Verfahren zur Herstellung von Schottky-Dioden mit Metallgateelektroden

    公开(公告)号:DE102012103024B4

    公开(公告)日:2016-09-29

    申请号:DE102012103024

    申请日:2012-04-05

    Abstract: Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements (100), wobei das Verfahren Folgendes aufweist: – Bereitstellen eines Substrats (10) mit einem ersten Gebiet und einem zweiten Gebiet; – Ausbilden einer Gatedielektrikumsschicht mindestens über dem zweiten Gebiet des Substrats (10); – Ausbilden einer ersten Dummy-Gateelektrode über dem ersten Gebiet des Substrats (10), wobei die erste Dummy-Gateelektrode eine erste leitende Schicht und eine zweite leitende Schicht über der ersten leitenden Schicht aufweist; – in dem zweiten Gebiet des Substrats (10) Ausbilden einer zweiten Dummy-Gateelektrode über der Gatedielektrikumsschicht, wobei die zweite Dummy-Gateelektrode eine dritte leitende Schicht und eine vierte leitende Schicht über der dritten leitenden Schicht aufweist; – Ausbilden eines ersten dotierten Gebiets (21) unter der ersten Dummy-Gateelektrode; – Ausbilden eines ersten Grabens durch Entfernen der ersten Dummy-Gateelektrode; – Ausbilden eines zweiten Grabens durch Entfernen der vierten leitenden Schicht und – Ausbilden einer Metallschicht über dem Substrat (10), wobei ein erster Abschnitt der Metallschicht das erste dotierte Gebiet (21) in dem ersten Graben elektrisch kontaktiert und ein zweiter Abschnitt der Metallschicht den zweiten Graben mindestens teilweise füllt.

    17.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102008054320A1

    公开(公告)日:2009-06-04

    申请号:DE102008054320

    申请日:2008-11-03

    Abstract: Semiconductor devices and methods of manufacture thereof are disclosed. In one embodiment, a capacitor plate includes a plurality of first parallel conductive members, and a plurality of second parallel conductive members disposed over the plurality of first parallel conductive members. A first base member is coupled to an end of the plurality of first parallel conductive members, and a second base member is coupled to an end of the plurality of second parallel conductive members. A connecting member is disposed between the plurality of first parallel conductive members and the plurality of second parallel conductive members, wherein the connecting member includes at least one elongated via.

    19.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:FR2827706B1

    公开(公告)日:2004-04-09

    申请号:FR0209195

    申请日:2002-07-19

    Abstract: The present invention creates an operating method for a semiconductor component having a substrate; having a conductive polysilicon strip which is applied to the substrate; having a first and a second electrical contact which are connected to the conductive polysilicon strip such that this forms an electrical resistance in between them; with the semiconductor component being operated reversibly in a current/voltage range in which it has a first differential resistance (Rdiff 1 ) up to a current limit value (It) corresponding to an upper voltage limit value (Vt) and, at current values greater than this, has a second differential resistance (Rdiff 2 ), which is less than the first differential resistance (Rdiff 1 ).

Patent Agency Ranking