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公开(公告)号：CN101089617A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200610083946.4
申请日：2006-06-12
Applicant: 东捷科技股份有限公司
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/261 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2608
Abstract: 一种结合电子显微镜样品室且可供观测的液/气环境，主要结合了电子显微镜内的样品室以及二极块，该环境包含有：至少二缓冲室，由复数隔板配合该二极块形成，而分别位于该样品室的上方及下方，各该缓冲室具有一内孔以及一外孔，该等内孔与该等外孔同轴且交接于电子显微镜的电子束通过的路径，各该缓冲室连接一抽气源抽气；以及一气体源连接于该样品室，该二内孔的距离小于该二极块间的距离，且设有该等内孔的该等隔板的可能位置是在该样品室内或该电子束流道内。以此可于电子显微镜内部设置气/液环境且可供进行清晰的观测。
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公开(公告)号：CN106409640B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201610610133.X
申请日：2016-07-29
CPC classification number: H01J37/20 , B01L3/502723 , B01L2200/0605 , B01L2300/0654 , B01L2300/0887 , B01L2300/123 , B01L2400/0406 , B01L2400/0694 , G01N1/04 , G01N21/03 , G01N21/11 , G01N2021/0346 , G01N2021/6482 , G01N2223/307 , H01J37/26 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2005 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明涉及用于检查样本材料的微腔，当填充微腔时样本材料浸入在液体中，微腔包含：用于盛装样本材料的检查体积（101），检查体积由以下限定：第一刚性层（102A+102B），与第一刚性层间隔开的第二刚性层（103A+103B），以及在第一和第二刚性层之间的气密密封（104），其特征在于，在用带有浸入的样本材料的液体填充检查腔之前：刚性层中至少一个的薄部（105）将检查体积与外面隔离；薄部配备来被刺破；以及检查体积是真空体积，其结果是，带有浸入的样本材料的液体，当被放置到薄部上时，在薄部被刺破时被吸入到检查体积中。这产生可填充样本材料却不需要对其应用真空管的微腔。
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公开(公告)号：CN105493225B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201480046171.6
申请日：2014-05-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/22 , G01N23/2204 , H01J37/18 , H01J37/285 , H01J2237/006 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806 , H01M8/04671
Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。
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公开(公告)号：CN105103262B
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201480019441.4
申请日：2014-03-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/026 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。
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公开(公告)号：CN107192730A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201610390032.6
申请日：2016-06-03
Applicant: 台湾电镜仪器股份有限公司
IPC: G01N23/225
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/162 , H01J2237/166 , H01J2237/188 , H01J2237/2001 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/202 , G01N23/225
Abstract: 一种电子显微镜，包含：带电粒子束产生器、检测器、薄膜以及承载单元。带电粒子束产生器是用以产生第一带电粒子束以轰击待测物。检测器是用以检测来自待测物的第二带电粒子以形成影像。薄膜是设置于带电粒子束产生器的下游侧，且具有第一表面以及第二表面，其中带电粒子束产生器及薄膜的第一表面之间为真空环境。承载单元是设置于薄膜的第二表面侧，且具有承载表面以及背面，其中待测物设置于承载单元的承载表面，使待测物的待测表面与薄膜的距离小于预定间距，且待测表面与薄膜之间具有液体空间，以充填液体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105612597B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201480052535.1
申请日：2014-09-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/32862 , H01J2237/184 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003
Abstract: 本发明的目的在于：提供不从带电粒子束装置(1)取出样本，就能够形成各种环境以及进行现场观察和分析的带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置。在本发明中，从与样本保持单元(6)相对的一侧插入具备使安装在样本保持单元的样本(10)的状态变化的功能的可装卸的逆侧入口部(17)，由此通过具有不同功能的逆侧入口部和样本保持单元的组合，能够不从带电粒子束装置取出样本地观察/分析不同过程中的样本的变化。逆侧入口部由2部分构成，前端的一部分能够卸下，在安装到样本保持单元后，能够在维持气氛的状态下直接输送，能够使样本不暴露到大气中地在不同的装置之间输送。
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公开(公告)号：CN104685603B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201380039786.1
申请日：2013-06-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/006 , H01J2237/063 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2007 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。
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公开(公告)号：CN104756223B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201380055784.1
申请日：2013-10-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20235 , H01J2237/28
Abstract: 本发明的试样收纳容器具备：将试样(6)收纳在与外部的环境状态不同的环境状态下的收纳容器(100)；带电粒子线能通过或透过的隔膜(10)；试样载物台(103)，其设于收纳容器(100)的内部，能在将收纳容器(100)的内外环境状态保持为不同的环境状态的状态下，使试样(6)相对于隔膜(10)的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部(104)，其从收纳容器(100)的外部操作试样载物台(103)的移动，以收纳试样(6)的状态设于带电粒子线装置的真空房间内。
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公开(公告)号：CN104798173A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060092.6
申请日：2013-11-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/224 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
Abstract: 带电粒子线装置具备产生一次带电粒子线的带电粒子光学镜筒(2)、内部通过真空泵(4)真空排气的机箱(7)、构成机箱(7)的一部分并能够维持其内部空间的气密状态的第一隔膜(10)、配置于第一隔膜(10)与试样(6)之间的第二隔膜(50)，使在带电粒子光学镜筒(2)中产生的一次带电粒子线透过或通过第一隔膜(10)以及第二隔膜(50)，并照射到与第二隔膜(50)接触的状态的试样(6)上。
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公开(公告)号：CN104685603A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380039786.1
申请日：2013-06-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/006 , H01J2237/063 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2007 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。
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