公开(公告)号：CN103217151A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201210017308.8

申请日：2012-01-19

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郑辛 ,  杨军 ,  刘晓智 ,  刘大俊 ,  刘迎春 ,  盛洁 ,  杨轶博 ,  章敏明 ,  廖兴才

IPC: G01C19/5712

Abstract: 本发明属于陀螺敏感装置，具体涉及一种四质量块线振动硅微陀螺敏感装置。一种四质量块线振动硅微陀螺敏感装置，包括敏感结构和分别设置敏感结构上下两侧的上封帽、下封帽，所述的敏感结构包括4个质量块。本发明的显著效果是：避免了耦合误差；抵消了在硅微陀螺敏感装置工作状态下基座所受耦合力矩；节约了加工成本。

公开(公告)号：CN102040186A

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN201010538418.X

申请日：2010-11-09

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 杨军 ,  郑辛 ,  王登顺 ,  丁凯 ,  安泰 ,  余凯 ,  章敏明

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明属于MEMS器件封装技术领域，具体涉及一种高真空陶瓷LCC封装方法。按照本方法所述步骤依次经过等离子清洗、共晶贴片、引线互连、吸气剂激活和共晶封接完成封装的MEMS器件满足如下要求：封装腔体内的真空度小于1Pa，保存期限大于等于15年，实现了硅微陀螺Q值约为15万的封装。通过采用等离子清洗方法，提高了封装质量，降低了封装体的整体漏率，即外漏问题；通过选用与封接焊料相同的贴片焊料进行共晶的方法进行贴片，减少了封装体内部材料的放气量；通过吸气剂激活，可有效吸附封装体内释放的少量气体，保证了封装体内的较好真空度。

公开(公告)号：CN103217151B

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201210017308.8

申请日：2012-01-19

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郑辛 ,  杨军 ,  刘晓智 ,  刘大俊 ,  刘迎春 ,  盛洁 ,  杨轶博 ,  章敏明 ,  廖兴才

IPC: G01C19/5712

Abstract: 本发明属于陀螺敏感装置，具体涉及一种四质量块线振动硅微陀螺敏感装置。一种四质量块线振动硅微陀螺敏感装置，包括敏感结构和分别设置敏感结构上下两侧的上封帽、下封帽，所述的敏感结构包括4个质量块。本发明的显著效果是：避免了耦合误差；抵消了在硅微陀螺敏感装置工作状态下基座所受耦合力矩；节约了加工成本。

公开(公告)号：CN102040186B

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201010538418.X

申请日：2010-11-09

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 杨军 ,  郑辛 ,  王登顺 ,  丁凯 ,  安泰 ,  余凯 ,  章敏明

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明属于MEMS器件封装技术领域，具体涉及一种高真空陶瓷LCC封装方法。按照本方法所述步骤依次经过等离子清洗、共晶贴片、引线互连、吸气剂激活和共晶封接完成封装的MEMS器件满足如下要求：封装腔体内的真空度小于1Pa，保存期限大于等于15年，实现了硅微陀螺Q值约为15万的封装。通过采用等离子清洗方法，提高了封装质量，降低了封装体的整体漏率，即外漏问题；通过选用与封接焊料相同的贴片焊料进行共晶的方法进行贴片，减少了封装体内部材料的放气量；通过吸气剂激活，可有效吸附封装体内释放的少量气体，保证了封装体内的较好真空度。

公开(公告)号：CN202836570U

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201220304592.2

申请日：2012-06-26

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 廖兴才 ,  章敏明 ,  谭淞

IPC: G01C19/5614

Abstract: 本实用新型属于电路，具体涉及一种基于虚拟地芯片的石英音叉陀螺驱动电路。它包括与驱动叉指连接的前置放大器，前置放大器输出的信号经过电容C1后与比较器的一个输入端连接，比较器的另一个输入端与一个虚地芯片的输出端连接，该虚地芯片的电源与高电压+Vs连接，虚地芯片的地与地连接，该电路中还设置了第二个虚地芯片，该第二个虚地芯片的输出端通过电阻R1与电容C1和比较器的连接端连接，该第二个虚地芯片的电源与高电压+Vs连接，第二个虚地芯片的地与地连接，比较器的输出作为本电路的输出，同时该输出还与驱动叉指的另一端连接。本新型的效果是：有效抑制了参考虚拟地上的交流干扰。

公开(公告)号：CN202836569U

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201220304041.6

申请日：2012-06-26

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 章敏明 ,  廖兴才 ,  谭淞

IPC: G01C19/5614

Abstract: 本新型属于电路，具体涉及一种基于分压电阻的石英音叉陀螺驱动电路。它包括与驱动叉指连接的前置放大器，前置放大器输出的信号经过电容C1后与比较器的一个输入端连接，比较器可以采用任意现有比较器实现，比较器的另一个输入端与一个虚地发生电路的输出端连接，该虚地发生电路的电源与高电压+Vs连接，虚地发生电路的地与地连接，该电路中还设置了第二个虚地发生电路，该第二个虚地发生电路的输出端通过电阻R1与电容C1和比较器的连接端连接，该第二个虚地发生电路的电源与高电压+Vs连接，第二个虚地发生电路的地与地连接，比较器的输出作为本电路的输出，同时该输出还与驱动叉指的另一端连接。本新型的效果是：抑制了交流干扰。