公开(公告)号：KR1020140088070A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：KR1020147002380

申请日：2012-06-29

Applicant: 무라타 일렉트로닉스 오와이

Inventor： 쿠이스마헤이키 ,  누루미사미

IPC: H01L25/04 ,  H01L25/16 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/0074 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/025 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/036 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/095 ,  B81C1/00333 ,  G01C19/5783 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/148 ,  G01P1/023 ,  G01P1/026 ,  G01P15/0802 ,  H01L21/568 ,  H01L23/528 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/16 ,  H01L24/17 ,  H01L24/19 ,  H01L24/32 ,  H01L24/73 ,  H01L24/83 ,  H01L24/92 ,  H01L24/96 ,  H01L24/97 ,  H01L25/16 ,  H01L25/18 ,  H01L25/50 ,  H01L27/14618 ,  H01L2223/6677 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/1703 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/8312 ,  H01L2224/8319 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2224/81 ,  H01L2224/83 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: 시스템-인-패키지 디바이스의 제조 방법 및 시스템-인-패키지 디바이스가 개시되어 있다. 방법에서, 사전결정된 치수들을 가진 적어도 하나의 제 1 스피시즈 다이, 사전결정된 치수들을 가진 적어도 하나의 제 2 스피시즈 다이 및 시스템-인-디바이스의 적어도 하나의 추가의 구성 요소가 시스템-인-패키지 디바이스에 포함된다. 제 1 및 제 2 스피시즈 다이들 중 적어도 하나가 리디멘져닝을 위해 선택되고 재료가 선택된 다이의 적어도 하나의 측면에 추가되어 추가된 재료 및 선택된 다이가 리디멘져닝된 다이 구조를 형성한다. 접속 층은 리디멘져닝된 다이 구조 상에 형성된다. 리디멘져닝된 다이 구조는 선택되지 않은 다이 및 접속 층을 통해 리디멘져닝된 다이 구조와 접촉하는 적어도 하나의 추가의 구성 요소를 장착하도록 디멘져닝된다.

Abstract translation: 公开了一种制造系统级封装器件的方法，以及一种系统级封装器件。 在该方法中，至少一个具有预定尺寸的第一种模具，具有预定尺寸的至少一个第二种类模具，并且系统级装置中的至少一个另外的部件被包括在系统级封装装置中。 选择第一和第二种类模具中的至少一种用于重新定向，并且将材料添加到所选择的模具的至少一侧，使得添加的材料和所选择的模具形成重新定型的模具结构。 在重新定型的模具结构上形成连接层。 尺寸设计为重新定型的模具结构，以允许非选择的模具和至少一个另外的部件通过连接层与重新定向的模具结构接触。

公开(公告)号：KR1020080070358A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：KR1020070008345

申请日：2007-01-26

Applicant: 광주과학기술원

Inventor： 이종현 ,  황일한

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  F04B43/04

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B7/0006 ,  B81B2201/036

Abstract: A micro-pump is provided to obtain an effect of driving of two divided piezoelectric elements by separating an upper electrode layer or the upper electrode layer and an element layer. A micro-pump includes a thin layer(15), a piezoelectric element(17), and a pump body(11). The piezoelectric element is arranged on the thin layer, deforms the thin layer for pumping fluid, and includes a lower electrode layer(173), an element layer(171), and an upper electrode layer(172). The lower electrode layer is formed on the thin layer with an adhesive. The element layer is formed on the lower electrode layer. The upper electrode layer is formed on the element layer. The pump body forms a pumping chamber(14) with the thin layer and includes inlet and outlet channels(12,13). The inlet channel is connected with the pump chamber having a cross section larger as going to the pumping chamber. The outlet channel is connected with the pump chamber having a cross section larger as going away from the pumping chamber.

Abstract translation: 提供微型泵来通过分离上部电极层或上部电极层和元件层来获得驱动两个分割的压电元件的效果。 微型泵包括薄层（15），压电元件（17）和泵体（11）。 压电元件布置在薄层上，使薄层变形以泵送流体，并且包括下电极层（173），元件层（171）和上电极层（172）。 下部电极层用粘合剂形成在薄层上。 元件层形成在下电极层上。 上部电极层形成在元件层上。 泵体形成具有薄层的泵送室（14）并且包括入口和出口通道（12,13）。 入口通道与泵室连接，泵室的横截面积大于进入泵送室的横截面积。 出口通道与泵室连接，泵室的横截面较大，远离泵送室。

公开(公告)号：KR100802491B1

公开(公告)日：2008-02-12

申请号：KR1020027014773

申请日：2001-05-02

Applicant: 실버브룩 리서치 피티와이 리미티드

Inventor： 실버브룩키아

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B41J2/1645 ,  B41J2/14427 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1648 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/052 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49401

Abstract: A thermal bend actuator ( 6 ) is provided with a group of upper arms ( 23, 25, 26 ) and a group of lower arms ( 27, 28 ) which are non planar, so increasing the stiffness of the arms. The arms ( 23, 25, 26,27,28 ) may be spaced transversely of each other and do not overly each other in plan view, so enabling all arms to be formed by depositing a single layer of arm forming material

公开(公告)号：KR1020070061109A

公开(公告)日：2007-06-13

申请号：KR1020060046522

申请日：2006-05-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정광효 ,  이대식 ,  장원익 ,  전치훈 ,  표현봉 ,  최창억

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0035 ,  B81B3/0018 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054

Abstract: A thermo-pneumatic micro valve with a membrane is provided to be applied for pumping liquid in a flow control chamber in a predetermined direction through a continuous heating and cooling. A thermo-pneumatic micro valve with a membrane includes a plurality of channels, a flow control chamber(102), a pressure control chamber(107), a pair of temperature control units(105,106), and a membrane(101). The channels are connected with the flow control chamber. The flow control chamber controls the flow and an amount of the fluid in the channels. The pressure control chamber is wrapped by a side wall formed in a second substrate, a top of which is wrapped by the membrane, a bottom of which is wrapped by a temperature control substrate(108). The temperature control unit controls a temperature of a medium of the pressure control chamber. The membrane controls the flow of the fluid of the channels.

Abstract translation: 提供具有膜的热气动微型阀，用于通过连续的加热和冷却将预定方向上的液体泵送到流量控制室中。 具有膜的热气动微型阀包括多个通道，流量控制室（102），压力控制室（107），一对温度控制单元（105,106）和膜（101）。 通道与流量控制室连接。 流量控制室控制通道中的流量和流量。 压力控制室被形成在第二衬底中的侧壁包裹，第二衬底的顶部被膜包裹，其底部被温度控制衬底（108）包裹。 温度控制单元控制压力控制室的介质的温度。 膜控制通道流体的流动。

公开(公告)号：KR1020070038779A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：KR1020050094058

申请日：2005-10-06

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 양상식

IPC: B81B3/00 ,  F04B19/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B1/00 ,  B81B2201/036

Abstract: 본 발명은 화학, 의학, 약학, 생명 공학, 환경 공학 등의 바이오산업 전반에 걸친 첨단 응용에 필수적인 극소량 유체의 자유로운 이용을 가능하게 하는 열공압 구동 방식의 펌프 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 마이크로 펌프는 일반적인 펌프와 같이 움직이는 구조물 즉, 박막이나 밸브가 존재하지 않으며, 그로 인해 구조가 단순하고 제조가 용이하며 제작 단가가 상대적으로 낮은 장점을 갖고 있다.
위에 기술한 장점을 지닌 본 열공압 구동 마이크로 펌프는 두 개의 공기 챔버와 마이크로 히터, 모세관, 펌프 챔버, 통기 유로 등으로 구성되며, 제조 방법은 다음과 같은 단계로 이루어진다. 유리 재질의 하부기판 위에 금속으로 마이크로 히터를 제작하는 단계, 음성 후막 감광제를 이용하여 펌프 챔버와 모세관, 공기 챔버, 통기 유로 등과 같은 마이크로 펌프의 구조를 형성하는 단계, 실리콘 재질의 상부기판과 접합하는 단계로 구성된다.
마이크로 펌프는 두 가지 원리로 작동된다. 마이크로 히터에 전류를 흘리면 발생되는 열로 인해서 공기 챔버 내에 있는 공기가 팽창하면서 펌프 챔버 내에 있는 유체를 출구로 밀어낸다. 이 때 통기 유로로 인해 두 공기 챔버의 압력은 동일하고 입구를 모세관의 유체 저항이 커서 펌프 챔버내의 유체는 출구쪽으로 토출된다. 펌프 챔버 내의 유체가 완전히 토출되자마자 히터의 전류를 끊으면 팽창된 공기가 수축한다. 펌프 챔버의 출구측 유체 경계선에 작용하는 표면 장력으로 출구측 유체의 유입이 저지되고 입구측에서만 유체가 펌프 챔버 내로 유입된다. 본 발명의 마이크로 펌프는 사진 식각 기술, 금속 증착 등의 마이크로머시닝 공정으로 제작함으로써 수 밀리미터 이하의 크기로 소형화가 가능하고, 소자의 집적화 및 일괄 공정에 의한 대량 생산 및 생산 단가의 절감을 꾀할 수 있다.
마이크로 펌프, 열공압, 마이크로머시닝

公开(公告)号：KR101420360B1

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：KR1020130090234

申请日：2013-07-30

Applicant: 서강대학교산학협력단

Inventor： 신운섭

IPC: B81B7/02 ,  B81B1/00 ,  F04B19/00 ,  F04B37/02

CPC classification number: B81B3/0035 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/036

Abstract: The present invention relates to an electroosmotic pump using a reversible electrode reaction and a fluid pumping system using the same, wherein the electroosmotic pump generates pumping force using the change of the moving direction of fluid by alternately supplying voltage to first and second electrodes to repeatedly generate an electrochemical reaction in forward and backward directions, and recycles the first and second electrodes. The electroosmotic pump comprises a membrane allowing the movement of the fluid and first and second electrodes arranged on both sides of the membrane, formed of a porous material or structure to allow the movement of the fluid, and composed of a substance for generating a reversible electrochemical reaction. The present invention can move a large amount of fluid for a long time while maintaining the size and configuration of the electroosmotic pump, can recycle the electrodes through a reversible reaction, and can increase the utilization of the electroosmotic pump by preventing the generation of gas.

Abstract translation: 本发明涉及一种使用可逆电极反应的电渗泵和使用该电渗泵的流体泵送系统，其中电渗泵通过交替地向第一和第二电极提供电压来产生泵送运动方向的变化，从而重复产生 在前后方向上的电化学反应，并且再循环第一和第二电极。 电渗泵包括允许流体移动的膜和布置在膜的两侧上的第一和第二电极，由多孔材料或结构形成，以允许流体的移动，并由用于产生可逆电化学的物质组成 反应。 本发明可以在保持电渗泵的尺寸和构造的同时长时间移动大量流体，可以通过可逆反应再循环电极，并且可以通过防止气体的产生来增加电渗泵的利用。

公开(公告)号：KR20100122015A

公开(公告)日：2010-11-19

申请号：KR20090040991

申请日：2009-05-11

Applicant: KOREA TECHNOLOGY INDUSTRY CO LTD

Inventor： PARK KWAN HAN ,  BONG HYUNG JIN ,  SEO KYONG JOO ,  BANG SOO ON ,  HAN MOON HI

IPC: B81B7/00 ,  F04B43/04

CPC classification number: B81B3/0067 ,  B81B2201/0278 ,  B81B2201/036

Abstract: PURPOSE: A micro pump kit and a main body controlling the same are provided to control the temperature of fluid which is supplied to a detection device, thereby circulating the fluid between a micro pump kit and the detection device. CONSTITUTION: The fluid flows in into a first and a second inlet ports(11,21) and is flown out into a first and a second outlet ports(13,23). A first pressure means(31) makes the fluid to flow into the first inlet port. A second pressure mean(33) makes the fluid to flow into the second inlet port. The fluid flown in by the first pressure means is exhausted through the first outlet port. The fluid exhausted through the first outlet port flows in by the second pressure mean into the second inlet port. The temperature controller(61) is included between the first inlet port and the first outlet port.

Abstract translation: 目的：提供微泵组件及其主体，以控制提供给检测装置的流体的温度，从而使流体在微泵组件和检测装置之间循环。 构成：流体流入第一和第二入口端口（11,21）并且流出到第一和第二出口端口（13,23）中。 第一压力装置（31）使流体流入第一入口。 第二压力平均值（33）使得流体流入第二入口。 由第一压力装置流入的流体通过第一出口排出。 通过第一出口排出的流体通过第二压力平均流入第二入口。 温度控制器（61）包括在第一入口和第一出口之间。

公开(公告)号：KR1020100033036A

公开(公告)日：2010-03-29

申请号：KR1020080091993

申请日：2008-09-19

Applicant: 창원대학교 산학협력단

Inventor： 정준호

IPC: B81B3/00 ,  F04B43/04

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0035 ,  B81B2201/036

Abstract: PURPOSE: A micro pump is provided to improve durability of a power transmission method by accurately and precisely controlling the amount of pumping. CONSTITUTION: A micro pump comprises a body(10), a chamber(20), a thin film(27), a first channel(30), a second channel(40), and a power transmission unit(50). The chamber has a space. The thin film divides the chamber into an upper chamber(22) and a lower chamber(24). The first channel guides fluid to flow into the lower chamber. The second channel guides the fluid within the lower chamber to be discharged. The power transmission unit injects or discharges the fluid to the upper chamber.

Abstract translation: 目的：提供一种微型泵，通过精确和精确地控制泵送量来提高动力传动方法的耐久性。 构成：微泵包括主体（10），腔室（20），薄膜（27），第一通道（30），第二通道（40）和动力传递单元（50）。 房间有空间。 薄膜将腔室分成上腔室（22）和下腔室（24）。 第一通道引导流体流入下腔室。 第二通道引导下腔室内的流体排出。 动力传递单元将流体喷射或排出到上腔室。

公开(公告)号：KR1020080067797A

公开(公告)日：2008-07-22

申请号：KR1020070005147

申请日：2007-01-17

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 안유민 ,  조웅 ,  고용준 ,  주진경

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0035 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2201/06

Abstract: A thermo-pneumatic micro pump chip applicable to a micro bio chip and a manufacturing method thereof are provided to increase precision of flow control of a pump by bonding a poly dimethyl siloxane(PDMS) chip with a glass chip integrally. A thermo-pneumatic micro pump chip(100) that is applicable to a micro bio chip comprises a glass chip(10) and a PDMS chip(20) that are integrally bonded to each other. The glass chip is equipped with a heater(11) and a sensor. In addition, the PDMS chip is formed on an upper surface of the glass chip and moves fluid sample in a desired direction.

Abstract translation: 提供了适用于微生物芯片的热气动微型泵芯片及其制造方法，以通过将聚二甲基硅氧烷（PDMS）芯片与玻璃芯片整体结合来提高泵的流量控制精度。 适用于微生物芯片的热气动微型泵芯片（100）包括彼此一体地结合的玻璃芯片（10）和PDMS芯片（20）。 玻璃芯片配有加热器（11）和传感器。 此外，PDMS芯片形成在玻璃芯片的上表面上，并使流体样品沿期望的方向移动。

公开(公告)号：KR1020060118179A

公开(公告)日：2006-11-23

申请号：KR1020050040704

申请日：2005-05-16

Applicant: 에스케이하이닉스 주식회사

Inventor： 박용태

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B2201/036

Abstract: A micro pump and a manufacturing method thereof are provided to simplify structure of the micro pump by regulating flow of fluid with azobenzene, and to cut down operational cost of the micro pump by using infinite light energy. A micro pump includes a substrate frame(160) having an inlet(141) of fluid formed at an end, an outlet(142) of fluid formed at the other end and a channel(143) formed between the inlet and the outlet and opened to contain and transfer fluid, and a glass substrate(130) mounted in the substrate frame to seal the channel and to move fluid in the channel according to incident rays outside the channel. The substrate frame includes an upper substrate(110) and a lower substrate(120), and the upper substrate and the second substrate are symmetrically combined with an adhesive(150). The channel is formed in an upper part of the upper substrate and a lower part of the lower substrate.

Abstract translation: 提供了一种微型泵及其制造方法，以通过使用偶氮苯调节流体的流动来简化微型泵的结构，并且通过使用无穷大的光能来降低微型泵的运行成本。 微型泵包括：衬底框架（160），其具有在一端形成的流体入口（141），在另一端形成的流体出口（142）和形成在入口和出口之间的通道（143） 以容纳和传送流体;以及玻璃基板（130），安装在基板框架中以密封通道并根据通道外部的入射光线在通道中移动流体。 基板框架包括上基板（110）和下基板（120），并且上基板和第二基板与粘合剂（150）对称组合。 通道形成在上基板的上部和下基板的下部。