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公开(公告)号:CN112750740B
公开(公告)日:2024-02-23
申请号:CN202011136270.7
申请日:2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种能够可靠地输送多个切割品的输送模块、切割装置以及切割品的制造方法。包括:移动体(44),配置在切割台(12b)上,能够一边与封装基板(S)被切割而形成的多个切割品(Sa)接触一边移动;驱动机构(46),驱动移动体(44);以及移送机构(47),移送多个切割品(Sa),移送机构(47)通过移动体(44)将与移动体送。(44)接触的切割品(Sa)从切割台(12b)分离并移
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公开(公告)号:CN112750723A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN202011137537.4
申请日:2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/78
Abstract: 本发明提供一种清洗模块、切割装置以及切割品的制造方法,即使在切割品的尺寸小的情况下也能够提高清洗效率。包括:容器(21),收纳封装基板被切割而形成的多个切割品(Sa);旋转机构(22),使容器(21)旋转;供液机构(23),向容器(21)内供给清洗液;以及排液机构(24),排出容器(21)内的清洗液,多个切割品(Sa)在浸渍于清洗液的状态下,在通过旋转机构(22)旋转的容器(21)内被清洗。
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公开(公告)号:CN111981976A
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN202010271789.X
申请日:2020-04-08
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种保持构件、检查机构、切断装置、保持对象物的制造方法及保持构件的制造方法。保持构件能够高精度地进行由多个吸附孔各自吸附保持的保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件保持多个保持对象物用于光学检查,包括:保持部,设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽;以及反射部,设置在所述槽,反射率比所述保持部高;且所述反射部具有平坦的表面。
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公开(公告)号:CN107533965B
公开(公告)日:2020-11-03
申请号:CN201680025715.X
申请日:2016-06-13
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/683
Abstract: 通过设置于切削用夹具且具有第1吸附面积的第1吸附口,将形成有多个单位区域的封装后基板吸附于切削用夹具。在所吸附的封装后基板的至少一部分切断线上,使用第1旋转刀来形成切削槽。通过设置于切断用夹具的多个第2吸附口,将封装后基板吸附于切断用夹具。一个第2吸附口利用第2吸附面积来吸附一个单位区域。在吸附于切断用夹具的封装后基板的切断线上,使用第2旋转刀来切断封装后基板。由于包含于第1吸附面积且吸附一个单位区域的单位吸附面积大于第2吸附面积,因此能够将具有翘曲的封装后基板切实地吸附于切削用夹具。通过所形成的切削槽来降低封装后基板的翘曲。
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公开(公告)号:CN107710393B
公开(公告)日:2020-03-13
申请号:CN201680034745.7
申请日:2016-08-29
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 树脂密封装置具备包含于模腔的多个主模腔和多个副模腔。在分别收容有在引线框架的多个区域安装的多个芯片的多个主模腔中形成主硬化树脂,在以与引线框架的框架重迭的方式形成的多个副模腔中形成副硬化树脂。通过副硬化树脂使树脂密封后的引线框架的强度增大。包含芯片及主硬化树脂的1个区域相当于1个电子零件,在引线框架中形成由被形成为格子状的多个区域构成的1个制品集合区域。通过不设置引线框架的加强框,从而增加电子零件的单位面积获得数量。
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公开(公告)号:CN107533965A
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201680025715.X
申请日:2016-06-13
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/683
Abstract: 通过设置于切削用夹具且具有第1吸附面积的第1吸附口,将形成有多个单位区域的封装后基板吸附于切削用夹具。在所吸附的封装后基板的至少一部分切断线上,使用第1旋转刀来形成切削槽。通过设置于切断用夹具的多个第2吸附口,将封装后基板吸附于切断用夹具。一个第2吸附口利用第2吸附面积来吸附一个单位区域。在吸附于切断用夹具的封装后基板的切断线上,使用第2旋转刀来切断封装后基板。由于包含于第1吸附面积且吸附一个单位区域的单位吸附面积大于第2吸附面积,因此能够将具有翘曲的封装后基板切实地吸附于切削用夹具。通过所形成的切削槽来降低封装后基板的翘曲。
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公开(公告)号:CN107530859A
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201680025726.8
申请日:2016-06-28
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 在切断装置中设置有以夹持旋转刀的状态固定于旋转轴的第1凸缘及第2凸缘。在第1凸缘上设置有:环状的保持部,在外周部与旋转刀的第1面密接;及环状的第1凹部,在第2凸缘上设置有:环状的保持部,在外周部与旋转刀的第2面密接;及环状的第2凹部。第1凹部与第2凹部隔着旋转刀相对配置。将从第1面至第1凹部的内底面为止的距离与从第2面至第2凹部的内底面为止的距离设定为大于旋转刀的研磨粒的最大直径且小于容许旋转刀变形的范围内的变形量的最大值的相等距离。若旋转刀变形,则研磨粒与第1凹部及第2凹部的内底面接触。
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公开(公告)号:CN104241113A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410184012.4
申请日:2014-05-04
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/78
CPC classification number: H01L21/6838 , H01L21/67766
Abstract: 本发明提供一种电子器件用的收容工具、其制造方法及单片化装置。该收容工具通过使用将树脂片的形状反转的成型模具来制造树脂片,能够以格子状收容被单片化的电子器件。向具有与树脂片对应的内腔的成型模具供给常温固化性液态树脂。在内腔中形成有与树脂片所具有的格子状的凹部对应的凸部。在将金属台的上表面浸入充满内腔的树脂中的状态下使树脂固化,以形成固化树脂。由此,使金属台与由固化树脂构成的树脂片附着,以制造具有格子状凹部的收容工具。通过使用成型模具,能够将树脂片的凹部形成为格子状而并非格子旗状,并将所有被单片化的电子器件收容在被形成为格子状的凹部中。
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公开(公告)号:CN111981976B
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN202010271789.X
申请日:2020-04-08
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种保持构件、检查机构、切断装置、保持对象物的制造方法及保持构件的制造方法。保持构件能够高精度地进行由多个吸附孔各自吸附保持的保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件保持多个保持对象物用于光学检查,包括:保持部,设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽;以及反射部,设置在所述槽,反射率比所述保持部高;且所述反射部具有平坦的表面。
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