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公开(公告)号：KR100931846B1
公开(公告)日：2009-12-15
申请号：KR1020070117818
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 RF 안테나를 이루는 도체와 절연 진공관 사이에 절연 공간을 두고 용량성 결합 전극을 나선형으로 구성하여 내장형 안테나를 구성하며, 용량성 결합 전극(Capacitive Coupling Electrode)의 일단이 접지되면 패러데이 쉴드(FS, Faraday shield)로 작동할 수 있는 유도성 결합 플라즈마의 내장형 RF 안테나 및 이를 장착한 플라즈마 챔버에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 접지와 연결되고 도체로 이루어진 외벽으로 구성되는 공정 챔버; 상기 공정 챔버로부터 절연되어 그 내부에 장착되는 가공물 지지대; 상기 가공물 지지대와 연결되는 전원공급부; 상기 공정 챔버의 밀봉 장치를 통해 밀봉되어 내장되는 한 개 이상의 RF 안테나; 상기 RF 안테나는 내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며;
상기 안테나 도체의 양단에 매칭 네트워크를 통해 연결되며, 접지와도 연결되는 RF 전원공급장치; 상기 용량성 결합 전극과 연결된 스위치를 통해 연결 구성되는 CCE 전원공급장치와 접지;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버를 제공한다.
안테나, 내장형, 플라즈마, 유도성 결합, 용량형 결합, 용량형 결합 전극, 증착용 재료, 패러데이 쉴드Abstract translation: 电容耦合电极螺旋形成在形成RF天线的导体与绝缘真空管之间的绝缘空间中以形成内部天线。当电容耦合电极的一端接地时，法拉第屏蔽（FS ，法拉第屏蔽罩）以及配备RF天线的等离子体室。
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公开(公告)号：KR1020090050871A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：KR1020070117535
申请日：2007-11-16
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F1/78 , G03F7/0005 , G03F7/201 , G03F7/2059 , G03F7/70716
Abstract: 본 발명은 고진공의 진공챔버 내의 원통금형 스테이지에 장착된 원통금형 기판을 회전시키면서 전자빔(E_beam)을 조사하여 원통금형 기판에 나노급 고분해능으로 단시간 내에 많은 양의 연속 패턴을 형성할 수 있게 하고, 원통금형 스테이지(진공챔버)의 나노급 정밀도의 수평 이송과 Z축, θx, θy 능동 자세 제어를 통하여 노광기 자체의 기계적 위치 제어 오차를 최소화시킬 수 있는 노광기 및 노광 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 노광기는, 진공 챔버의 내부에 원통금형 스테이지를 장착하고, 상기 원통금형 스테이지에 결합된 원통금형을 움직이면서 상기 원통금형에 빔을 조사하여 패턴을 형성함으로써 일정 면적에 나노급 연속 패턴을 형성할 수 있다.
원통금형 기판, 전자빔(E-beam), 나노 노광기, 상대 이송, 능동 자세 제어-
公开(公告)号：KR1020170033530A
公开(公告)日：2017-03-27
申请号：KR1020150131355
申请日：2015-09-17
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본체; 상기본체에양 단이단차를갖게결합되는경사회전축; 상기경사회전축에회전력을제공하는모터부; 상기본체의내부또는외부에서공급되는액상도포제를분사하는노즐유닛;를포함하는코팅장치를제공한다.
Abstract translation: 身体; 倾斜的旋转轴，连接到主体以在两端处具有台阶; 马达单元，用于向倾斜旋转轴提供旋转力; 以及用于喷射从主体的内部或外部供应的液体涂布剂的喷嘴单元。
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公开(公告)号：KR101641144B1
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：KR1020140109455
申请日：2014-08-22
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
Abstract: 본발명은터치패널용투명전극제조방법에관한것으로, 보다상세하게는터치패널의감지전극및 배선전극의제조공정을단순화시킨터치패널용투명전극제조방법에관한것이다. 특히, 본발명에서는상대적으로작은선폭의감지전극과큰 선폭을갖는배선전극을 1회적공정에의하여간단하게제작할수 있는터치패널용투명전극제조방법을제공하고자한다. 이를위해본 발명에서는위상마스크를이용하여, 위상마스크의돌출된패턴부분과함몰된패턴부분이만나는경계부에대한패터닝을수행하되, 위상마스크상부에광투과조절층을위치시켜투과도조절을통해선폭을조절하도록구성된다.
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公开(公告)号：KR1020140074463A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：KR1020120142434
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/3058 , C08J5/18 , G02B1/04 , G02B1/12 , G02F1/133536 , G02F2001/133548
Abstract: The present invention relates to a wire grid polarizer, and a device and a method for manufacturing the same. More specifically, the wire grid polarizer is manufactured in a structure of simple and high production efficiency by using a mold having nanopatterns and the electrocast plating process. The method for manufacturing a wire grid polarizer includes the steps of: forming resin patterns on the metal layer surface of a substrate with a flat mold or a cylindrical mold on which nanopatters are processed, and a polymer material which is cured by ultraviolet rays or heat; forming plating patterns between the resin patterns by using the electrocast plating process; and adhering and transferring the resin patterns and the plating patterns to a transparent adhesive of a flexible substrate, thereby manufacturing a wire grid polarizer by consecutive processes and remarkably reducing the manufacturing time and production costs.
Abstract translation: 线栅偏振器及其制造方法技术领域本发明涉及线栅型偏振器及其制造方法。 更具体地，线栅偏振器通过使用具有纳米图案的模具和电子电镀工艺以简单且高生产效率的结构制造。 线栅型偏振器的制造方法包括以下步骤：在平坦的模具或圆柱形模具上在基板的金属层表面上形成树脂图案，在该模具上加工纳米颗粒，以及通过紫外线或热固化的聚合物材料 ; 通过电镀方法在树脂图案之间形成电镀图案; 并将树脂图案和电镀图案粘合并转印到柔性基板的透明粘合剂上，从而通过连续的工艺制造线栅偏振器，并且显着地减少制造时间和生产成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101385976B1
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：KR1020120095459
申请日：2012-08-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법에 관한 것으로서, 노광 공정 없이 저렴한 공정 비용으로 나노-마이크로 복합 패턴 형성용 몰드를 제조할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 제품 표면에 나노 패턴과 마이크로 패턴을 형성하는데 이용되는 몰드의 제조 방법에 있어서, 마이크로 패턴을 갖는 몰드용 기판을 제조하는 과정; 나노 패턴을 갖는 나노 패턴 기판을 제조하는 과정; 상기 나노 패턴 기판의 나노 패턴 위에 수지를 도포한 뒤 경화시켜 나노 패턴 몰드 층을 형성하고, 상기 나노 패턴 몰드 층 위에 접착층을 적층하는 과정; 상기 나노 패턴 기판의 나노 패턴 몰드 층을 상기 접착층을 이용하여 몰드용 기판의 마이크로 패턴 위에 부착하는 과정; 및 상기 나노 패턴 기판을 나노 패턴 몰드 층으로부터 분리하여 제거함으로써 몰드용 기판 위의 마이크로 패턴 영역에 나노 패턴 몰드 층의 나노 패턴이 복합적으로 존재하는 몰드를 완성하는 과정;을 포함하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR101146915B1
公开(公告)日：2012-05-22
申请号：KR1020090115095
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/677 , H01L21/20 , B65G49/06 , C23C14/00
Abstract: PURPOSE: A horizontal contactless deposition apparatus is provided to be easily loaded on a base by a roller of a load lock chamber, thereby increasing the efficiency of a deposition process. CONSTITUTION: A deposition chamber(8) performs a deposition process. A conveyor(9) conveys a substrate in the deposition chamber. A base(10) is formed on the bottom of the deposition chamber. A first support unit is made of a permanent magnet(60) and a magnetic plate(50). A second support unit is formed between the base and the conveyor.
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公开(公告)号：KR101117199B1
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020090124537
申请日：2009-12-15
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70716 , G03F7/24 , G03F7/703 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , G03F7/70825 , G03F7/70841 , H01L21/68
Abstract: 본발명은자기부상원리로원통을부상하여비접촉으로회전및 축방향으로이송시키면서원통표면에직접나노미터크기의패턴을새길수 있는새로운형태의스테이지와원통표면에빛을조사하는광원을구현함으로써, 나노미터크기의오차로위치를능동제어할수 있는등 기계가공에의한오차및 외란을실시간적으로보정할수 있고, 결국대형크기의원통표면에나노미터크기의패턴을효율적으로가공할수 있는한편, 스테이지와조합되어광원과원통표면사이를부분적으로진공환경이유지되도록하는차동진공수단을구현함으로써, X선이나전자빔, 그리고극자외선(EUV)과같은광원을적용할수 있는원통형자기부상스테이지및 노광장치를제공한다.
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公开(公告)号：KR101087584B1
公开(公告)日：2011-11-29
申请号：KR1020090123745
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H02K21/12 , G03F7/18 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18
Abstract: PURPOSE: A coating apparatus for a cylindrical substrate using magnetic levitation is provided to perform thin coating with high accuracy over the area of the cylindrical structure by rotating a substrate fixing unit in contactless through magnetic levitation. CONSTITUTION: A base unit(20) comprises a coil assembly. The base unit supports a substrate fixing unit from a lower part without contacting it and is rotatable. A magnetic levitating type substrate fixing unit comprises a magnetism assembly(12) which is arranged on the coil assembly. A cylindrical substrate(1) is mounted in the magnetic levitating type substrate fixture A nozzle unit(30) ejects a coating solution through a nozzle on the surface of the cylindrical substrate which is magnetically levitated and rotated.
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公开(公告)号：KR1020110058357A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090115109
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: PURPOSE: A contactless imprinting apparatus is provided to reduce a failure rate by preventing dust resulting from the friction of bearings. CONSTITUTION: A contactless imprinting apparatus(1) comprises a cylindrical mold, a pair of radial bearings(30), a pair of thrust bearings(40), and a pair of feed rollers(13). The cylindrical mold rotates in order to form a pattern on a flexible substrate. The radial bearings control a radial motion with an electromechanical force. The thrust bearings are provided on the right and left sides in the direction of the rotary axis of the cylindrical mold. The feed rollers form tension between the cylindrical mold and the flexible substrate. Each stator of the radial bearings comprises an upper first stator part(31) and a lower second stator part(32) separated from the first stator part.
Abstract translation: 目的：提供一种非接触式压印装置，通过防止轴承摩擦产生的灰尘来降低故障率。 构成：非接触式压印装置（1）包括圆柱形模具，一对径向轴承（30），一对推力轴承（40）和一对进给辊（13）。 圆柱形模具旋转以在柔性基底上形成图案。 径向轴承通过机电力控制径向运动。 推力轴承沿圆柱形模具的旋转轴线的方向在左右两侧设置。 进料辊在圆柱形模具和柔性基材之间形成张力。 径向轴承的每个定子包括与第一定子部分分离的上部第一定子部分（31）和下部第二定子部分（32）。
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