Abstract:
본 발명은 자기 정렬된 카본나노튜브 팁을 이용한 전자빔 마이크로소스, 전자빔 마이크로소스 모듈 및 그 제조방법에 관한 것으로, 캐소드 전극으로 사용되는 전도성 기판, CNT 에미터, 그라운드 전극을 포함하고, 전도성 기판 상부에 CNT 에미터를 에워싸는 마이크로 캐비티를 형성하고 CNT 에미터로부터 방출된 전자를 관통할 수 있는 홀을 구비하는 구조로 형성되되, CNT 에미터는 금속 촉매의 표면으로부터 상기 전도성 기판과 수직한 방향으로 성장되어 홀의 중앙부에 자동 정렬된 탄소 나노 튜브를 이용한 전자빔 마이크로소스를 제공한다.
Abstract:
본 발명은 카메라 시스템에 바이프리즘 입체 렌즈 어댑터를 부착한 형태의 휴대용 스테레오 카메라 시스템을 사용함에 있어서, 촬영되고 있는 영상의 입체감의 확인이 가능한 입체영상용 뷰 파인더 시스템을 제공한다. 본 발명의 뷰 파인더 시스템은 영상입력수단, 영상해석수단, 영상합성수단, 영상변환수단, 영상표시수단을 포함하여, 왼쪽상과 오른쪽상을 합성하여 주시점을 쉽게 알 수 있게 한다.
Abstract:
본 발명은 하나의 카메라와 광학 어댑터, 컴퓨터를 사용하여 기존의 단안식 입체 카메라로 동영상 또는 정지 영상을 얻을 때 문제가 되는 가로와 세로간의 비가 달라짐으로 인해 생기는 해상력의 손실 문제와 상의 왜곡으로 인한 문제를 개선하기 위한 것으로, 바이프리즘을 사용하여 바이프리즘의 각 부분에 의해서 빛이 꺾이는 방향이 달라지는 것을 이용하여 좌측상과 우측상을 분리해내며, 해상력의 손실을 최소화하기 위하여 복수의 실린드리컬 렌즈로 구성되는 아나모픽 광학계를 바이프리즘의 앞에 설치하여 수평방향의 시계각을 확장해주는 방법을 사용하고, 이로 인해 입체상을 재생할 때 생기는 영상신호가 없는 화소에 대해서는 인접한 두 화소의 가중 평균값으로 보간하며, 바이프리즘의 사용으로 인해 좌측상과 우측상에 서로 반대방향으� �� 왜곡이 발생하는 현상을 프로그램을 사용하여 보정함으로써 상의 왜곡 현상을 감소시킬 수 있는 일안식 입체 카메라 및 이를 이용한 입체 영상 시스템을 제공한다.
Abstract:
PURPOSE: An electron beam lithography system is provided to perform a process on a plurality of wafers in a plurality of chambers by merging each chamber in one system of a cluster type wherein an electron beam lithography process is performed in each chamber. CONSTITUTION: A plurality of chambers for electron beam lithography process and a plurality of input/output loadlock chambers(150,151) as a cluster type are connected to one transfer chamber(130) to simultaneously perform a process on the wafers. The chamber for the electron beam lithography process includes a multi-column part(200).
Abstract:
PURPOSE: A stereo camera system is provided to change a position and a direction of an imaginary camera without changing a position of a camera. CONSTITUTION: A stereo camera system includes a camera(101), such as a video camera, and a zoom lens system(103) coupled to the camera(101). A roof type prism(105) is arranged on a front portion of the camera(101). The roof type prism(105) has fixed vertical angles. Coating material is coated on the roof type prism(105) so as to improve transmittance of light. A plan portion of the roof type prism(105) is directed to an object, which is positioned at a front portion of the zoom lens system(103), or directed to the zoom lens system(103). A rotary member(107), such as a stepping motor, is installed at a lower portion of the roof type prism(105). The rotary member(107) rotates about a central edge portion of the roof type prism(105).
Abstract:
PURPOSE: A mask align apparatus of vertical exposure equipment is provided to more easily transfer a substrate due to a decrease of weight and volume of a substrate transfer apparatus by aligning a mask in directions of X, Y, Z, theta X, theta Y and theta Z. CONSTITUTION: A Z-direction guide rail(101) is installed in a horizontal base. A Z-direction transfer unit is coupled to the Z-direction guide rail, capable of gliding. A Y-direction align unit(200) is installed in the Z-direction transfer unit. A frame box(300) is composed of an upper plate, a lower plate and both sidewalls, mounted on the Y-direction align unit. Each tilt direction align unit(500) is installed in the upper and lower portions of a main frame(301) connected between the upper and lower plates of the frame box. Each X-direction straight line operating unit(402) is installed in the upper and lower plates of the frame box. A frame hanger(503b) is installed in the upper end of an align frame(302) connected between the X-direction straight line operating units. The upper and lower portions of the rear surface of a mask mounting frame(303) hung on the frame hanger come in contact with the tilt direction align unit protruding through the align frame. A mask frame(304) supports the mask(100), fixed to the front surface of the mask mounting frame.
Abstract:
PURPOSE: A device for controlling a screen expansion lens is provided to attach a lens to a display device, to correct an error generated between the lens and a targeted expansion screen, thereby clearly expanding the targeted screen. CONSTITUTION: A signal input unit(31) makes an original signal and a monitoring signal as pixels types, and inputs the signals. A storage(32) makes the original and the monitoring signals pixels, to store the pixels, and pre-calculates data for correcting an error between the original signal and the monitoring signal to store the error, then processes the error. A resolution controller(33) contrasts an error of comparing the original signal with the monitoring signal with the error stored in the storage, and controls resolution. A signal synthesizer(34) synthesizes the error-compensated signals together. A signal output unit(35) receives a signal whose resolution is maintained, and makes the signal acceptable in a lens controller(36), then outputs the signal. The lens controller controls a projecting lens and a monitoring lens of the signal output unit. A lens(37) expands a screen according to a signal outputted from the lens controller.
Abstract:
본 발명은 금속 배선과 기판 사이의 상호 간섭작용을 최소화함으로써 배선을 통해 보다 안정적으로 신호를 전달시킬 수 있고, 인덕터를 이루는 금속 배선과 기판 사이의 기생 캐패시턴스를 감소시키며 기판에서의 자장 간섭작용을 억제시켜 인덕터의 성능을 향상시킬 수 있는 집적형 인덕터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판을 선택적으로 식각하여 상기 기판 내에 다수의 트렌치를 형성하는 제1 단계, 상기 각 트렌치 측벽 및 바닥의 상기 기판에 불순물을 주입하는 제2 단계, 산화공정을 실시하여 상기 각 트렌치 측벽 및 바닥의 상기 기판을 산화시켜 산화막을 형성함과 동시에, 상기 제2 단계에서 주입된 불순물을 확산시켜 상기 다수 트렌치 주변의 상기 기판 내부 및 표면에 불순물 도핑층을 형성하는 제3 단계, 상기 제3 단계가 완료된 전체 구조 � ��에 제1유전체막을 형성하여 상기 트렌치의 입구를 메움으로써 상기 트렌치 내에 공기층을 형성하는 제4 단계, 상기 제1유전체막상에 제 1 금속배선을 형성하는 제5 단계, 상기 제 1 금속배선상에 제2유전체막을 형성하고, 상기 제2유전체막을 선택적으로 식각하여 상기 제1금속배선을 노출시키는 비아홀을 형성하는 제6 단계, 및 상기 비아홀을 통해 상기 제1금속배선에 연결되는 제2금속배선을 형성하는 제7 단계를 포함한다.
Abstract:
본 발명은 금속 배선과 기판 사이의 상호 간섭작용을 최소화함으로써 배선을 통해 보다 안정적으로 신호를 전달할 수 있고, 인덕터를 이루는 금속 배선과 기판 사이의 기생 캐패시턴스를 감소시켜 인덕터의 성능을 향상시킬 수 있는, 공기가 채워진 트렌치를 갖는 집적소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 집적소자는 기판, 기판 내에 형성된 트렌치 및 트렌치 주변의 기판 및 트렌치의 입구를 덮는 유전체막, 상기 트렌치 및 유전체막 사이에 형성된 공기층을 포함하는데 그 특징이 있다. 또한, 본 발명에 따른 집적소자 제조 방법은 기판을 선택적으로 식각하여 상기 기판 내에 다수의 트렌치를 형성하고, 전체 구조 상에 유전체막을 형성하여 상기 트렌치 입구를 메움으로써 트렌치 내에 공기층을 형성하는 과정을 포함하는데 그 특징이 있다.
Abstract:
PURPOSE: A telephone having a sound/character convert and character display device is provided to visually distinguish aurally indistinct sound signal on telephone call by converting sound signal of an actual caller to a character format. CONSTITUTION: A sound inputting part(210) is inputted analog data and converts the analog data to digital data. A sound signal dividing part(230) divides the digital sound signal by unit time. A sound signal multiplying part(220) converts the divided sound signal to high frequency component. A frequency compressing part(240) encodes the converted high frequency and makes compressed data. A special frequency memory(260) stores special frequencies corresponding to each character. A frequency comparator(250) compares the compressed data with the special frequencies and finds an identical frequency component. An error compensating part(270) compensates an error between the frequency component corresponding to sound signal generated from the frequency comparator(250) and the special frequency corresponding to each character previously stored. A character converting part(280) converts the frequency outputted from the error compensating part(270) to a character.