一种半球谐振子批量化学抛光装置及抛光方法

    公开(公告)号:CN119932566A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411947134.4

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明提供了一种半球谐振子批量化学抛光装置及抛光方法,该半球谐振子批量化学抛光装置包括:框架、控制电机、传动机构和批量旋转夹持机构,控制电机、传动机构和批量旋转夹持机构固定在框架内,批量旋转夹持机构包括旋转支架和若干半球谐振子夹持装置,若干半球谐振子夹持装置沿旋转支架的周向均匀设置,任一半球谐振子夹持装置用于夹持固定一个半球谐振子,控制电机通过传动机构控制旋转支架绕自身轴线旋转,实现半球谐振子的批量均匀化学抛光。本发明能够解决现有技术中半球谐振子抛光质量和抛光效率不能满足要求的技术问题。

    半球陀螺装配误差快速识别方法和调整装置

    公开(公告)号:CN117029874A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202310869115.3

    申请日:2023-07-14

    Abstract: 本发明提供了一种半球谐振子与电极装配偏心误差快速识别和调整装置,适用于半球谐振子与电极装配过程中的偏心问题的调整。所述方法采用非接触在线测量法获取半球谐振子最大外径的圆,以及电极最大外径的圆,计算两个圆心的距离即半球谐振子与电极装配的偏心量,判断偏心量是否符合要求,若不符合要求,进行偏心量调整,重复测量和误差识别,直至偏心量调整满足要求为止。所述调整装置包括基座、测量装置、调整器、夹持座和旋转机构,所述基座将测量装置、调整器、夹持座和旋转机构连接成一体。本发明可实现高精度同轴误差的非接触检测和在线调整,提升陀螺装配后Q值和频差,为半球谐振陀螺性能提升提供有力技术支撑。

    一种半球谐振子高品质因数膜层设计、镀制装置及方法

    公开(公告)号:CN117660906A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311523449.1

    申请日:2023-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种半球谐振子高品质因数膜层设计、镀制装置及方法,所述膜层设计方法,靠近唇沿设置偏厚膜层,靠近支撑柱底端设置偏薄膜层,唇沿、支撑柱底端膜层厚度比例大于3:1,支撑柱膜层设置偏厚膜层。所述膜层镀制装置包括公转平台、半球谐振子自转装置、金属靶,半球谐振子自转装置距离公转平台中心轴线之间的距离为30mm~35mm,金属靶与公转平台轴线之间的角度为θ,金属靶距离公转平台的距离为300mm,距离公转平台轴线的水平距离为110mm~120mm。所述镀制方法分层控制唇沿位置金属膜层的镀制,并控制不同膜层镀制过程中的腔室内温度。本发明显著提升了半球谐振子品质因数水平。

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