公开(公告)号：CN103512567A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310255880.2

申请日：2013-06-25

Applicant: FEI公司

Inventor： C.巴格 ,  G.克拉克 ,  T.汉森 ,  S.E.富勒 ,  J.唐纳德

IPC: G01C15/02

CPC classification number: H01J37/30 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/2811 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  Y10T428/24488 ,  Y10T428/24802

Abstract: 一种用于在样品上形成基准并且使用该基准来定位该样品上的所感兴趣的区域的方法和系统，该方法包括通过以下步骤来形成一个基准：在样品上接近于该样品上的所感兴趣的区域处来沉积一种材料块，该材料块从该样品的表面延伸至该样品表面上方的可检测范围；并且使用一个带电粒子束在该材料块的至少两个暴露面中铣削一个预定图案；在形成该基准之后，通过检测该基准的位置来检测该所感兴趣的区域的位置；并且在检测到该所感兴趣的区域的位置之后，用一个带电粒子束来对该所感兴趣的区域进行成像或铣削。

公开(公告)号：CN103487928A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201310224826.1

申请日：2013-06-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 江口辉 ,  桧垣欣成

IPC: G02B21/36 ,  G02B21/06 ,  G06T7/00

CPC classification number: G06T7/0012 ,  G02B21/14 ,  G02B21/22 ,  G02B21/24 ,  G02B21/241 ,  G02B21/244 ,  G02B21/34 ,  G02B21/365 ,  G02B27/32 ,  H01J37/28 ,  H04N7/18

Abstract: 公开了散焦量估计方法、成像装置和透明部件。一种用于成像装置的散焦量估计方法，成像装置使用图像传感器捕获由成像光学系统形成的试样的图像，散焦量估计方法包括：使用包括标记的透明部件来固定试样以取得包含试样的图像和标记的图像的捕获图像的捕获图像评估步骤，其中标记将相位变化和振幅变化中的至少一个施加到透射光；以及基于捕获图像对散焦量进行估计的估计步骤。

公开(公告)号：CN103477415A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201280017689.8

申请日：2012-03-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博 ,  大泷智久

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2608

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。

公开(公告)号：CN103454295A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310205662.8

申请日：2013-05-29

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 朴英吉 ,  白原奉 ,  吴基元

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2605

Abstract: 一种使用扫描电子显微镜的检查系统包括：扫描电子显微镜室，该扫描电子显微镜室通过使用电子束检查待检查物体并维持真空条件；位于所述扫描电子显微镜室下方以与所述扫描电子显微镜室分离并安装有待检查物体的台架；以及用于在所述台架上方传送所述扫描电子显微镜室的横向导向部。在所述扫描电子显微镜室与待检查物体之间维持大气条件。相应地，待检查物体，尤其是大尺寸的待检查物体可被检查，而不会损坏待检查物体，从而可实现费用的减少和产量的提高。

公开(公告)号：CN103180690A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201180050911.X

申请日：2011-10-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 笹岛二大 ,  木村嘉宏

IPC: G01B15/04 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06K9/00523 ,  G03F7/70625 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在测定过程变动大的图案的情况下，在预先登记的测定区域中，若在测定对象图案的周围存在不是测定对象的图案或废料等的噪声时，则不能够进行正确测定。将样品的图像数据中的进行图案匹配而用于对位的规定的区域设定为从图案测定的对象中除外的非测定对象区域。例如在测定过程变动大的图案的情况下，图案匹配中仅使用包含过程变动小的图案在内的区域，图案测定时，将在图案匹配中使用而用于对位的规定的区域设定为非测定对象区域。由此，能够不受测定区域与非测定对象区域相重叠的区域的影响，即使对于过程变动大的图案也能够进行容易且稳定的图案测定。

公开(公告)号：CN1924553B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200610126647.4

申请日：2006-08-31

Applicant: FEI公司

Inventor： D·J·马斯 ,  S·A·M·门廷克 ,  J·J·L·霍里克希 ,  B·H·弗雷塔格

IPC: G01N13/10 ,  H01J37/26 ,  G01B15/00

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/282

Abstract: 本发明涉及一种用于确定电子扫描显微镜中的透镜误差的方法，更具体地涉及一种使得这种透镜误差能被确定的样品。本发明描述了例如立方体氧化镁晶体的应用，所述氧化镁晶体很容易在硅晶片上被生产成所谓的“自组装”晶体。这样的晶体有几乎完美的角和边。即使在有透镜误差存在的情形下，这也能呈现出如同在不存在透镜误差的情况下的清楚印象。这允许在不同的欠焦和过焦平面上良好地重构光束横截面。在该重建的基础上透镜误差能被确定，于是它们能利用校正器被校正。

公开(公告)号：CN102812533A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201180016692.3

申请日：2011-04-07

Applicant: FEI公司

Inventor： M.斯特劳 ,  M.W.乌特劳特 ,  N.W.帕克

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/06 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2815 ,  H01J2237/2855 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。

公开(公告)号：CN102759540A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210135414.6

申请日：2007-02-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 宫本敦 ,  长友涉 ,  松冈良一 ,  诸熊秀俊

IPC: G01N23/225 ,  G03B42/00

CPC classification number: G01N23/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。

公开(公告)号：CN102709143A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201210111707.0

申请日：2004-09-07

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 ,  以色列实用材料有限公司

Inventor： 赖纳·克尼佩梅尔 ,  奥利弗·金茨勒 ,  托马斯·克门 ,  海科·米勒 ,  斯特凡·乌勒曼 ,  马克西米利安·海德尔 ,  安东尼奥·卡萨雷斯 ,  史蒂文·罗杰

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00

CPC classification number: H01J37/04 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/14 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。

公开(公告)号：CN101128909B

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN200680006079.2

申请日：2006-02-23

Applicant: 电子线技术院株式会社

Inventor： 金浩燮 ,  金秉辰

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/023 ,  H01J37/067

Abstract: 本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，从而可以通过插入到塞孔中的螺栓或凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。