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    電子銃構体用抵抗器及び陰極線管
    62.
    发明申请
    電子銃構体用抵抗器及び陰極線管 审中-公开
    电子枪结构和阴极射线管电阻

    公开(公告)号：WO2004019366A1

    公开(公告)日：2004-03-04

    申请号：PCT/JP2003/010530

    申请日：2003-08-20

    Applicant: 株式会社 東芝 ,  神長 善久 ,  宮本 紀幸

    Inventor： 神長 善久 ,  宮本 紀幸

    IPC: H01J29/48

    CPC classification number: H01J29/485 ,  H01C3/12 ,  H01J3/027 ,  H01J2229/968

    Abstract: 電子銃構体に備えられた電極に所定の抵抗分割比で分圧した電圧を印加するための電子銃構体用抵抗器（４）は、絶縁性基板（５２）と、絶縁性基板上に設けられた複数の電極素子（５３）と、電極素子間を接続するとともに所定の抵抗値を得るためのパターンを有する抵抗素子（５４）と、抵抗素子を被覆する絶縁被覆層（５５）と、各電極素子にそれぞれ対応して接続された複数の金属端子（５６）と、を備えている。各金属端子は、電極素子を露出することなしに配置されている。絶縁被覆層は、電極素子に接触することなしに金属端子の周縁を被覆している。

    Abstract translation: 一种电子枪结构中的电阻器（4），用于将以规定的电阻分割比划分的电压施加到设置在电子枪结构中的电极，包括绝缘基板（52），布置在绝缘基板上的多个电极元件（53） 用于互连电极元件的电阻元件（54），具有用于获得指定电阻的图案的电阻元件（54），覆盖电阻元件的绝缘涂层（55）和分别与各个电极元件连接的多个金属端子（56）。 每个金属端子被布置成不暴露电极元件。 绝缘涂层覆盖金属端子的圆周边缘，而不会接触电极元件。

    CATHODE ARRANGEMENT, ELECTRON GUN, AND LITHOGRAPHY SYSTEM COMPRISING SUCH ELECTRON GUN
    63.
    发明申请
    CATHODE ARRANGEMENT, ELECTRON GUN, AND LITHOGRAPHY SYSTEM COMPRISING SUCH ELECTRON GUN 审中-公开
    包括这种电子枪的阴极布置，电子枪和光刻系统

    公开(公告)号：WO2015101537A1

    公开(公告)日：2015-07-09

    申请号：PCT/EP2014078993

    申请日：2014-12-22

    Applicant: MAPPER LITHOGRAPHY IP BV

    Inventor： DINU-GÜRTLER LAURA ,  HOGERVORST ERIC PETRUS

    IPC: H01J3/02 ,  H01J1/28 ,  H01J1/46 ,  H01J37/063 ,  H01J37/07 ,  H01J37/075

    CPC classification number: H01J37/3174 ,  G03F7/70058 ,  H01J1/15 ,  H01J1/28 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J37/075 ,  H01J37/3177 ,  H01J2229/481 ,  H01J2237/061

    Abstract: The invention relates to a cathode arrangement (20) comprising: a cathode body housing an emission surface (32) for emitting electrons in a longitudinal direction (Z), wherein the emission surface is bounded by an emission perimeter (35); a focusing electrode (40) at least partially enclosing the cathode body in a transversal direction and comprising an electron transmission aperture (44) for focusing the electrons emitted by the emission surface, wherein the aperture is bounded by an aperture perimeter (45), wherein the cathode body is moveably arranged within the focusing electrode over a maximum transversal distance (d1) from an aligned position (R0), and wherein the aperture perimeter transversally extends over the emission surface and beyond the emission perimeter over an overlap distance (d2) that exceeds the maximum transversal distance.

    Abstract translation: 本发明涉及一种阴极布置（20），包括：阴极主体，该阴极主体容纳用于沿纵向方向（Z）发射电子的发射表面（32），其中发射表面由发射周界（35）界定; 聚焦电极（40），所述聚焦电极（40）在横向方向上至少部分地包围所述阴极体并且包括用于聚焦由所述发射表面发射的所述电子的电子传输孔（44），其中所述孔由孔周边（45） 所述阴极体在与所述对准位置（R 0）相距最大横向距离（d 1）的范围内可移动地布置在所述聚焦电极内，并且其中所述孔周边横跨所述发射表面并且在重叠距离（d 2）之上横跨所述发射周界横向延伸， 超过最大横向距离。

    電極ユニット、及び荷電粒子線装置
    68.
    发明申请
    電極ユニット、及び荷電粒子線装置 审中-公开
    电极单元和充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：WO2009139461A1

    公开(公告)日：2009-11-19

    申请号：PCT/JP2009/059048

    申请日：2009-05-15

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  荒井 紀明 ,  数見 秀之

    Inventor： 荒井　紀明 ,  数見　秀之

    IPC: H01J37/20

    CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J3/027 ,  H01J37/04 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/0048 ,  H01J2237/30 ,  H01J2237/31749

    Abstract: 　試料の全体の帯電（グローバル帯電）と１次荷電粒子線を照射する局所領域の帯電（ローカル帯電）両方を除去し、高分解能な試料画像を取得する。 本発明による電極ユニット（５０）は荷電粒子線装置に用いられるものであり、対物レンズと絶縁物試料の間に試料に対向して配置される平板電極を備える電極ユニット（５０）であって、試料上のローカル帯電を除去するための第１の荷電粒子線を発する第１の帯電中和用荷電粒子線源と、試料上のグローバル帯電を除去するための第２の荷電粒子線を発する第２の帯電中和用荷電粒子線源（２５）と、を備える。また、平板電極には、一次荷電粒子線が通過する第１の孔（５３）と、第２の荷電粒子線が出射するための第２の孔とが設けられ、第１及び第２の帯電中和用荷電粒子線源は、互いに干渉しないような位置に配置される。そして、第１の帯電中和用荷電粒子線源から発せられた荷電粒子線は、第１の孔（５３）付近に導入される。

    Abstract translation: 通过去除用一次带电粒子束（局部电荷）照射的局部区域上的整个样品上的电荷（全局电荷）和电荷，获得高分辨率采样图像。 在带电粒子束装置中使用电极单元（50），并且在面向样品的同时设置有设置在物镜和绝缘体样品之间的平板电极。 电极单元（50）设置有第一电荷中和带电粒子束源，其产生用于去除样品上的局部电荷的第一带电粒子束和产生第二带电粒子束的第二电荷中和带电粒子束源（25） 用于删除样品上的全局电荷。 在平板电极中，设置有一次带电粒子束通过的第一孔53和发射第二带电粒子束的第二孔。 第一和第二电荷中和带电粒子束源设置在不彼此干扰的位置。 从第一电荷中和带电粒子束源产生的带电粒子束在第一孔（53）附近引入。

    冷陰極電子源及びそれを用いた電子管
    69.
    发明申请
    冷陰極電子源及びそれを用いた電子管 审中-公开
    冷阴极电子源和使用其的电子管

    公开(公告)号：WO2005117054A1

    公开(公告)日：2005-12-08

    申请号：PCT/JP2005/009352

    申请日：2005-05-23

    Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  岡田 知幸 ,  松村 達也 ,  山本 徹

    Inventor： 岡田 知幸 ,  松村 達也 ,  山本 徹

    IPC: H01J1/304

    CPC classification number: H01J35/065 ,  H01J1/30 ,  H01J3/027 ,  H01J2235/087

    Abstract: A cold cathode electron source (2) comprises a central conductor (3) having an end face (9) and an electron emission layer (10) formed on the end face (9) and made of an electron emission material, and an external conductor (4) having a hollow portion (12) capable of inserting the central conductor (3) in a direction normal to the end face (9), and an aperture (14) opened to the hollow portion (12). The central conductor (3) is fitted in the external conductor (4) and abuts against the external conductor (4) in the fitted direction, whereby the central conductor (3) is positioned with respect to the external conductor (4) in the direction normal to the end face (9) and exposes the surface of the electron emission layer (10) from the aperture (14). Stable fabrications of electron sources of identical characteristics having an adjusted electron emission can be easily realized according to the cold cathode electron source.

    Abstract translation: 冷阴极电子源（2）包括具有端面（9）和形成在端面（9）上并由电子发射材料制成的电子发射层（10）的中心导体（3）和外部导体 （4）具有能够沿垂直于端面（9）的方向插入中心导体（3）的中空部分（12）和向中空部分（12）开口的孔（14）。 中心导体（3）装配在外部导体（4）中，并沿着装配方向抵靠外部导体（4），由此中心导体（3）相对于外部导体（4）沿方向 垂直于端面（9）并且从孔（14）暴露电子发射层（10）的表面。 根据冷阴极电子源，可以容易地实现具有调整的电子发射的具有相同特性的电子源的稳定制造。

    전자빔 발생 장치 및 이를 포함하는 Ｘ-ｒａｙ 발생 장치
    70.
    发明公开
    전자빔 발생 장치 및 이를 포함하는 Ｘ-ｒａｙ 발생 장치 无效
    ELECRON光束发生器的装置和X射线发生器的装置

    公开(公告)号：KR1020120114585A

    公开(公告)日：2012-10-17

    申请号：KR1020110032191

    申请日：2011-04-07

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 김일환 ,  김용철 ,  허정나 ,  배준원 ,  박성훈

    IPC: H01J1/30 ,  H01J29/48 ,  H01J35/02

    CPC classification number: H01J35/045 ,  H01J3/021 ,  H01J3/027 ,  H01J35/065 ,  H01J2235/062 ,  H01J1/30 ,  H01J29/48 ,  H01J35/02

    Abstract: PURPOSE: An electron beam generating apparatus and an x-ray generator including the same are provided to steadily arrange components by individually separating the components or coupling the components using a coupling part. CONSTITUTION: A first insulation layer(21), a gate, a second insulation layer, and a focusing gate are successively formed on a cathode electrode(20). The cathode electrode, the first insulation layer, the gate, the second insulation layer, and the focusing gate are separable. A coupling part couples and fixes the cathode electrode, the first insulation layer, the gate, the second insulation layer, and the focusing gate. A lateral supporting part(25) is fixed to the cathode electrode. An upper side supporting part(26) is connected to the lateral supporting part and is formed on the focusing gate.

    Abstract translation: 目的：提供一种电子束产生装置和包括该电子束发生装置的x射线发生器，以通过单独地分离部件或使用联接部件来耦合部件来稳定地布置部件。 构成：在阴极（20）上依次形成第一绝缘层（21），栅极，第二绝缘层和聚光栅。 阴极电极，第一绝缘层，栅极，第二绝缘层和聚焦栅极是可分离的。 耦合部分耦合并固定阴极电极，第一绝缘层，栅极，第二绝缘层和聚焦栅极。 横向支撑部分（25）固定到阴极电极。 上侧支撑部分（26）连接到横向支撑部分并形成在聚焦门上。

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