公开(公告)号：CN104520963B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380041036.8

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/10 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/16 ,  H01J37/222 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明提供一种扫描式电子显微镜。在具备电子束柱的扫描式电子显微镜中，由可拆装的部件构成电子束柱的物镜的前端，能够装配不同的材质的物镜的前端。

公开(公告)号：CN105702597A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201610082232.5

申请日：2016-02-05

Applicant: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

Inventor： 马卫民 ,  孙伟强

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01J37/265 ,  G03F1/86 ,  G03F7/7065 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/12 ,  H01L22/10

Abstract: 本发明公开一种检测系统。根据本发明一方面，检测系统包括多工作台或多腔体，其中腔体或工作台(N≥2)被布置成形成一个或多个路线用于晶片或掩模的检测。每个腔体中(或在每个工作台)的检测流程通过其在路线中的次级和所用的相对镜筒确定。对于具有N个腔体或工作台的系统，可以同时处理最大数量N个晶片或掩模。

公开(公告)号：CN104024838B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201280064315.1

申请日：2012-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岭川阳平 ,  高木裕治 ,  原田实 ,  平井大博 ,  中垣亮

IPC: G01N23/225 ,  G01N21/956

CPC classification number: G06F3/04842 ,  G02B21/365 ,  G06F9/451 ,  G06T7/0004 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明提供一种GUI、分类装置、分类方法、程序以及存储分类程序的存储介质。GUI具备：未赋予方框区域，其将作为类别信息未被赋予的图像的集合的文件夹分层显示；图像方框区域，其显示上述未赋予方框区域中显示的类别信息未被赋予的图像；和类别方框区域，其显示类别信息被赋予的图像；如果对于该类别信息未被赋予的图像从外部输入类别信息，则显示该输入的类别信息。

公开(公告)号：CN105359250A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480033874.5

申请日：2014-04-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 重藤训志 ,  佐藤贡 ,  斋藤勉 ,  细谷幸太郎 ,  高鉾良浩 ,  安藤彻

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J37/09 ,  H01J37/28

Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。

公开(公告)号：CN102760630B

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201210135364.1

申请日：2007-02-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 宫本敦 ,  长友涉 ,  松冈良一 ,  诸熊秀俊

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

CPC classification number: G01N23/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。

公开(公告)号：CN104838466A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201380061917.6

申请日：2013-11-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山下贡 ,  安藤彻 ,  小西弥生 ,  玉山尚太朗 ,  牛尾奈绪子 ,  高野昌树

IPC: H01J37/24 ,  G06F3/048 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/265 ,  G06F3/048 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。

公开(公告)号：CN104733271A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201410785676.6

申请日：2014-12-18

Applicant: FEI公司

Inventor： B.J.詹斯森 ,  I.拉兹 ,  G.范杜恩恩 ,  U.鲁伊肯 ,  R.D.萨瓦格 ,  S.H.L.范登布姆

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2806

Abstract: 本发明公开了调查带电粒子射束的波阵面的方法。调查从源通过发光器被引导以便穿过样本平面并且降落到检测器上的带电粒子射束的波阵面的方法，检测器的输出与数学重建技术结合使用以便在沿着到检测器的波阵面路径的预先定义的位置处针对波阵面计算相位信息和振幅信息中的至少一个，在该方法中：-使所述射束穿过设置在所述样本平面和所述检测器之间的粒子光学透镜系统；-在从所述源到所述检测器的路径中的所选择位置处，调制器用于局部地产生波阵面的给定调制；-在一系列测量阶段中，采用不同的此类调制，并且在所述数学重建中共同地使用相关联的检测器输出。

公开(公告)号：CN104520963A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041036.8

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/10 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/16 ,  H01J37/222 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明提供在具备两个以上的带电粒子线柱的复合带电粒子线装置中能够以将试样放置于交叉点的位置的状态进行高分辨率观察的复合带电粒子线装置。本发明具有以下构成，具备多个带电粒子线柱(101a、102a)的复合带电粒子线装置，其特征在于，在上述多个柱的光轴交叉的交点(171)的位置配置试样(103)，形成上述带电粒子线柱(102a)的物镜的前端的部件(408a、408b)能够拆装，通过更换上述部件(408a、408b)，能够改变上述交点(171)与上述带电粒子线柱前端的距离。

公开(公告)号：CN104024838A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280064315.1

申请日：2012-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岭川阳平 ,  高木裕治 ,  原田实 ,  平井大博 ,  中垣亮

IPC: G01N23/225 ,  G01N21/956

CPC classification number: G06F3/04842 ,  G02B21/365 ,  G06F9/451 ,  G06T7/0004 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明提供一种GUI、分类装置、分类方法、程序以及存储分类程序的存储介质。GUI具备：未赋予方框区域，其将作为类别信息未被赋予的图像的集合的文件夹分层显示；图像方框区域，其显示上述未赋予方框区域中显示的类别信息未被赋予的图像；和类别方框区域，其显示类别信息被赋予的图像；如果对于该类别信息未被赋予的图像从外部输入类别信息，则显示该输入的类别信息。

公开(公告)号：CN103839743A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201310610534.1

申请日：2013-11-27

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  M.P.M.比尔霍夫 ,  T.维斯塔维 ,  L.德赖卡克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/22 ,  G01N23/223

CPC classification number: H04N7/18 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28

Abstract: 采样样本和在显示器上显示获得的信息的方法包括：用N个重叠子帧的系列在样本上方扫描例如电子的射束，每个子帧的扫描位置不与其它子帧的扫描位置重叠；使用检测器检测响应于由射束对样本的照射而从样本发出的信号；以及在显示器上显示子帧，使得在N个扫描的系列之后，每个像素显示从来自扫描位置的信号得出的信息；特征在于其中在对第一子帧的扫描之后每个像素显示从第一子帧的扫描位置得出的信息；以及其中在对第二子帧的扫描之后每个像素显示在对第一子帧、第二子帧或这两个子帧的扫描期间得出的信息。这导致在样本上方示出更均匀电荷分布的扫描方法，导致例如更少的充电效应，同时即使在扫描第一子帧之后也供给良好可解析图像。