半球谐振子曲面膜层均匀性测试工装及方法

    公开(公告)号:CN117091549A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202311153304.7

    申请日:2023-09-07

    Abstract: 本发明公开了一种半球谐振子曲面膜层均匀性测试工装及方法,所述测试工装内部尺寸与谐振子半球内球面尺寸相同,内表面设有若干列卡槽,且各卡槽间夹角均等,每列卡槽从球体唇缘贯穿至球顶,槽宽和槽高分别与贴片的宽度和厚度相等,每列卡槽设置相同个数的贴片定位槽用于安放贴片,每个卡槽中贴片定位槽以相同方式标号,标号相同的贴片定位槽与球体中心轴间的距离完全相等。本发明有效解决了类似半球谐振子的异形结构内部膜层厚度测量难度大的问题,为膜层均匀性提升提供了基础表征手段。

    一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法

    公开(公告)号:CN113913773A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111062039.2

    申请日:2021-09-10

    Abstract: 本发明提供了一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法,该镀制装置包括公转平台、自转机构、两个镀膜组件;自转机构安装在公转平台上,与公转平台中心轴线保持一定距离;自转机构上设置装配半球谐振子的凹槽;两个镀膜组件安装在公转平台上方、并与公转平台中心轴线保持一定距离;两个镀膜组件均包括靶材,靶材朝向公转平台、与公转平台中心轴线形成夹角;公转平台、自转机构同时进行公转、自转,两个镀膜组件与公转平台中心轴线形成不同角度、互相配合进行镀膜。本发明采用双金属靶多角度同时镀制同种膜层材料,两个靶材与谐振子角度不同,避免出现盲区,可有效提升膜层镀制效率,另外双靶位同时溅射,明显改善膜层致密性、膜层应力等性能指标。

    一种半球谐振子批量化学抛光装置及抛光方法

    公开(公告)号:CN119932566A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411947134.4

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明提供了一种半球谐振子批量化学抛光装置及抛光方法,该半球谐振子批量化学抛光装置包括:框架、控制电机、传动机构和批量旋转夹持机构,控制电机、传动机构和批量旋转夹持机构固定在框架内,批量旋转夹持机构包括旋转支架和若干半球谐振子夹持装置,若干半球谐振子夹持装置沿旋转支架的周向均匀设置,任一半球谐振子夹持装置用于夹持固定一个半球谐振子,控制电机通过传动机构控制旋转支架绕自身轴线旋转,实现半球谐振子的批量均匀化学抛光。本发明能够解决现有技术中半球谐振子抛光质量和抛光效率不能满足要求的技术问题。

    一种微半球谐振子核心振动参数性能测试系统

    公开(公告)号:CN117490720A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311301758.4

    申请日:2023-10-09

    Abstract: 本发明公开了一种微半球谐振子核心振动参数性能测试系统,微半球谐振子(1)固定在旋转平台(2)上;激励电控装置(6)用于固定激励探针(3)和控制激励探针(3)的移动;多普勒激光测振仪(4)位于真空室(5)外,发出的激光束通过真空室观察窗(7)照射至微半球谐振子(1)唇缘区域法线位置。使用激励电控装置(6)将激励探针(3)移动抵触至微半球谐振子球面,使之产生一定形变后控制激励探针(3)离开微半球谐振子球面,多普勒激光测振仪(4)检测微半球谐振子(1)的振动并采集实时信号,通过USB示波器测量微半球谐振子谐振频率和品质因数。本发明采用探针激励可以实现未镀膜和镀膜微半球谐振子的激励和检测,以克服常规的电极激励在未镀膜谐振子上无法使用的困难。

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