Abstract:
본 발명은 반도체 패키지를 제공한다. 반도체 패키지는 하부 패키지; 상기 하부 패키지 상에 제공되고, 서로 수평적으로 이격된 복수의 상부 패키지들; 상기 하부 패키지 및 상기 상부 패키지들 사이에 개재된 하부 열방출부; 상기 상부 패키지들 사이에 개재되며, 상기 하부 열방출부와 연결되는 중간 열방출부; 및 상기 상부 패키지들 상에 제공되어, 상기 중간 열방출부와 연결되는 상부 열방출부를 포함할 수 있다.
Abstract:
A printing method of an electrophotographic image forming apparatus employing transparent toner is provided to improve the surface uniformity of a printed image by filling a depression and protruded portion of a print media by transferring a second transparent toner image on the surface layer of the print media. A photosensitive drum(10) develops transparent toner. Photosensitive drums(11-14) develop colored toner. A developing unit(20) accommodates the transparent toner, and developing units(21-24) accommodate black, magenta, cyan and yellow colored toner. The second transparent toner image is transferred onto a surface layer of print media. A colored toner image according to image information is transferred on the second transparent toner image. The first transparent toner image is transferred on the colored toner image. The second transparent toner image is transferred only to a region where the colored toner timer is transferred of the surface layer of the print media.
Abstract:
MDL의 선택적 실리사이드막 형성시 충분한 공정 마진 확보를 통하여, 절연막 테일로 인해 야기되던 로직 형성부에서의 공정 불량 발생을 막고, 로직 형성부의 액티브 영역이 디램 셀 형성부의 액티브 영역보다 작게 설계되는 경우가 발생되더라도 그 적용에 한계가 따르지 않도록 한 반도체 소자 제조방법이 개시된다. 이를 위하여 본 발명에서는, 반도체 기판 상에 스페이서가 구비된 게이트 전극을 형성하는 공정과; 게이트 전극 양 에지측의 기판 내부에 소오스·드레인용 액티브 영역을 형성하는 공정과; 상기 결과물 전면에 에치스토퍼막과 SBL용 절연막을 순차 적층하는 공정과; 게이트 전극 상에 소정 두께의 SBL용 절연막이 잔존되도록, 상기 절연막을 일부 식각하는 공정과; 로직 형성부가 오픈되도록 상기 기판 상의 디램 셀 형성부에 제 1 감광막 패턴을 형성하고, 이를 마스크로 이용하여 로직 형성부의 SBL용 절연막과 에치스토퍼막을 순차 식각한 다음, 제 1 감광막 패턴을 제거하는 공정과; 디램 셀 형성부가 오픈되도록 상기 기판 상의 로직 형성부에 제 2 감광막 패턴을 형성하고, 이를 마스크로 이용하여 게이트 전극 상단의 에치스토퍼막 표면이 노출되도록 SBL용 절연막을 식각한 다음, 에치스토퍼막의 표면 노출부를 제거하는 공정과; 디램 셀 형성부의 게이트 전극 내에 불순물을 주입하고, 제 2 감광막 패턴을 제거하는 공정으로 이루어진 반도체 소자 제조방법이 제공된다.
Abstract:
PURPOSE: A fabrication method of semiconductor device having a double gate poly-structure capable of forming an SAC(Self-Aligned Contact) and a gate structure thereof are provided to prevent a characteristic attenuation of a PMOS(P-type Metal Oxide Semiconductor) transistor due to boron permeance by forming a gate using a compact gate insulating layer and a DCS-Wsix layer having poor fluorine ions. CONSTITUTION: A gate stack having a first insulating layer(110) made of a NOX(Nitrogen-rich Oxynitride), a second insulating layer(120), a gate conductive layer(170) made of a DCS-Wsix layer having poor fluorine ions, and a third gate insulating layer(160) is formed by stacking the layers(110,120,170,160). At this time, P-type ions and N-type ions are selectively implanted to the second insulating layer(120) for forming a PMOS transistor and an NMOS transistor. Transistor gates(190,200,210) are formed by etching the gate stack and spacers(140) made of a silicon nitride are then formed on both sidewalls of the transistor gates(190,200,210). After forming and patterning an oxide(180), a contact hole is formed by etching the oxide(180) using a self-aligned method.
Abstract:
반도체 집적회로 소자의 자기정렬 콘택 구조체의 형성방법이 제공된다. 이 방법은 기판 상에 배선패턴들을 형성하는 단계와, 기판의 표면 및 배선 패턴들의 표면을 실리콘 질화층과 같은 캐핑절연층으로 덮는 단계를 포함한다. 캐핑절연층 상에 캐핑절연층에 대하여 습식식각 선택비를 갖는 상부 층간절연층을 형성한다. 상부 층간절연층 및 캐핑절연층을 연속적으로 건식식각하여 기판을 노출시키고 바람직하게는 배선패턴들을 노출시키지 않는 제1 콘택홀을 형성한다. 캐핑절연층을 식각저지층으로 사용하여 제1 콘택홀을 자기정렬 방식으로 확장시킨다. 이 확장 단계는 상부 층간절연층을 캐핑절연층보다 더 빨리 식각시키는 습식식각용액을 사용하여 제1 콘택홀의 측벽을 습식식각함으로써 실시된다. 이 방법에서, 제1 콘택홀은 초기에 오정렬에 대한 에러가 보상되도록 형성될 것이고, 자기정렬 습식식각 단계를 사용하여 제1 콘택홀을 확장시키어 제2 콘택홀을 형성함으로써 콘택저항을 최소화시킬 수 있다.
Abstract:
본 고안은, 세탁물출입구가 형성된 외부케이싱과, 상기 외부케이싱내에 설치되는 아웃터브와, 상기 외부케이싱의 상기 세탁물출입구를 회동개폐하도록 힌지결합된 도어를 갖는 세탁기에 관한 것으로서, 상기 외부케이싱의 전방측 일부영역에 상면으로부터 하향 함몰된 함몰부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 세탁물을 용이하게 인출할 수 있는 세탁기가 제공된다.