Magnetsensorsystem und Verfahren
    35.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102009050427B4

    公开(公告)日:2012-10-25

    申请号:DE102009050427

    申请日:2009-10-22

    Abstract: Sensorsystem (100, 300), das folgende Merkmale aufweist: einen ersten, magnetoresistiven Sensorwiderstand (301), der eine festgelegte Magnetschicht (202) mit einer festen Orientierung in einer Referenzmagnetisierungsrichtung (204) umfasst und derart konfiguriert ist, dass der Widerstandswert des ersten Sensorwiderstands (301) sich ansprechend auf einen Winkel ändert, der zwischen der Referenzmagnetisierungsrichtung (204) und einem Magnetfeld definiert ist; eine Mehrzahl von zweiten, magnetoresistiven Sensorwiderständen (302a, 302b, 302c, 302d), die konfiguriert sind, um ein Differenzsignal zu liefern, wobei jeder eine festgelegte Magnetschicht mit einer festen Orientierung in der Referenzmagnetisierungsrichtung (204) umfasst, wobei die feste Orientierung der festgelegten Magnetschicht aller Sensorwiderstände, die konfiguriert sind, um das Differenzsignal zu liefern, in der Referenzmagnetisierungsrichtung (204) ist, und einen drehbaren Magneten (110; 111), der ein Magnetfeld einrichtet, wobei der erste, magnetoresistive Sensorwiderstand in einem homogenen Abschnitt des Magnetfeldes positioniert ist; und die zweiten, magnetoresistiven Sensorwiderstände in einem inhomogenen Abschnitt des Magnetfeldes positioniert sind.

    XMR-Winkelsensoren
    36.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102011086488A1

    公开(公告)日:2012-05-24

    申请号:DE102011086488

    申请日:2011-11-16

    Inventor: ZIMMER JUERGEN

    Abstract: Ausführungsbeispiele beziehen sich auf xMR-Sensoren, Sensorelemente und Strukturen, und Verfahren. Bei einem Ausführungsbeispiel weist ein Sensorelement eine nicht längliche xMR-Struktur auf; und eine Mehrzahl von Kontaktregionen, die auf der xMR-Struktur gebildet sind, derart voneinander beabstandet, dass eine nicht homogene Stromrichtung und Stromdichteverteilung in der xMR-Struktur induziert wird, wenn eine Spannung zwischen der Mehrzahl von Kontaktregionen angelegt ist.

    XMR-Sensoren mit ausgeprägter Formanisotropie

    公开(公告)号:DE102011085955A1

    公开(公告)日:2012-05-16

    申请号:DE102011085955

    申请日:2011-11-08

    Abstract: Ausführungsbeispiele beziehen sich auf xMR-Sensoren, die eine sehr ausgeprägte Formanisotropie aufweisen. Ausführungsbeispiele beziehen sich außerdem auf neuartige Strukturierungsprozesse von xMR-Stapeln, um sehr ausgeprägte Formanisotropien zu erzielen, ohne das für die Leistungsfähigkeit relevante magnetfeldempfindliche Schichtsystem chemisch zu beeinflussen und dabei gleichzeitig vergleichsweise einheitliche Strukturbreiten über einen Wafer hinweg bereitzustellen, bei Ausführungsbeispielen bis auf etwa 100 nm. Ausführungsbeispiele können auch xMR-Stapel liefern, die Seitenwände des für die s aufweisen, die glatt sind und/oder eine definierte laterale Geometrie aufweisen, was wichtig ist, um ein homogenes magnetisches Verhalten über den Wafer hinweg zu erzielen.

    39.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102009038257A1

    公开(公告)日:2010-04-29

    申请号:DE102009038257

    申请日:2009-08-20

    Abstract: An integrated circuit including a first magneto-resistive sensing element, magnetic material and a spacer. The magnetic material is situated laterally to the first magneto-resistive sensing element. The spacer is situated between the first magneto-resistive sensing element and the magnetic material. The magnetic material is magnetically coupled to the first magneto-resistive sensing element.

    40.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102006062750A1

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:DE102006062750

    申请日:2006-09-15

    Inventor: ZIMMER JUERGEN

    Abstract: An apparatus for detecting a change of a physical quantity by means of a conductor structure having a processor for applying a defined supply signal to the conductor structure so as to effect a current flow through the conductor structure, the current flow being changeable by the physical quantity, and a detector for detecting a magnetic field caused by the current flow through the conductor structure by means of a magnetoresistive element allocated to the conductor structure, a change of the physical quantity being associated with a change of the detected magnetic field.

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