公开(公告)号：NL1035816A1

公开(公告)日：2009-03-16

申请号：NL1035816

申请日：2008-08-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BERKVENS PAUL PETRUS JOANNES ,  GRAAF ROELOF FREDERIK DE ,  LIEBREGTS PAULUS MARTINUS MARIA ,  HAM RONALD VAN DER ,  SIMONS WILHELMUS FRANCISCUS JOHANNES ,  DIRECKS DANIEL JOZEF MARIA ,  JANSSEN FRANCISCUS JOHANNES JOSEPH ,  SCHOLTES PAUL WILLIAM ,  BRANDS GERT-JAN GERARDUS JOHANNES THOMAS ,  STEFFENS KOEN ,  LEMPENS HAN HENRICUS ALDEGONDA ,  LIEROP MATHIEUS ANNA KAREL VAN ,  METSENAERE CHRISTOPHE DE ,  MIRANDA MARCIO ALEXANDRE CANO ,  SPRUYTENBURG PATRICK JOHANNES WILHELMUS ,  VERSTRAETE JORIS JOHAN ANNE-MARIE

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：NL1036766A1

公开(公告)日：2009-10-27

申请号：NL1036766

申请日：2009-03-24

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： GRAAF ROELOF FREDERIK DE ,  NET ANTONIUS JOHANNUS VAN DER ,  STAVENGA MARCO KOERT ,  CUIJPERS JOHANNES WILHELMUS JA ,  HEUVEL MARTINUS WILHELMUS VAN

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL1036306A1

公开(公告)日：2009-06-23

申请号：NL1036306

申请日：2008-12-11

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： GRAAF ROELOF FREDERIK DE ,  JANSEN HANS ,  JANSEN BAUKE ,  HEUSSCHEN HUBERTUS LEONARDUS FRANCISCUS

IPC: G03F7/20