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公开(公告)号：KR1020110058357A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090115109
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: PURPOSE: A contactless imprinting apparatus is provided to reduce a failure rate by preventing dust resulting from the friction of bearings. CONSTITUTION: A contactless imprinting apparatus(1) comprises a cylindrical mold, a pair of radial bearings(30), a pair of thrust bearings(40), and a pair of feed rollers(13). The cylindrical mold rotates in order to form a pattern on a flexible substrate. The radial bearings control a radial motion with an electromechanical force. The thrust bearings are provided on the right and left sides in the direction of the rotary axis of the cylindrical mold. The feed rollers form tension between the cylindrical mold and the flexible substrate. Each stator of the radial bearings comprises an upper first stator part(31) and a lower second stator part(32) separated from the first stator part.
Abstract translation: 目的：提供一种非接触式压印装置，通过防止轴承摩擦产生的灰尘来降低故障率。 构成：非接触式压印装置（1）包括圆柱形模具，一对径向轴承（30），一对推力轴承（40）和一对进给辊（13）。 圆柱形模具旋转以在柔性基底上形成图案。 径向轴承通过机电力控制径向运动。 推力轴承沿圆柱形模具的旋转轴线的方向在左右两侧设置。 进料辊在圆柱形模具和柔性基材之间形成张力。 径向轴承的每个定子包括与第一定子部分分离的上部第一定子部分（31）和下部第二定子部分（32）。
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公开(公告)号：KR1020110058344A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090115095
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/677 , H01L21/20 , B65G49/06 , C23C14/00
CPC classification number: H01L21/67173 , B65G49/065 , H01L21/6723 , H01L21/67709 , H01L21/67784
Abstract: PURPOSE: A horizontal contactless deposition apparatus is provided to be easily loaded on a base by a roller of a load lock chamber, thereby increasing the efficiency of a deposition process. CONSTITUTION: A deposition chamber(8) performs a deposition process. A conveyor(9) conveys a substrate in the deposition chamber. A base(10) is formed on the bottom of the deposition chamber. A first support unit is made of a permanent magnet(60) and a magnetic plate(50). A second support unit is formed between the base and the conveyor.
Abstract translation: 目的：提供一种水平非接触式沉积装置，通过负载锁定室的辊容易地装载在基座上，从而提高沉积工艺的效率。 构成：沉积室（8）执行沉积工艺。 输送机（9）在沉积室中输送基板。 基底（10）形成在沉积室的底部。 第一支撑单元由永磁体（60）和磁性板（50）制成。 第二支撑单元形成在基座和输送机之间。
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公开(公告)号：KR100977466B1
公开(公告)日：2010-08-23
申请号：KR1020080065102
申请日：2008-07-04
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G03F7/70825 , G03F7/24 , G03F7/703 , G03F7/707 , G03F7/70725 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , G03F7/70841 , G03F7/70858 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H02N15/00
Abstract: 본 발명은 반도체 칩의 소형화와 대용량화 추세로 인한 회로 패턴의 미세화로 고정밀도의 노광장치가 요구됨에 따라 종래의 평면형 스테이지를 대신하여 대면적의 반도체 기판이나 디스플레이 패널의 기판상에 다양한 임의 형상의 미세 크기의 패턴을 생성하기 위하여 원통형 기판을 사용하는 경우에 있어서, 원통형 기판과 상기 원통형 기판에 결합된 제1영구자석 배열과 제1코일 배열의 조합 그리고 제2영구자석 배열과 제2코일 배열의 조합을 포함하도록 구성하여 상기 코일 배열들에 전류를 인가함에 따라 발생한 자기장이 대응하는 상기 영구자석 배열들의 자기장과의 상호작용에 의하여 발생하는 자기력을 제어하여 미세하게 상기 원통형 기판의 부상과 이송 그리고 회전을 가능하도록 하는 원통형 자기부상 스테이지를 제공한다.
또한, 상기 코일 배열에 열이 발생하는 것을 해소하기 위하여 상기 코일 배열이 조립된 고정자에 냉각핀으로 접촉하고, 상기 고정자의 내부에 형성된 냉각관로를 포함하는 냉매 순환 루프를 포함하는 원통형 자기부상 스테이지용 냉각장치를 제공한다.
원통형 기판, 자기부상, 자기부상 스테이지, 노광 장치-
公开(公告)号：KR100924656B1
公开(公告)日：2009-11-03
申请号：KR1020070117809
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 원통형 기판을 회전시키면서 발생하는 원심력으로 얇고 균일한 두께의 코팅막을 표면에 형성하는 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판; 상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대; 상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터를 제공한다.
그리고, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치된다.
원통, 기판, 모터, 회전, 원심력, 중력, 기어, 감광제-
公开(公告)号：KR1020090051429A
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：KR1020070117818
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/509 , H01J37/3211
Abstract: 본 발명은 RF 안테나를 이루는 도체와 절연 진공관 사이에 절연 공간을 두고 용량성 결합 전극을 나선형으로 구성하여 내장형 안테나를 구성하며, 용량성 결합 전극(Capacitive Coupling Electrode)의 일단이 접지되면 패러데이 쉴드(FS, Faraday shield)로 작동할 수 있는 유도성 결합 플라즈마의 내장형 RF 안테나 및 이를 장착한 플라즈마 챔버에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 접지와 연결되고 도체로 이루어진 외벽으로 구성되는 공정 챔버; 상기 공정 챔버로부터 절연되어 그 내부에 장착되는 가공물 지지대; 상기 가공물 지지대와 연결되는 전원공급부; 상기 공정 챔버의 밀봉 장치를 통해 밀봉되어 내장되는 한 개 이상의 RF 안테나; 상기 RF 안테나는 내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며;
상기 안테나 도체의 양단에 매칭 네트워크를 통해 연결되며, 접지와도 연결되는 RF 전원공급장치; 상기 용량성 결합 전극과 연결된 스위치를 통해 연결 구성되는 CCE 전원공급장치와 접지;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버를 제공한다.
안테나, 내장형, 플라즈마, 유도성 결합, 용량형 결합, 용량형 결합 전극, 증착용 재료, 패러데이 쉴드-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150017093A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：KR1020130092939
申请日：2013-08-06
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30 , G02F1/1335
CPC classification number: G02B5/3058 , B32B17/10862 , G02F2001/133548
Abstract: 본 발명은 고분자 성형, 증착 및 식각 공정으로 이루어진 연속 공정을 적용하여, 나노 패턴을 갖는 필름 형태의 와이어 그리드 편광자를 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 고분자 성형, 증착 및 식각 공정으로 이루어진 롤투롤(Roll to Roll) 연속 공정을 적용하여, 나노 패턴을 갖는 필름 형태의 와이어 그리드 편광자를 제조하는 한편, 특히 금속 재질의 나노 패턴 형성시 증착 공정과 식각 공정(또는 이온 밀링 공정)를 교대로 진행하면서 금속 패턴을 형성하는 새로운 형태의 필름형 와이어 그리드 편광자 제조방식을 구현함으로써, 연속 공정의 적용이 가능하고 균일한 나노 패턴을 형성시킬 수 있는 와이어 그리드 편광자의 제조방법을 제공한다.Abstract translation: 本发明涉及通过应用由高分子成型，蒸发和蚀刻工艺形成的连续工艺制造具有纳米图案的膜型线栅偏振器的方法。 本发明通过应用由高分子成型，蒸发和蚀刻工艺形成的辊对辊连续工艺，制造具有纳米图案的膜型线状偏振器，并形成新型薄膜型线型偏振器的制造方法 当金属材料的纳米图案特别形成时，通过执行蒸发处理和蚀刻工艺（或离子研磨处理）来轮流形成金属图案。 因此，提供了能够应用连续工艺并形成均匀的纳米图案的线束偏振片的制造方法。
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公开(公告)号：KR101172743B1
公开(公告)日：2012-08-14
申请号：KR1020090115109
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은, 새로운 비접촉식 임프린트 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 롤투롤 임프린트 공정에서 기존의 롤러에서의 분진 발생, 임프린트된 제품의 품질 저하, 롤의 신뢰성 등의 문제를 비접촉 방식인 자기베어링을 사용함으로써 해결할 수 있는 비접촉식 임프린트 장치에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명에서는 롤투롤 임프린트 장치에 있어서, 연성기판에 패턴을 형성하도록 회전운동하는 원통 금형과; 전자기력에 의해 반경방향의 운동을 제어하는 레이디얼 베어링과; 축방향의 운동을 제어하도록 상기 원통 금형의 회전축 방향으로 좌우 양단에 구비되는 한 쌍의 스러스트 베어링과; 상기 레이디얼 베어링 및 상기 스러스트 베어링의 회전자와 상기 원통 금형을 포함하는 롤과; 상기 원통 금형과 상기 연성 기판 사이에 장력을 형성하는 한 쌍의 반송 롤러를 포함하며, 상기 레이디얼 베어링 각각의 고정자는 상측의 제1고정자부와 상기 제1고정자부에 분리된 하측의 제2고정자부로 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 임프린트 장치를 제공한다.
이러한 구성을 포함하는 본 발명의 비접촉식 임프린트 장치는 기존의 롤 임프린트 공정보다 분진이 적고, 임프린트된 제품의 품질이 양호하며, 상기 롤의 신뢰성이 향상되며, 유지보수성 및 양산성이 매우 뛰어난 효과가 있다.
자기부상, 자기베어링, 비접촉식, 임프린트-
公开(公告)号：KR1020110057295A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090113633
申请日：2009-11-24
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/3065 , H01L21/302 , H01L21/02
CPC classification number: H01J37/08 , C23C14/48 , H01J37/305 , H01J37/32009
Abstract: PURPOSE: A device and method for processing various kinds of spices using plasma immersion ions are provided to efficiently polish a surface of large cylindrical processing materials by colliding ions accelerated to a sheath with rotary processing materials. CONSTITUTION: Plasma is filled in a vacuum chamber. A support(12) and a rotation device(13) are installed in a vacuum chamber. A cover(15) includes a slot(14) arranged along the surface of the processing materials. The cover is electrically connected to the processing materials. A power source(16) supplies power to the processing materials and the cover.
Abstract translation: 目的：提供使用等离子体浸渍离子处理各种香料的装置和方法，以通过与旋转处理材料碰撞加速到护套的离子来有效地抛光大圆柱形处理材料的表面。 构成：将等离子体填充在真空室中。 支撑件（12）和旋转装置（13）安装在真空室中。 盖（15）包括沿着处理材料的表面布置的槽（14）。 盖子与处理材料电连接。 电源（16）向处理材料和盖子供电。
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公开(公告)号：KR100929883B1
公开(公告)日：2009-12-04
申请号：KR1020070117535
申请日：2007-11-16
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 고진공의 진공챔버 내의 원통금형 스테이지에 장착된 원통금형 기판을 회전시키면서 전자빔(E_beam)을 조사하여 원통금형 기판에 나노급 고분해능으로 단시간 내에 많은 양의 연속 패턴을 형성할 수 있게 하고, 원통금형 스테이지(진공챔버)의 나노급 정밀도의 수평 이송과 Z축, θx, θy 능동 자세 제어를 통하여 노광기 자체의 기계적 위치 제어 오차를 최소화시킬 수 있는 노광기 및 노광 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 노광기는, 진공 챔버의 내부에 원통금형 스테이지를 장착하고, 상기 원통금형 스테이지에 결합된 원통금형을 움직이면서 상기 원통금형에 빔을 조사하여 패턴을 형성함으로써 일정 면적에 나노급 연속 패턴을 형성할 수 있다.
원통금형 기판, 전자빔(E-beam), 나노 노광기, 상대 이송, 능동 자세 제어Abstract translation: 本发明和所述圆筒形金属模具的基板照射电子束（E_beam）在旋转的同时安装在高真空的真空室纳米分辨率圆网阶段圆筒形模具基板可以形成在短时间内大量的连续图案，圆柱形 它涉及的纳米精密（真空室）和Z轴，θx，曝光系统和能够经由θY活性姿态控制最小化曝光系统本身的机械定位误差的曝光方法的水平传送的模具阶段。 根据本发明的曝光装置中，安装在圆筒模具阶段到真空室的内部，通过在圆筒形模制图案照射的波束形成图案移动联接到圆筒形金属模具台纳米连续在规定的区域中的筒状的金属模具 它可以形成。
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公开(公告)号：KR1020090051422A
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：KR1020070117809
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/162 , B05D1/005 , G03F7/707 , G03F7/70758
Abstract: 본 발명은 원통형 기판을 회전시키면서 발생하는 원심력으로 얇고 균일한 두께의 코팅막을 표면에 형성하는 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판; 상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대; 상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터를 제공한다.
그리고, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치된다.
원통, 기판, 모터, 회전, 원심력, 중력, 기어, 감광제
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