公开(公告)号：NL2005309A

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：NL2005309

申请日：2010-09-03

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BEERENS RUUD ,  DONDERS SJOERD ,  PASCH ENGELBERTUS ,  VEN BASTIAAN ,  VERMEULEN JOHANNES

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2008833A

公开(公告)日：2012-12-28

申请号：NL2008833

申请日：2012-05-16

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HUANG YANG-SHAN ,  BUTLER HANS ,  EIJK JAN ,  HOL SVEN ANTOIN JOHAN ,  PASCH ENGELBERTUS ,  VEN BASTIAAN ,  VERMEULEN JOHANNES ,  CADEE THEODORUS ,  LEEUWEN ROBBERT

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2010529A

公开(公告)日：2013-09-30

申请号：NL2010529

申请日：2013-03-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： VEN BASTIAAN ,  BUTLER HANS ,  LOOPSTRA ERIK ,  GROOT ANTONIUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2010193A

公开(公告)日：2013-08-06

申请号：NL2010193

申请日：2013-01-28

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV

Inventor： VEN BASTIAAN ,  GROOT ANTONIUS ,  VERMEULEN JOHANNES ,  CADEE THEODORUS PETRUS MARIA ,  RIJS ROBERTUS MATHIJS GERARDUS ,  LIESHOUT RICHARD HENRICUS ADRIANUS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68