓度之一尖峰。可在比习知烘焙步骤更低之温度下循序现场地进行所有三个步骤。