公开(公告)号：NL2013507A

公开(公告)日：2015-04-09

申请号：NL2013507

申请日：2014-09-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS ,  EUSSEN EMIEL JOZEF MELANIE ,  JEUNINK ANDRE BERNARDUS

IPC: G01D5/38 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL2011253A

公开(公告)日：2014-02-25

申请号：NL2011253

申请日：2013-08-02

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS ,  BEERENS RUUD ANTONIUS CATHARINA MARIA ,  CUIJPERS MARTINUS AGNES WILLEM ,  HOOGENDAM CHRISTIAAN ALEXANDER ,  JACOBS FRANSISCUS MATHIJS ,  KOENEN WILLEM HERMAN GERTRUDA ANNA ,  LOOPSTRA ERIK ROELOF

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2011427A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：NL2011427

申请日：2013-09-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： DEKKERS JEROEN ,  JEUNINK ANDRE BERNARDUS ,  LOOPSTRA ERIK ,  PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS ,  RENKENS MICHAEL JOZEF MATHIJS ,  SCHOORMANS CAROLUS JOHANNES CATHARINA ,  HOEKSTRA PETER

IPC: G01D5/26 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL2011322A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：NL2011322

申请日：2013-08-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BEERENS RUUD ANTONIUS CATHARINA MARIA ,  RUTTEN ROB JOHAN THEODOOR ,  WESTERLAKEN JAN STEVEN CHRISTIAAN ,  ZAAL KOEN JACOBUS JOHANNES MARIA ,  LIESHOUT RICHARD HENRICUS ADRIANUS ,  PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL1036180A1

公开(公告)日：2009-05-25

申请号：NL1036180

申请日：2008-11-10

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KOENEN WILLEM HERMAN GERTRUDA ,  EUSSEN EMIEL JOZEF MELANIE ,  PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS

IPC: G03F9/00 ,  H01L21/68 ,  H01L23/544