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公开(公告)号：KR102257845B1
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：KR1020200018952
申请日：2020-02-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은극미량시료흡입및 유로내부세척이가능한유체제어장치및 방법에관한것이다. 본발명의목적은시료를흡입하기위한진공압력을인가하는흡입용유로및 유로를세척하기위한세척용액체가유통되는세척용유로를분리구성함으로써, 극미량시료흡입및 유로내부세척모두가원활하고용이하게수행될수 있도록하는, 유체제어장치를제공함에있다. 본발명의다른목적은, 상술한바와같은유체제어장치를이용하여제어하는과정에서시료의낭비를최소화하고보다정밀하고정확한제어를실현할수 있도록하는, 유체제어방법을제공함에있다.
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公开(公告)号：KR101790534B1
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：KR1020110045281
申请日：2011-05-13
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J49/0004 , H01J49/142 , H01J49/164 , H01J49/40 , H01J49/406
Abstract: 본발명의목적은분석하고자하는대상의분자량에제한받지않고약물/대사체/지질/펩타이드와같은저분자량분석이나유전자/단백질과같은고분자량분석이모두가능하도록레이저빔또는이온빔을동시에사용하고, 또한주사형방법이아닌현미경방법을사용함으로써측정속도를비약적으로증대시키는, 초고속멀티모드질량분석을위한비행시간기반질량현미경시스템을제공함에있다. 본발명의초고속멀티모드질량분석을위한비행시간기반질량현미경시스템은, 시료의질량화학분석을수행하는질량현미경시스템(100)에있어서, 저분자량시료내지고분자량시료모두에대하여분석이가능하도록, 상기시료상에레이저빔, 이온빔, 레이저빔또는이온빔중 선택되는어느한 가지를디포커스(defocus)된상태로주사하고, 상기시료의이미지를촬영함과동시에레이저빔또는이온빔이주사되었을때 상기시료에서발생되는이차이온을비행시간기반(TOF, time-of-flight)으로위치를측정하여검출함으로써, 현미경모드(microscope mode)로상기시료의질량이미징분석을수행하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101236489B1
公开(公告)日：2013-02-25
申请号：KR1020100054764
申请日：2010-06-10
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/285
Abstract: 전계 방출 주사 전자 현미경용 전자 빔 가속 장치에서 초고진공을 효율적으로 발생시키기 위한 장치가 제공된다. 진공 챔버를 포함하는 전계 방출 주사 전자 현미경용 전자빔 가속 장치의 초고진공 발생 장치는, 진공 챔버에 포함된 전자빔을 방출하고 가속시키는 전자 총과, 전자 총에 전자빔을 방출시키고 가속시키기 위한 고압 전원을 공급하는 빔 가속 전원 공급부와, 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원을 기준 전위로 하여 게터 펌프의 가열기를 가열하기 위한 구동 전원을 공급하는 게터 펌프 전원 공급부와, 진공 챔버 내부에 설치되며, 게터 펌프 전원 공급부의 구동 전원을 이용하여 동작하는 게터 펌프를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101219194B1
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：KR1020110044266
申请日：2011-05-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/12
Abstract: 본 발명은 정전 렌즈의 구조에 관한 것으로서, 제 1 전극, 제 3 전극, 및 상기 제 1 전극과 상기 제 3전극의 사이에 일정 간격을 두고 이격 배치되는 제 2 전극을 포함하며, 세 전극의 중앙부에는 하전 입자 빔이 통과하는 관통구가 각기 형성되어 있으며, 세 전극의 관통구는 일렬로 정렬 배치되는 정전 렌즈의 구조를 개선한 것이다. 제 1 전극과 제 3 전극이 체결수단에 의해 서로 통전되도록 접촉 결합되어 내부에 중공이 형성된 기준전극을 형성하고, 기준전극은 상기 제 2 전극을 이격되게 둘러싸 외부 전계로부터 차폐하고, 상기 제 2 전극에는 전계를 생성할 수 있는 전압이 인가되어, 외부 전계와 영향을 주고받지 않는 구조이므로 집속 성능이 보다 안정되고 향상된다. 이때, 기준전극은 접지되고, 고전압이 인가되는 제 2 전극은 제 1 전극 및 제 3전극 보다 반경이 작은 원판형상으로, 제 1 전극 또는 상기 제 3전극에 절연체인 체결수단과 스페이서에 의해 일정한 간격을 두고 이격 고정되어, 보다 정확하게 정렬되므로 하전 입자 빔 경로가 흐트러지지 않는 집속 성능이 향상된 구조의 정전 렌즈이다.
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公开(公告)号：KR1020120126462A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：KR1020110044266
申请日：2011-05-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/12
Abstract: PURPOSE: A high accuracy electrostatic lens for vacuum is provided to apply an external power source by forming contact pin assembly with high voltage applied to a second electrode. CONSTITUTION: A second electrode is arranged between a first electrode(110) and a third electrode(130). A penetration hole in which a charged particle beam is passed is formed on the center of the first electrode, the second electrode, and the third electrode. The penetration hole is arranged in a row. The first electrode and the third electrode are combined in order to apply an electric current with a fastening means. A reference electrode which is hollowed is formed inside the first electrode and the third electrode.
Abstract translation: 目的：提供用于真空的高精度静电透镜，通过形成具有高电压施加到第二电极的接触销组件来施加外部电源。 构成：第二电极布置在第一电极（110）和第三电极（130）之间。 在第一电极，第二电极和第三电极的中心形成有通过带电粒子束的穿透孔。 穿透孔排列成一列。 组合第一电极和第三电极以便用紧固装置施加电流。 在第一电极和第三电极内部形成有中空的参考电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110135051A
公开(公告)日：2011-12-16
申请号：KR1020100054764
申请日：2010-06-10
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/285
Abstract: PURPOSE: The ultra-high vacuum generator of an electron beam acceleration apparatus is provided to rapidly arrive to a high vacuum state by establishing a getter pump in the inner side of a vacuum chamber of an electron microscope. CONSTITUTION: An emitter emits an electrode. A suppressor electrode focuses the electrode which is emitted. An electron gun emits an electronic beam which is included in a vacuum chamber. A beam acceleration power supply unit(210) emits the electronic beam to the electron gun. The beam acceleration power supply unit supplies high-voltage power in order to accelerate the electronic beam. A getter pump power supply unit(250) supplies drive power in order to heat the heater of a getter pump(160). The getter pump acts using the drive power of the getter pump power supply unit.
Abstract translation: 目的：电子束加速装置的超高真空发生器通过在电子显微镜的真空室的内侧建立吸气泵来快速地达到高真空状态。 构成：发射极发射电极。 抑制电极聚焦发射的电极。 电子枪发射包含在真空室中的电子束。 光束加速电源单元（210）将电子束发射到电子枪。 光束加速电源单元提供高压电力以加速电子束。 吸气泵电源单元（250）提供驱动功率以加热吸气泵（160）的加热器。 吸气泵采用吸气泵电源单元的驱动电源。
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公开(公告)号：KR1020110134227A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020100054092
申请日：2010-06-08
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a scintillator for a scanning electron microscope is provided to improve durability using the scintillator of a structure in which a graphene thin film is coated in a visible light conversion layer. CONSTITUTION: A visible light conversion layer(310) is formed in a substrate. The visible light conversion layer changes a charged particle into visible light. A graphene layer(320) is inputted the charged particle and transmits the charged particle to the visible light conversion layer. A ground terminal(330) discharges the charged particle which is accumulated in the graphene layer to outside. A scintillator(144) indicates a structure about an under test specimen. A graphene thin film is formed by etching the substrate. The graphene thin film is put on the visible light conversion layer.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造用于扫描电子显微镜的闪烁体的方法，以使用其中在可见光转换层中涂覆石墨烯薄膜的结构的闪烁体来提高耐久性。 构成：在基板中形成可见光转换层（310）。 可见光转换层将带电粒子改变成可见光。 输入带电粒子的石墨烯层（320），并将带电粒子发送到可见光转换层。 接地端子（330）将积聚在石墨烯层中的带电粒子排出到外部。 闪烁体（144）表示关于被测样品的结构。 通过蚀刻基板形成石墨烯薄膜。 将石墨烯薄膜放在可见光转换层上。
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公开(公告)号：KR1020110058078A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090114739
申请日：2009-11-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A sample holder transfer system and method are provided to more precisely transfer a sample holder using a driving unit that is not directly coupled to the sample holder. CONSTITUTION: A sample holder transfer method is as follows. A controller activates a driving unit so that a worm gear(310) connected to the driving unit is rotated around a longitudinal axis. According to the rotation of the worm gear, threads formed on the end of the worm gear are meshed with saw teeth(220) formed on the exterior of an arc-shaped stage and the arc-shaped stage is rotated around a central shaft having a fixed curvature. According to the movement of the arc-shaped stage, a mounting member(240) that is fixed to the inner side of the arc-shaped stage and coupled with a sample holder is transferred.
Abstract translation: 目的：提供样品架传送系统和方法，以使用不直接耦合到样品架的驱动单元更精确地传送样品架。 构成：样品架转印方法如下。 控制器激活驱动单元，使得连接到驱动单元的蜗轮（310）围绕纵向轴线旋转。 根据蜗轮的旋转，形成在蜗轮端部的螺纹与形成在弧形台的外部上的锯齿（220）啮合，并且弧形台围绕具有 固定曲率。 根据弧形台的运动，传送固定在弧形台的内侧并与样品保持架相结合的安装构件（240）。
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公开(公告)号：KR1020050092613A
公开(公告)日：2005-09-22
申请号：KR1020040017717
申请日：2004-03-16
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G21K1/06
Abstract: 본 발명은 X-선 모노크로메타 크리스탈의 미세조절장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 한 쌍으로 구비되는 고정블럭에 각각 두 개의 제 1미세조정볼트와 한 개의 제 2미세조정볼트를 통해 크리스탈의 곡면을 형성하고, 이렇게 형성된 곡면의 뒤틀림을 보정하여 최소화하기 위한 X-선 모노크로메타 크리스탈의 미세조절장치에 관한 것이다. 따라서, 본 발명에 의하면, 고정블럭을 "ㄴ" 형상의 2개로 형성하고 각각을 제 1미세조정볼트 및 제 2미세조정볼트로 3개소에서 상/하 구동하게 함으로써 크리스탈의 곡률 형성뿐만 아니라 형성된 곡면의 뒤틀림을 보정할 수 있어 크리스탈의 각 부위의 곡률 반경에 대한 편차를 최소화하여 보다 정밀한 극미세구조의 분석 및 해석을 가능하게 할 수 있다. 그리고 본 발명에 의하면, 기초판의 저면에 길이방향으로 도브테일 형상의 밑판을 구성함으로써 본 발명에 따른 장치의 장착 및 고정시에 크리스탈에 가해지는 외력을 최소로 하여 크리스탈에 형성된 곡률 반경이 그대로 유지되도록 할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170110378A
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：KR1020160034683
申请日：2016-03-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J49/44 , G01N23/225 , H01J37/21
CPC classification number: H01J37/3007 , H01J29/62 , H01J29/70 , H01J31/24 , H01J37/3005 , H01J37/3053 , H01J37/3178 , H01J2237/103 , H01J2237/2802 , H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/12 , H01J37/21 , H01J49/44
Abstract: 본발명은하전입자선의진로를편향시키는원통형정전렌즈를대칭으로배열하고그 사이에에너지선택조리개(aperture)를배치하여중심에너지범위의하전입자선을선택하는것이가능한하전입자선장치에관한것으로, 모노크로미터중앙전극및 상기중앙전극을중심으로전방부와후방부에배열되는복수개의전극이절연을통해서로고정되는일체화구조를취하기때문에, 전방부와후방부에각각의렌즈를별도로마련하는경우에비해광축에대해오프셋을조정하는기구가간소해지는장점을가지며, 광학계의대칭성에의해출사면에서이차수차가상쇄된다.
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