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公开(公告)号：KR1020050103263A
公开(公告)日：2005-10-27
申请号：KR1020040028519
申请日：2004-04-24
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 측정물의 형상을 측정하는 모아레 시스템에 있어서, 상기 측정물로부터 이격 배치되는 광원과; 소정 피치의 제1 격자무늬와, 상기 제1 격자무늬와 상이한 피치의 적어도 하나의 제2 격자무늬를 갖는 다중피치 투영격자와; 상기 광원으로부터의 광이 상기 제1 격자무늬와 상기 제2 격자무늬 중 어느 하나를 통과하도록 상기 다중피치 투영격자를 이동시키는 격자이동부와; 상기 다중피치 투영격자를 통과하여 상기 측정물에 투영된 광에 의해 형성된 이미지를 결상하기 위한 결상장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, π 모호성으로 인한 측정범위의 제한을 극복하여, 투영격자의 교체없이 하나의 시스템에서 다양한 측정범위의 측정물들을 측정할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050086044A
公开(公告)日：2005-08-30
申请号：KR1020040012372
申请日：2004-02-24
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 투영격자와 상기 투영격자를 통해 측정물에 광을 투영하는 광원을 갖는 영사장치와, 상기 측정물에 투영된 광에 의해 형성된 격자이미지를 결상하기 위한 결상장치를 갖는 모아레 시스템을 이용한 표면형상 측정방법에 있어서, 상기 결상장치로부터 상이한 이격거리를 갖는 복수의 가상 기준면에 대한 기준위상 데이터를 산출하는 단계와; 상기 결상장치와 상기 측정물에 대한 실제 기준면 간의 이격거리를 검출하는 단계와; 상기 모아레 시스템을 이용하여 상기 측정물의 표면에 대한 측정위상 데이터를 산출하는 단계와; 상기 기준위상 데이터들 중 검출된 상기 실제 기준면의 이격거리에 대응하는 기준위상 데이터와 상기 측정위상 데이터에 기초하여 상기 측정물의 표면형상에 대한 데이터를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 복수의 기준면에 대한 기준위상을 사용하여 보다 정밀한 표면형상 측정을 가능하게 하고, 모아레 시스템의 가격을 낮출 수 있다.
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公开(公告)号：KR101395219B1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：KR1020120057591
申请日：2012-05-30
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 모바일용 디스플레이 글라스의 모바일 검사 장치에 설치되어 상기 모바일용 디스플레이 글라스가 안착되는 디스플레이 글라스 안착 모듈에 관한 것이다. 본 발명에 따른 디스플레이 글라스 안착 모듈은 상기 모바일 검사 장치에 착탈 가능하게 설치되는 모듈 본체와; 상기 모듈 본체의 상부면에 설치되는 안착 지그부와; 상기 안착 지그부로부터 상향 돌출되어 상기 모바일용 디스플레이 글라스가 안착될 때 상기 모바일용 디스플레이 글라스의 가장자리 영역을 지지하는 복수의 글라스 지지핀과; 상기 복수의 글라스 지지핀의 내측에 위치하도록 상기 모듈 본체의 상부면에 설치되어 상기 모바일용 디스플레이 글라스가 상기 복수의 글라스 지지핀에 안착되도록 상기 모바일용 디스플레이 글라스를 흡착하는 적어도 하나의 글라스 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 모바일용 디스플레이 글라스의 사이즈 변경에 따른 지지구조의 교체가 용이하고, 모바일용 디스플레이 글라스의 사이즈 변경에도 능동적으로 대처함으로써, 작업 시간 및 제조 비용을 줄일 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020140032026A
公开(公告)日：2014-03-14
申请号：KR1020120097121
申请日：2012-09-03
Applicant: (주)펨트론
Abstract: An electron beam irradiator for transferring a vacuum mode according to an embodiment of the present invention includes: a chamber having a space in where a sample is mounted and in which a column with a structure that is in communication with the space is installed; a first pump connected to the chamber to suck air in the chamber until the internal pressure in the chamber becomes high vacuum pressure; a second pump connected to the chamber and the first pump to suck air therein until the internal pressure therein becomes low vacuum pressure; and a valve part installed in the chamber and connected to the first pump and the second pump to open and close a first flow path for the air from the chamber to the first pump and a second flow path for the air from the chamber to the second pump.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的用于传送真空模式的电子束照射器包括：具有安装样本的空间的腔室，并且其中安装有与该空间连通的结构的列; 连接到所述室以吸入所述室中的空气的第一泵直到所述室中的内部压力变得高真空压力; 连接到所述室的第二泵和所述第一泵以吸入其中的空气，直到其内部压力变得低真空压力; 以及阀部件，其安装在所述腔室中并且连接到所述第一泵和所述第二泵，以打开和关闭用于空气从所述腔室到所述第一泵的第一流路和用于从所述腔室到所述第二泵的空气的第二流动路径 泵。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130134220A
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020120057591
申请日：2012-05-30
Applicant: (주)펨트론
Abstract: The present invention relates to a display glass mounted module in which a display glass for a mobile device is mounted by being installed in a mobile test apparatus of the display glass for the mobile device. The display glass mounted module of the present invention includes: a module body installed to be able to be attached to and detached from the mobile test apparatus; a mounting jig part installed on the upper plane of the module body; a plurality of glass supporting pins which support the edge area of the display glass for the mobile device when the display glass for the mobile device is mounted by being protruded upward from the mounting jig part; and at least one glass absorption part absorbing the display glass for the mobile device in order for the display glass for the mobile device to be mounted to the plurality of glass supporting pins by being installed on the upper plane of the module body to be located in the inside of the plurality of glass supporting pins. Therefore, it is easy to replace a supporting structure according to the size change of the display glass for the mobile device, and work time and manufacturing costs can be reduced by coping with the size change of the display glass for the mobile device actively.
Abstract translation: 显示器玻璃安装模块技术领域本发明涉及一种显示器玻璃安装模块，其中通过安装在用于移动设备的显示器玻璃的移动测试装置中来安装用于移动设备的显示器玻璃。 本发明的显示器玻璃安装模块包括：模块主体，其安装成能够附接到移动测试装置并从其移除; 安装在模块本体的上平面上的安装夹具部件; 当通过从安装夹具部分向上突出地安装用于移动装置的显示器玻璃时，支撑用于移动装置的显示器玻璃的边缘区域的多个玻璃支撑销; 以及吸收用于移动装置的显示器玻璃的至少一个玻璃吸收部分，以便通过安装在模块主体的上平面上将待移动装置的显示器玻璃安装到多个玻璃支撑销 多个玻璃支撑销的内部。 因此，根据用于移动装置的显示器玻璃的尺寸变化容易地替换支撑结构，并且可以通过主动地应对移动装置的显示器玻璃的尺寸变化来减少工作时间和制造成本。
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公开(公告)号：KR1020130115515A
公开(公告)日：2013-10-22
申请号：KR1020120037868
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: An electronic beam emitting device having a vibration reduction structure is provided to completely block a vibration by secondarily reducing the vibration delivered to a chamber by a bellows. CONSTITUTION: A chamber is installed in a basic frame. A vacuum generating unit (150) provides vacuum pressure into the chamber. A pump support unit (140) supports the vacuum generating unit. A vibration absorbing unit is installed in the basic frame. The vibration absorbing unit absorbs a vibration of the vacuum generating unit.
Abstract translation: 目的：提供一种具有减振结构的电子束发射装置，以通过二次减小通过波纹管传递到腔室的振动来完全阻挡振动。 构成：一个房间安装在一个基本框架中。 真空发生单元（150）向腔室提供真空压力。 泵支撑单元（140）支撑真空发生单元。 振动吸收单元安装在基本框架中。 振动吸收单元吸收真空发生单元的振动。
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公开(公告)号：KR101226609B1
公开(公告)日：2013-01-28
申请号：KR1020110008565
申请日：2011-01-28
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 표면 형상 측정 장치 및 이를 이용한 스크린 프린터 관리 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 스크린 프린터 관리 시스템은 인쇄회로기판 상에 접착용 페이스트를 도포하는 스크린 프린터와; 인쇄회로기판 상에 도포된 접착용 페이스트의 도포 상태를 측정하여 접착용 페이스트의 도포 상태와 관련된 다수의 양불 판단 요소에 대한 다수의 측정 데이터를 생성하는 표면 형상 측정 모듈과; 상기 각 양불 판단 요소에 대응하는 다수의 기준 데이터와, 상기 기준 데이터에 대응하여 상기 스크린 프린터의 도포 제어를 위한 다수의 제어 명령이 저장된 스크린 프린팅 데이터베이스와; 상기 표면 형상 측정 모듈에 의해 측정된 상기 다수의 측정 데이터에 기초하여 상기 각 양불 판단 요소에 대한 불량 여부를 판단하고, 상기 측정 데이터와 매칭되는 기준 데이터를 상기 스크린 프린팅 데이터베이스로부터 검색하여, 상기 검색된 기준 데이터에 대응하는 제어 명령을 상기 스크린 프린터로 전송하는 스크린 프린팅 관리 모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 표면 형상 측정 모듈의 측정 결과와 연동되어, 접착용 페이스트의 도포 불량의 발생 전에도 스크린 프린터가 최적의 공정 조건으로 유지될 수 있다.
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公开(公告)号：KR101156124B1
公开(公告)日：2012-07-03
申请号：KR1020110034045
申请日：2011-04-13
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: An electron beam emission apparatus is provided to maintain the vacuum in a vacuum chamber by forming a high pressure passing hole on the top plate side of the vacuum chamber. CONSTITUTION: A feed-through main body(41) comprises a plurality of joint pin balls penetrating the top and bottom thereof. An extended flange unit(42) is extended from an external diameter of the feed-through main body in the outer radial direction. A main body passing hole(21) is combined with the top plate side of a vacuum chamber. A first sealing member has a flange settling unit on which the extended flange unit is settled. A top joint pin(81) is inserted into each joint pin ball from the upper side of a feed-through member(40).
Abstract translation: 目的：提供电子束发射装置，通过在真空室的顶板侧形成高压通孔，将真空保持在真空室中。 构成：馈通主体（41）包括穿过其顶部和底部的多个接头销球。 延伸的凸缘单元（42）在穿过主体的外径沿外径方向延伸。 主体通孔（21）与真空室的顶板侧组合。 第一密封构件具有凸缘沉降单元，延伸的凸缘单元在该法兰沉降单元上沉降。 顶部接头销（81）从馈通构件（40）的上侧插入每个接头销球中。
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公开(公告)号：KR101152798B1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：KR1020100076360
申请日：2010-08-09
Applicant: (주)펨트론
Inventor： 조철훈
Abstract: 듀얼 파장 디지털 홀로그래피를 이용한 3D 측정 장치에 있어서, 상호 상이한 파장과 편광 상태를 갖는 제1 광 및 제2 광을 조사하는 광원부와 상기 광원부로부터 조사되는 상기 제1 광과 상기 제2 광을 측정 광 경로와 기준 광 경로로 분할하여 출력하고, 상기 제1 광 및 상기 제2 광이 상기 측정 광 경로 상에 배치된 측정 대상물로부터 각각 반사되어 형성되는 제1 측정광 및 상기 제2 측정광이 입사되는 광분할간섭부와 상기 기준 광 경로 상에 배치되어 상기 광분할간섭부로부터의 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 각각 상기 제1 측정광 및 상기 제2 측정광에 각각 소정 각도 기울어진 제1 기준광 및 제2 기준광으로 변화하여 상기 광분할간섭부로 출력하는 기준광발생부와 상기 광분할간섭부로 입사된 상기 제1 측정광과 상기 제1 기준광 간의 간섭에 의하여 형성된 제1 간섭광과, 상기 광분할간섭부로 입사된 상기 제2 측정광과 상기 제2 기준광 간의 간섭에 의하여 형성된 제2 간섭광을 촬상하는 촬상부와 상기 촬상부에 의해 촬상된 상기 제1 간섭광 및 상기 제2 간섭광으로부터 각각 홀로그램을 추출하여 상기 측정대상물의 표면 형상을 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 한 장의 홀로그램 영상으로 마치 두 장의 홀로그램 영상을 얻을 수 있으며, 마이켈슨 간섭계 또는 트와인만-그린 간섭계를 이용하여 기준광이 측정광과 동일한 위상 변조를 따르기 때문에 별도의 대물렌즈 위상 변조 보상을 요하지 않는다.
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