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公开(公告)号：CN103456670B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201310378980.4
申请日：2008-07-11
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 吉多·德布尔 , 米歇尔·彼得·丹斯贝格 , 彼得·克勒伊特
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/707 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70308 , G03F7/70783 , H01J37/20 , H01J37/3174 , H01J2237/2007 , H01L21/6875 , H01L21/68757
Abstract: 本发明涉及在光刻装置中交换晶片（1）的方法。所述光刻装置具有在真空下操作的条件，所述方法包括：将所述晶片（1）放置在晶片工作台（8）上的步骤，将所述晶片工作台（8）和所述晶片（1）插入所述光刻装置的后续步骤（IT），处理所述晶片（1）的步骤（PW），从所述光刻装置移除所述晶片工作台（8）和所述晶片（1）的步骤（RT），将所述晶片（1）从所述晶片工作台（8）上分离的步骤（DW），以及为了在所述光刻装置内交换所述晶片（1）的目的，将所述晶片工作台（8）与另一个晶片工作台进行交换的步骤，以及处理所述光刻装置外侧的所述晶片工作台（8）的步骤，其中，在该处理中，所述晶片工作台（8）的温度是可调节的。
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公开(公告)号：CN105144336B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201480023185.6
申请日：2014-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J27/26 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/073 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J29/481 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/062 , H01J2237/06341 , H01J2237/06375 , H01J2237/0802 , H01J2237/1508 , H01J2237/2007 , H01J2237/2801
Abstract: 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。
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公开(公告)号：CN104685603B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201380039786.1
申请日：2013-06-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/006 , H01J2237/063 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2007 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。
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公开(公告)号：CN103477415B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201280017689.8
申请日：2012-03-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/16 , H01J2237/164 , H01J2237/1825 , H01J2237/2007 , H01J2237/2608
Abstract: 提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。
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公开(公告)号：CN103492851B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280019427.5
申请日：2012-04-23
Applicant: FEI公司
Inventor： P.戈特利布
CPC classification number: G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/286 , G01N1/36 , H01J2237/2007 , H01J2237/201
Abstract: 通过一种大大减少样品制备时间和促进自动化的系统制作用于在分析仪器中使用的矿物样品。例如，在一些实现方式中，不是进行研磨以暴露出在环氧树脂化合物内包含矿物颗粒的样品塞中的矿物颗粒的内部，用锯将样品塞切成片，这在许多应用中更迅速地在所暴露的颗粒表面上提供足够光滑的表面，以便进行观察。不是缓慢地混合慢固化环氧树脂以避免向样品塞内引入泡沫，一些实现方式使用避免泡沫的快速沉淀固定剂和机械混合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104094376B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201380008020.7
申请日：2013-01-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/226 , H01J37/026 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/0047 , H01J2237/06 , H01J2237/2007 , H01J2237/2801 , H02N13/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可有效地实现静电吸盘的除电的带电粒子束装置。为了达成上述目的，在本发明中提出一种带电粒子束装置，其特征在于，具备将包括静电吸盘机构(5)的空间维持在真空状态的样品室，带电粒子束装置具备用于向样品室内照射紫外光的紫外光源(6)、和被该紫外光照射的被照射部件，该被照射部件配置在所述静电吸盘的吸附面的垂线方向上。
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公开(公告)号：CN102971822B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201080067319.6
申请日：2010-04-07
Applicant: 多伦多大学董事局
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/185 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/2008 , H01J2237/204 , H01J2237/206 , H01J2237/208
Abstract: 本发明涉及一种用于将一个或多个操纵器运送进电子显微镜的真空样品室内的载体装置，其特征在于，所述载体装置包括：（i）平台，其具有用于将一个或多个操纵器以可拆卸的方式固定到平台的固定器件；以及（ii）电连接器，其固定到平台，用于一个或多个操纵器的电连接。本发明还涉及一种用于在不改变真空样品室的真空的情况下将载体装置运送进电子显微镜的真空样品室内的方法，包括运送本发明的载体装置穿过电子显微镜的样品更换室将并且进入真空样品室。
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公开(公告)号：CN103460335B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201180013955.5
申请日：2011-03-16
IPC: H01L21/00 , H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6831 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/002 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/20214 , H01J2237/2065 , H01J2237/31701 , H01L21/67109
Abstract: 本发明涉及利用蒸汽压缩冷却系统的离子注入系统。在一个实施例中，在蒸汽压缩系统中的热控制器依照理想蒸汽压缩循环发送制冷剂流体通过压缩机和冷凝器，以帮助限制或防止在注入期间工件不期望的加热，或者主动冷却所述工件。
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公开(公告)号：CN105144336A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480023185.6
申请日：2014-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J27/26 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/073 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J29/481 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/062 , H01J2237/06341 , H01J2237/06375 , H01J2237/0802 , H01J2237/1508 , H01J2237/2007 , H01J2237/2801
Abstract: 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。
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公开(公告)号：CN104685603A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380039786.1
申请日：2013-06-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/006 , H01J2237/063 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2007 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。
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