公开(公告)号：NL1035816A1

公开(公告)日：2009-03-16

申请号：NL1035816

申请日：2008-08-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BERKVENS PAUL PETRUS JOANNES ,  GRAAF ROELOF FREDERIK DE ,  LIEBREGTS PAULUS MARTINUS MARIA ,  HAM RONALD VAN DER ,  SIMONS WILHELMUS FRANCISCUS JOHANNES ,  DIRECKS DANIEL JOZEF MARIA ,  JANSSEN FRANCISCUS JOHANNES JOSEPH ,  SCHOLTES PAUL WILLIAM ,  BRANDS GERT-JAN GERARDUS JOHANNES THOMAS ,  STEFFENS KOEN ,  LEMPENS HAN HENRICUS ALDEGONDA ,  LIEROP MATHIEUS ANNA KAREL VAN ,  METSENAERE CHRISTOPHE DE ,  MIRANDA MARCIO ALEXANDRE CANO ,  SPRUYTENBURG PATRICK JOHANNES WILHELMUS ,  VERSTRAETE JORIS JOHAN ANNE-MARIE

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：NL1036292A1

公开(公告)日：2009-06-22

申请号：NL1036292

申请日：2008-12-08

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HEERTJES MARCEL FRANCOIS ,  SIMONS WILHELMUS FRANCISCUS JOHANNES ,  HOUBEN DENNIS ANDREAS PETRUS HUBERTINA ,  GOOSSENS JEFFREY HENDRIKUS PETRUS

IPC: G05B19/19 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68