-
公开(公告)号：KR101419533B1
公开(公告)日：2014-07-14
申请号：KR1020120157977
申请日：2012-12-31
Applicant: (재)한국나노기술원 , 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/26 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/3221 , H01L21/26513 , H01L21/28512 , H01L21/28518 , H01L21/324 , H01L29/45
Abstract: 본 발명은 반도체 소자에서 접합 영역에서의 결함을 치유하기 위한 방법에 관한 것으로서, 기판 상에 p-Ge층을 성장시키고, 상기 p-Ge층 상층에 이온 임플란테이션을 통해 n+ Ge 영역을 형성하거나, p-Ge층 상층에 인시츄 도핑후 에칭하여 n+ Ge 영역을 형성하거나 또는 상기 p-Ge층 상층에 산화막을 증착시켜 패터닝 후 에칭하고 인시츄 도핑하여 n+ Ge층을 형성한 후, 캡핑용 산화막을 형성한 후 600℃~700℃에서 1시간 내지 3시간동안 열처리를 수행하여 전극을 증착시키는 공정을 포함하여 이루어지는 것으로, 열처리 공정을 통해 n+/p 졍션(junction)에서의 Ge 결함을 치유하고, 열처리를 통해 깊어진 졍션을 상대적으로 줄일 수 있어 누설 전류를 최소화하여 반도체 소자의 특성을 향상시키고, 반도체 소자의 고집적화 및 미세화 실현에 더욱 유용한 이점이 있다.
-
公开(公告)号：KR101286254B1
公开(公告)日：2013-07-15
申请号：KR1020110075575
申请日：2011-07-29
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L21/683 , H01L21/288
Abstract: 본 발명은 반도체 전기 도금용 장치에 보조적인 웨이퍼 홀더 장치를 거치하여 웨이퍼(기판)를 고정해주는 장치에 관한 것으로, 웨이퍼(기판)를 고정하고, 웨이퍼(기판) 크기에 따라 상이한 길이를 가지며, 웨이퍼(기판) 크기에 따라 교체 장착 하는 금속 전극, 웨이퍼(기판)와 결합하는 웨이퍼(기판) 거치 홈 및 웨이퍼(기판) 거치 홈과 이어져 금속 전극 폭에 대응되게 생성된 전극 거치 홈을 포함하는 홀더 기판, 전극 거치 홈에 위치하고, 금속 전극과 홀더 기판을 결합하는 전극 결합 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 웨이퍼(기판)를 고정하는 전극은 전극 팁을 더 포함하고 있는데, 전극 팁은 전극 끝 부분에 위치하며, 집게 또는 클립 형태로 이루어져 있고, 하방으로 절곡되어 웨이퍼(기판)를 압박하여 고정해준다.
또한, 금속 전극은 전극 결합 부재의 지름과 대응되는 폭을 가지고 수평 또는 수직의 길이 방향으로 장공을 포함하거나, 전극 팁이 구성되어 있는 전극 측면에 전극 팁을 수용하는 팁 수용 홈을 포함함으로써 전극의 길이를 조절하여 웨이퍼(기판)를 고정하면서 웨이퍼(기판)와 접촉한다.-
公开(公告)号：KR1020130057647A
公开(公告)日：2013-06-03
申请号：KR1020110123500
申请日：2011-11-24
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/043
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/043
Abstract: PURPOSE: A multi-junction solar cell having an electric current matching structure is provided to increase the generation of current by using cells and apertures. CONSTITUTION: A second solar cell(103) is formed on a substrate. A first solar cell(105) is formed on the second solar cell. An aperture part(201) sends sunlight to the second solar cell. The aperture part is formed in a part of the first solar cell. The aperture part penetrates from the first solar cell to the second solar cell. [Reference numerals] (AA) Sunlight
Abstract translation: 目的：提供具有电流匹配结构的多结太阳能电池，以通过使用电池和孔来增加电流的产生。 构成：在基板上形成第二太阳能电池（103）。 在第二太阳能电池上形成第一太阳能电池（105）。 孔部（201）将太阳光发送到第二太阳能电池。 开口部形成在第一太阳能电池的一部分中。 开口部分从第一太阳能电池穿透到第二太阳能电池。 （附图标记）（AA）阳光
-
公开(公告)号：KR101193810B1
公开(公告)日：2012-10-23
申请号：KR1020110096960
申请日：2011-09-26
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/047 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/047 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: A multi-junction solar cell and a manufacturing method thereof are provided to prevent the reduction of a lifetime of a carrier by bonding a substrate after grid matched materials are grown on heterogeneous substrates. CONSTITUTION: A first solar cell layer(12) is deposited or grown on a first base substrate. A second base substrate(20) is made of materials which are different from the first base substrate. A second solar cell layer(22) is deposited or grown on the second base substrate. A bonding layer(30) bonds an ohmic layer formed on the first solar cell layer or the first base layer to an ohmic layer formed on the second solar cell layer or the second base layer.
Abstract translation: 目的：提供一种多结太阳能电池及其制造方法，以防止在异质基板上生长栅格匹配材料之后通过接合基板来降低载体的寿命。 构成：第一太阳能电池层（12）沉积或生长在第一基底上。 第二基底（20）由与第一基底不同的材料制成。 在第二基底衬底上沉积或生长第二太阳能电池层（22）。 接合层（30）将形成在第一太阳能电池层或第一基极层上的欧姆层与形成在第二太阳能电池层或第二基极层上的欧姆层接合。
-
公开(公告)号：KR101105250B1
公开(公告)日：2012-01-17
申请号：KR1020100001525
申请日：2010-01-08
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/06
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본 발명은 상대적으로 결함이 적은 n형 기판을 이용하면서, 직렬 저항을 낮출 수 있는 태양전지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 태양전지는 n형 기판과, n형 기판 상에 형성되며 n형 반도체와 p형 반도체가 순차적으로 적층되어 pn 접합을 형성하는 pn 터널 다이오드와, pn 터널 다이오드 상에 형성되며 n형 반도체와 p형 반도체가 순차적으로 적층되어 광신호를 전기적 신호로 변환하는 광전 변환셀과, n형 기판의 하부에 형성되는 하부 전극과, 광전 변환셀 상에 형성되는 상부 전극을 구비한다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110081387A
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：KR1020100001528
申请日：2010-01-08
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/04 , H01L21/306
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/04 , H01L21/306
Abstract: PURPOSE: A solar cell having window layer with oxidation resistance is provided to implement a window with desired thickness by allowing a second window and a cap to have different etch selectivity to prevent the second window from being etched. CONSTITUTION: In a solar cell having window layer with oxidation resistance, a photovoltatic conversion cell(720) is formed on a substrate and converts an optical signal into an electrical signal. A first window layer(731) is formed on the photovoltatic conversion cell and is comprised of a compound semiconductor containing aluminum. A second window layer(732) is formed on the first window and is made of a fire resistance material. The cap layer is formed on the second window layer. The top electrode is formed on the bottom electrode and the cap layer. The second window layer has a different etch selectivity from the cap layer.
Abstract translation: 目的：提供具有耐氧化性的窗口层的太阳能电池，以通过允许第二窗口和盖具有不同的蚀刻选择性以防止第二窗口被蚀刻来实现具有期望厚度的窗口。 构成：在具有耐氧化窗口的太阳能电池中，在基板上形成光电转换元件（720），并将光信号转换为电信号。 第一窗口层（731）形成在光电转换单元上，并由包含铝的化合物半导体构成。 在第一窗口上形成第二窗口层（732）并由耐火材料制成。 盖层形成在第二窗口层上。 顶部电极形成在底部电极和盖层上。 第二窗口层具有与盖层不同的蚀刻选择性。
-
公开(公告)号：KR1020160144568A
公开(公告)日：2016-12-19
申请号：KR1020150080780
申请日：2015-06-08
Applicant: (재)한국나노기술원
Inventor： 전동환
IPC: G01N21/35 , G01N21/3504 , G01N21/3554 , G01N21/31 , G01N21/59
Abstract: 본발명은매질분석장치및 그방법에관한것으로, 둘이상의파장을갖는빛을발생시키는광원, 상기빛이통과하는매질, 상기매질을통과한빛 중서로다른파장을갖는빛을필터링하는둘 이상의필터, 상기필터를통과한서로다른파장을갖는빛을검출하는둘 이상의검출기, 및상기둘 이상의검출기에의해검출된결과의비율또는결과의차이에기초하여상기매질에포함된입자의농도를분석하는분석기를포함한다. 본발명에따르면, 소형화된매질분석장치를구현할수 있다.
Abstract translation: 本发明是一种介质分析装置，并涉及该方法中，光源2产生具有在介质上的波长，其中光穿过，两个或更多的过滤器，以过滤掉具有不同波长的介质通过哈恩中西部的光的光的， 基于两个或更多个检测器的分析器，并且比率或由两个或更多个检测器，用于检测具有不同波长的通过过滤器的光的检测结果的结果之间的差异分析包含在介质中的粒子的浓度 它包括。 根据本发明，可以实现小型化的介质分析装置。
-
公开(公告)号：KR101672404B1
公开(公告)日：2016-11-04
申请号：KR1020140133426
申请日：2014-10-02
Applicant: (재)한국나노기술원
Inventor： 전동환
IPC: H01L31/046 , H01L31/04
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은박막태양전지에관한것으로서, GaAs 계열의물질을사용하는광흡수층과, 상기광흡수층상측에형성되며, 알루미늄을포함하는화합물반도체로이루어진제1윈도우층과, 상기제1윈도우층과상기광흡수층사이에형성되며, 알루미늄을포함하지않는화합물반도체로이루어진제2윈도우층과, 상기광흡수층하측에형성되는 BSF층및 상기 BSF층하측에형성된기판을포함하여이루어지는것을특징으로하는계면재결합억제박막태양전지를기술적요지로한다. 이에의해본 발명은윈도우층과광흡수층사이에새로운제2윈도우층을도입하여계면재결합속도특성을개선하여전류손실을막아태양전지의효율을향상시키는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种薄膜太阳能电池。 抑制界面复合的薄膜太阳能电池包括：由GaAs基材料形成的光吸收层; 形成在由铝（Al）构成的化合物半导体的光吸收层上的第一窗口层; 插入在第一窗口层和光吸收层之间的第二窗口层，并且由不含有Al的化合物半导体形成; 形成在光吸收层下的背面场（BSF）层; 以及形成在BSF层下的基板。 因此，根据本发明，在窗口层和光吸收层之间插入新的第二窗口层，以改善界面复合速率的特性; 从而防止电流损耗，从而能够提高太阳能电池的效率。
-
公开(公告)号：KR101663638B1
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020140150213
申请日：2014-10-31
Applicant: (재)한국나노기술원 , 한국과학기술연구원 , 아주대학교산학협력단
IPC: H01L31/107 , H01L31/0304 , H01L31/0352
Abstract: 본발명은상기목적을달성하기위한것으로서, 분리된흡수층및 증폭층(separate absorption and multiplication)을갖는애벌랜치포토다이오드에있어서, 상기흡수층은전계가걸린흡수층과도핑된흡수층의조합으로변형형성되고, 상기도핑된흡수층은, 상기전계가걸린흡수층과비흡수층사이에형성되며, 상기전계가걸린흡수층의도핑농도보다상대적으로높은도핑농도를가지는도핑층으로이루어진것을특징으로하는변형된도핑흡수층을이용한애벌랜치포토다이오드를기술적요지로한다. 이에의해, 기존의흡수층에도핑층을추가하여변형된도핑흡수층을형성하여, 주파수특성을유지하면서효율은증가시키는이점이있다.
-
公开(公告)号：KR1020160053179A
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140150214
申请日：2014-10-31
Applicant: (재)한국나노기술원 , 한국과학기술연구원 , 아주대학교산학협력단
IPC: H01L31/107 , H01L31/0352 , H01L31/0304
CPC classification number: H01L31/107 , H01L31/0304 , H01L31/03044 , H01L31/03046 , H01L31/03529
Abstract: 본발명은상기목적을달성하기위한것으로서, 분리된흡수층및 증폭층(separate absorption and multiplication)을갖는애벌랜치포토다이오드에있어서, 상기흡수층은전계가걸린흡수층과도핑및 조성변화층의조합으로이루어지되, 상기도핑및 조성변화층은, 상기전계가걸린흡수층과비흡수층사이에형성되며, 상기전계가걸린흡수층의도핑농도보다상대적으로높은도핑농도를가지면서, 상기화합물반도체의조성을기판에대해 10% 오차범위내에서의격자부정합또는정합이유지되도록변형하여형성되는것을특징으로하는변형된도핑및 조성흡수층을이용한애벌랜치포토다이오드를기술적요지로한다. 이에의해, 도핑이되어있으면서조성변화가이루어진도핑및 조성변화층은소수캐리어의에너지밴드를가변함으로써전계를인가하여캐리어이동을돕게되어, 캐리어가증폭층으로도달하는속도를가속할수 있도록하여, 효율특성및 응답속도를더욱개선시키는이점이있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种使用调制掺杂和组合物吸收层的雪崩光电二极管，以通过将掺杂和组成改性层添加到吸收层来保持频率特性并提高效率。 为了实现该目的，雪崩光电二极管包括分离的吸收层和放大层。 吸收层通过组合形成电子场的吸收层与组合物改性层而形成。 掺杂和组成改性层形成在其中形成电子场的吸收层和非吸收层之间。 掺杂和组成改性层具有比形成电子场的吸收层的掺杂浓度更高的掺杂浓度。 修改化合物半导体的组成以在基板的±10％的误差范围内维持晶格不整合或一致性。 因此，通过改变小载体的能带，施加掺杂的掺杂和其中组成改变的组成改性层有助于载流子的移动，并且更好地提高了效率特性和响应速度 通过增加使载波到达修改层的速度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
63
records
(took 0.073 seconds)
