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公开(公告)号:DE69921383D1
公开(公告)日:2004-12-02
申请号:DE69921383
申请日:1999-03-22
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: GRASSMANN ANDREAS
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
Abstract: A lithographic system with improved control of critical dimensions (CD). The lithographic system includes a detector for determining the amount of energy absorbed by the photoresist. This enables the lithographic system to expose each field with the required exposure dose, thus reducing variations in CD.
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公开(公告)号:DE10022660A1
公开(公告)日:2001-11-08
申请号:DE10022660
申请日:2000-04-28
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: GRASSMANN ANDREAS , HOLZ JUERGEN
IPC: H01L31/0232
Abstract: Optical sensor comprises a substrate (1); an intermediate metal dielectric (2) and a first antireflection layer (3) arranged on the substrate; and a passivating layer (7) arranged on the dielectric. Preferred Features: A photo diode is arranged in the substrate. The dielectric is made from silicon oxide doped with arsenic, phosphorus and/or boron. The antireflection layer is arranged between the substrate and the dielectric. A second antireflection layer (6) is arranged between the dielectric and the passivating layer.
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公开(公告)号:DE102020101098B4
公开(公告)日:2022-05-12
申请号:DE102020101098
申请日:2020-01-17
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BOEHM MARCUS , SCHINDLER UWE , SINGER FRANK , GRASSMANN ANDREAS , GRUBER MARTIN
IPC: H01L23/31 , H01L23/495
Abstract: Package (100), mit:• einem Träger (102);• einer elektronischen Komponente (104) auf dem Träger (102) ;• einer Verkapselung (106), die zumindest einen Teil des Trägers (102) und der elektronischen Komponente (104) verkapselt; und• mindestens einer Leitung (108), die sich über die Verkapselung (106) hinaus erstreckt und ein freies Ende aufweist, das durch eine gestanzte Oberfläche (130) ausgebildet ist;• wobei mindestens ein Teil mindestens einer Seitenflanke (110) der Verkapselung (106) eine gesägte Textur (281) aufweist.
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公开(公告)号:DE102019130778A1
公开(公告)日:2020-06-04
申请号:DE102019130778
申请日:2019-11-14
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: KESSLER ANGELA , GRASSMANN ANDREAS
Abstract: Ein Package (100) aufweisend einen elektronischen Chip (102), welcher zumindest ein Pad (104), eine Einkapselung (106), welche zumindest teilweise den elektronischen Chip (102) einkapselt, und ein elektrisch leitfähiges Kontaktelement (108) hat, welches sich von dem zumindest einen Pad (104) und durch die Einkapselung (106) erstreckt, um in Bezug auf die Einkapselung (106) freiliegend zu sein, wobei das elektrisch leitfähige Kontaktelement (108) eine erste Kontaktstruktur (110) aus einem ersten elektrisch leitfähigen Material auf dem zumindest einen Pad (104) aufweist und eine zweite Kontaktstruktur (112) aufweist, welche aus einem zweiten elektrisch leitfähigen Material ist und in Bezug auf die Einkapselung (106) freiliegt. Zumindest eines von dem zumindest einen Pad hat zumindest einen Oberflächenabschnitt, welcher das erste elektrisch leitfähigen Material aufweist oder daraus ist.
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公开(公告)号:DE102016121801A1
公开(公告)日:2018-05-17
申请号:DE102016121801
申请日:2016-11-14
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: GRASSMANN ANDREAS , HÖGERL JÜRGEN , KESSLER ANGELA , NIKITIN IVAN
IPC: H01L23/482 , H01L23/34 , H01L25/07
Abstract: Eine Baugruppe (100) aufweisend: mindestens einen elektronischen Chip (102), einen ersten Wärmeabführungskörper (104), auf dem der mindestens eine elektronische Chip (102) mittels einer ersten Verbindung (170) befestigt ist, einen zweiten Wärmeabführungskörper (106), der auf oder über dem mindestens einen elektronischen Chip (102) mittels einer zweiten Verbindung (172) befestigt ist, und einen Verkapselungsstoff (108), der mindestens einen Teil des mindestens einen elektronischen Chips (102), einen Teil des ersten Wärmeabführungskörpers (104) und einen Teil des zweiten Wärmeabführungskörpers (106) verkapselt, wobei die erste Verbindung (170) dazu ausgelegt ist, eine andere Schmelztemperatur als die zweite Verbindung (172) aufzuweisen.
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公开(公告)号:DE102016116436A1
公开(公告)日:2017-04-06
申请号:DE102016116436
申请日:2016-09-02
Applicant: HYUNDAI MOTOR CO LTD , INFINEON TECHNOLOGIES AG , KIA MOTORS CORP
Inventor: LEE HYUN-KOO , GRASSMANN ANDREAS
IPC: H01L23/373 , B60K6/22 , B60L50/10 , H01L23/488 , H01L25/07
Abstract: Ein Hybridfahrzeug (100), welches eine Hybridleistungssteuereinheit (HPCU) aufweist, ist bereitgestellt. Die HPCU weist ein Leistungsmodul (10, 10-1), das darin angeordnete Chips (15-1, 15-2) aufweist, von welchen ein jeder im Betrieb Wärme erzeugt, und (eine) Kühleinrichtungen (20-1, 20-2) auf, welche die Wärme von dem Leistungsmodul (10, 10-1) kühlen (kühlt). Außerdem ist ein Chip-Lötverbindungsmaterial(-SIM), welche die Chips (15-1, 15-2) und das Leistungsmodul (10, 10-1) verbinden, bereitgestellt, um innere Lotschichten zu bilden. Ferner verbindet ein Kühleinrichtung-Lötverbindungsmaterial(-SIM) das Leistungsmodul (10, 10-1) und die Kühleinrichtung (20-1, 20-2), um äußere Lotschichten zu bilden. Somit können Verbesserungen hinsichtlich einer Kühlleistung und einer Kostenverringerung ohne eine Variation der angewendeten Dicke und eines Auspumpphänomens, welche verursacht werden, wenn ein TIM, das eine niedrige Wärmeleitfähigkeit hat, verwendet wird, erreicht werden.
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公开(公告)号:DE102014107743A1
公开(公告)日:2014-12-18
申请号:DE102014107743
申请日:2014-06-03
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: GEITNER OTTMAR , HABLE WOLFRAM , GRASSMANN ANDREAS , WINTER FRANK , NEUGIRG CHRISTIAN , NIKITIN IVAN
Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Leistungsmoduls, das zwei Substrate aufweist, bereitgestellt, wobei das Verfahren Folgendes beinhaltet: das Aufbringen einer Kompensationsschicht mit einer ersten Dicke über einem ersten Substrat; das Aufbringen eines zweiten Substrats über der Kompensationsschicht; und das Reduzieren der Dicke der Kompensationsschicht von der ersten Dicke auf eine zweite Dicke, nachdem das zweite Substrat auf der Kompensationsschicht aufgebracht worden ist.
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公开(公告)号:DE19946492A1
公开(公告)日:2001-07-12
申请号:DE19946492
申请日:1999-09-28
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: GRASSMANN ANDREAS
IPC: H01L21/66 , H01L21/314
Abstract: The method includes the steps of applying a layer on a substrate and structuring the layer in such way, that test structures are formed for determining the intensity of the adherence of the layer. A stream of a medium (W), such as water, under high pressure is directed on the test structures, and it is detected, to what extent the test structures are taken off the substrate through the stream or withstand the influence of the stream. A field with a number of equal test structures, or several fields of test structures with different cross-sections may be exposed to the fluid.
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公开(公告)号:DE102016121801B4
公开(公告)日:2022-03-17
申请号:DE102016121801
申请日:2016-11-14
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: GRASSMANN ANDREAS , HÖGERL JÜRGEN , KESSLER ANGELA , NIKITIN IVAN
IPC: H01L23/482 , H01L23/34 , H01L25/07
Abstract: Eine Baugruppe (100), die Folgendes aufweist:• mindestens einen elektronischen Chip (102);• einen ersten Wärmeabführungskörper (104), auf dem der mindestens eine elektronische Chip (102) mittels einer ersten Verbindung (170) befestigt ist,• einen zweiten Wärmeabführungskörper (106), der über dem mindestens einen elektronischen Chip (102) mittels einer zweiten Verbindung (172) befestigt ist,• mindestens einen elektrisch leitfähigen Abstandshalterkörper (126), zwischen dem mindestens einen elektronischen Chip (102) und dem zweiten Wärmeabführungskörper (106), welcher Abstandshalterkörper (126) mittels einer zweiten Verbindung (172) direkt mit dem elektronischen Chip (102) verbunden ist,• eine dritte Verbindung (174), die den mindestens einen Abstandshalterkörper (126) mit dem zweiten Wärmeabführungskörper (106) direkt verbindet,• wobei die erste Verbindung (170) und die dritte Verbindung (174) dazu ausgelegt sind, eine höhere Schmelztemperatur als die zweite Verbindung (172) aufzuweisen;• wobei die dritte Verbindung (174) eine aufweist aus der Gruppe, die besteht aus: einer Lötmittelstruktur und einer Sinterstruktur.
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公开(公告)号:DE102020101098A1
公开(公告)日:2021-07-22
申请号:DE102020101098
申请日:2020-01-17
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BOEHM MARCUS , SCHINDLER UWE , SINGER FRANK , GRASSMANN ANDREAS , GRUBER MARTIN
IPC: H01L23/31 , H01L23/495
Abstract: Package (100), das einen Träger (102), eine elektronische Komponente (104) auf dem Träger (102), eine Verkapselung (106), die mindestens einen Teil des Trägers (102) und der elektronischen Komponente (104) verkapselt, und mindestens eine Leitung (108) aufweist, die sich über die Verkapselung (106) hinaus erstreckt und eine gestanzte Oberfläche (130) aufweist, wobei mindestens ein Teil mindestens einer Seitenflanke (110) der Verkapselung (106) eine gesägte Textur (281) aufweist.
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