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公开(公告)号：KR101124216B1
公开(公告)日：2012-04-12
申请号：KR1020090095757
申请日：2009-10-08
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F3/00 , H01L21/205 , B82B3/00
Abstract: 본 발명은 변형된 글리신을 사용한 신규의 알칼리 토금속 디알킬글리신 화합물 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 하기 화학식 1로 표시되는 알칼리 토금속 디알킬글리신 화합물에 관한 것이다.
[화학식 1]
[상기 화학식 1에서,
M은 Be, Mg, Ca, Sr, Ba 또는 Ra에서 선택되는 알칼리 토금속이고, R
1 및 R
2 는 서로 독립적으로 할로겐이 하나 이상 치환되거나 치환되지 않은 C3-C7의 선형 또는 분지형의 알킬기이다.]
본 발명에 따른 알칼리 토금속 디알킬글리신 화합물은 금속 산화물 박막 및 금속 산화물 나노입자 형성을 위한 전구체로 사용되며, 수분에 덜 민감하고 보관이 용이하며 열적 안정성이 우수한 특성이 있다.
알칼리 토금속, 디알킬글리신, 전구체, 금속 산화물, 박막-
公开(公告)号：KR1020120032720A
公开(公告)日：2012-04-06
申请号：KR1020100094200
申请日：2010-09-29
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C07F5/00 , C01G15/00 , C01P2004/64 , C23C16/40
Abstract: PURPOSE: A novel gallium glycolate compounds and a method for preparing the same are provided to ensure excellent thermal stability and easy storage. CONSTITUTION: A gallium glycolate compound is denoted by chemical formula 1. The gallium glycolate compound is prepared by reacting gallium compounds of chemical formula 2(GaX^1_3) and glycolate compound of chemical formulas 3(HOCOCH_2OR^3) and 4(HOCH_2COOR^3). A gallium oxide thin film is formed by MOCVD using gallium glycolate compounds as a precursor.
Abstract translation: 目的：提供新型的乙醇酸镓化合物及其制备方法，以确保优异的热稳定性和易于储存。 构成：化学式1表示乙酸羟乙酯化合物。通过使化学式2的镓化合物（GaX 3）和化学式3（HOCOCH 2 OR 3）和4（HOCH 2 COOR 3）的乙醇酸化合物 ）。 通过MOCVD，使用乙酸羟乙酯化合物作为前体形成氧化镓薄膜。
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公开(公告)号：KR101116402B1
公开(公告)日：2012-03-09
申请号：KR1020090048234
申请日：2009-06-01
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F7/18 , C23C16/42 , H01L21/205
Abstract: 본발명에따른실리콘알콕사이드화합물은상온에서액체상태로존재하며낮은온도에서휘발되는특성을나타냄으로실리콘을포함하는물질의박막증착또는여러가지합금제조에실리콘원료물질로유용하게사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101082335B1
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：KR1020100046874
申请日：2010-05-19
Applicant: 한국화학연구원
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L29/1606 , H01L29/0669
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a thin film transistor using a two-dimensional graphene nano ribbon is provided to control the length of a graphene nano ribbon by using a Pd catalyst. CONSTITUTION: A source electrode and a drain electrode are connected to both sides of a channel layer. A gate electrode corresponds to the channel layer. A gate insulation layer is formed between the channel layer and the gate electrode. After the gate insulation layer is deposited on the gate electrode, the source electrode and the drain electrode are formed by a lithograph process. A hydrophobic organic layer is laminated after the gate insulation layer, the source electrode, and the drain electrode are surface-processed.
Abstract translation: 目的：提供使用二维石墨烯纳米带制造薄膜晶体管的方法，以通过使用Pd催化剂来控制石墨烯纳米带的长度。 构成：源电极和漏极连接到沟道层的两侧。 栅电极对应于沟道层。 在沟道层和栅电极之间形成栅极绝缘层。 在栅极绝缘层沉积在栅极上之后，源极和漏极通过光刻工艺形成。 在栅极绝缘层，源电极和漏电极进行表面处理之后，层叠疏水性有机层。
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公开(公告)号：KR1020110094686A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：KR1020100014241
申请日：2010-02-17
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C07F5/00 , C01G15/00 , C01P2004/64 , C04B35/01 , C04B35/62222 , C04B2235/3286 , C23C16/18 , C23C16/40
Abstract: PURPOSE: A method for preparing a novel gallium compound using modified glycine is provided to ensure thermal stability and to prepare gallium oxide nanoparticles and a compound containing gallium. CONSTITUTION: A gallium dialkylglycinate is denoted by chemical formula 1. The compound of chemical formula 1 is prepared by reacting a gallium halide compound of chemical formula 2(GaX_3) with a compound of chemical formula 3(NaOCOCH_2NR_1R_2). A gallium oxide thin film is prepared using the compound of chemical formula 1 as a precursor.
Abstract translation: 目的：提供一种使用改性甘氨酸制备新型镓化合物的方法，以确保热稳定性和制备氧化镓纳米颗粒和含镓化合物。 构成：化学式1表示二烷基甘氨酸镓。化学式1的化合物通过使化学式2（GaX 3）的卤化镓化合物与化学式3的化合物（NaOCOCH 2 NR 1 R 2）反应而制备。 使用化学式1的化合物作为前体制备氧化镓薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110094677A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：KR1020100014231
申请日：2010-02-17
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C07F5/00 , C01G15/00 , C01P2004/64 , C04B35/01 , C04B35/62222 , C04B2235/3286 , C23C16/18 , C23C16/40
Abstract: PURPOSE: A novel indium compound using modified glycine and a method for preparing the same are provided to ensure thermal stability and easy handling and to be used as a precursor for producing a compound containing indium. CONSTITUTION: An indium dialkyl glycine compound is denoted by chemical formula 1. In chemical formula 1, R1 and R2 are independently linear or branched alkyl group of C1-C5. The compound of chemical formula 1 is prepard by reacting an indium halide compound of chemical formula 2(InX_3) with a compound of chemical formula 3(NaOCOCH_2NR_1R_2). An indium oxide thin film is prepared using the indium dialkyl glycine compound as a precursor.
Abstract translation: 目的：提供一种使用改性甘氨酸的新型铟化合物及其制备方法，以确保热稳定性和易于处理，并用作生产含铟化合物的前体。 构成：化学式1表示铟二烷基甘氨酸化合物。在化学式1中，R 1和R 2独立地为C1-C5的直链或支链烷基。 通过使化学式2的卤化铟化合物（InX 3）与化学式3的化合物（NaOCOCH 2 NR 1 R 2）反应来制备化学式1的化合物。 使用铟二烷基甘氨酸化合物作为前体制备氧化铟薄膜。
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公开(公告)号：KR1020110038460A
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：KR1020090095757
申请日：2009-10-08
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F3/00 , H01L21/205 , B82B3/00
CPC classification number: C07F3/003 , B82B3/00 , C01G23/006 , C01G35/006 , C01P2002/34 , C01P2004/64 , C23C16/404 , H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A method for preparing novel alkali earth metal dialkyl glycine compounds is provided to ensure thermal stability. CONSTITUTION: An alkali earthg metal dialkyl glycine compound is denoted by chemical formula 1. In chemical formula 1, M is alkali earth metal of Be, Mg, Ca, Sr, Ba, or Ra. The alkali earth metal dialkyl glycine compound is prepared by reacting alkali earth metal halide compound of chemical formula 2(MX_2) and sodium dialkyl glycine of chemical formula 3(NaOCOCH_2NR^1R^2). An alkali earth metal oxide nanoparticle is prepared using alkali earth metal dialkyl glycine compound as a precursor.
Abstract translation: 目的：提供一种制备新型碱土金属二烷基甘氨酸化合物的方法，以确保热稳定性。 构成：化学式1表示碱土金属二烷基甘氨酸化合物。在化学式1中，M为Be，Mg，Ca，Sr，Ba或Ra的碱土金属。 碱土金属二烷基甘氨酸化合物通过化学式2（MX_2）的碱土金属卤化物化合物与化学式3的二烷基甘氨酸钠（NaOCOCH 2 NR 1 1R 2）反应来制备。 碱土金属二烷基甘氨酸化合物作为前体制备碱土金属氧化物纳米粒子。
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公开(公告)号：KR1020100129608A
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：KR1020090048255
申请日：2009-06-01
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F7/18 , C23C16/42 , H01L21/205
CPC classification number: C07F7/1804 , C23C16/24 , C23C16/401 , C23C16/45525 , H01L21/2053
Abstract: PURPOSE: A silicon amino alkoxide compound is provided to use as a silicon ingredient for thin film deposition or alloy manufacturing. CONSTITUTION: A silicon amino alkoxide compound is denoted by chemical formula 1. A silicon amino alkoxide compound is prepared by reacting alkali metal salt of chemical formulas 4(M^1O-A^1-ONR^1R^2) and 5(M^2O-A^2-ONR^4R^5) with a silicon compound of chemical formula 3([R^6]_3-a-bX^1_bX^2_aSi-SiX^1_nX^2_m[R^3]_3-n-m). A silicon-containing thin film is prepared using the silicon amino alkoxide compound as a precursor. The thin film is formed by metal organic chemical vapor deposition or atom layer deposition.
Abstract translation: 目的：提供硅氨基醇盐化合物作为薄膜沉积或合金制造的硅成分。 组成：硅烷氧基化合物由化学式1表示。硅氨基烷氧基化合物是通过使化学式4的碱金属盐（M 1 O-A 1 - ONR ^ 1R ^ 2）和5（M' 2 O-A ^ 2-ONR ^ 4R ^ 5）与化学式3的硅化合物（[R 6] 3-a-bX 1 1-x X 2 2-Si x Si 1 N x ^ 2] [R 3 3] _3nm） 。 使用硅氨基醇盐化合物作为前体制备含硅薄膜。 薄膜由金属有机化学气相沉积或原子层沉积形成。
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公开(公告)号：KR100992982B1
公开(公告)日：2010-11-09
申请号：KR1020080113164
申请日：2008-11-14
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C01G27/00
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 하프늄 알콕사이드 화합물 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 하프늄 알콕사이드 화합물은 열적으로 안정하여 하프늄 산화물 박막을 제조하는데 유리하게 이용될 수 있다.
[화학식 1]
Hf(OCR
1 R
2 R
3 )
4
[상기 화학식 1에서 R
1 및 R
2 는 독립적으로 C
1 -C
5 의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R
3 는
C
2 -C
5 의 선형 알케닐 혹은 알키닐기다.]
하프늄, 하프늄 산화물 전구체, 하프늄 산화물, 박막, 유기금속 화학기상 증착법(MOCVD), 원자층 증착법(ALD)-
公开(公告)号：KR100963538B1
公开(公告)日：2010-06-15
申请号：KR1020080002020
申请日：2008-01-08
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본 발명은 카드뮴 아미노알콕사이드 화합물을 이용하여 카드뮴 입자 또는 카드뮴 칼코게나이드 입자를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르는 제조방법은 카드뮴 아미노알콕사이드 화합물의 저온 열분해에 의해 나노크기로 용이하게 제조할 수 있을 뿐만 아니라 덮개리간드를 이용함으로써 유기용매에 잘 분산된 나노 콜로이드를 제조할 수 있는 장점이 있다.
카드뮴 아미노알콕사이드, 알킬카드뮴, 카드뮴, 카드뮴 산화물, 카드뮴 칼코게나이드, 나노 입자, 유기 콜로이드
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