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公开(公告)号：CN108709505B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201810764638.0
申请日：2018-07-12
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开一种大量程干涉式光栅尺及其测距方法，包括光栅阵列和双读数头系统，光栅阵列由多个光栅单元拼接而成，双读数头系统包括一激光器、一分光器、两个读数头及数据处理单元；激光器用于发出一激光束，分光器用于对激光束进行分光，以得到用于投射到光栅阵列的第一激光束和第二激光束；两个读数头分别获取对应于第一激光束和第二激光束的实时位移读数；数据处理单元用于对两个读数头的实时位移读数进行数据处理，获得实际位移；其中，所述数据处理包括：根据单读数头各自的实时位移读数以及光栅单元之间的间距，进行间距补偿和读数头状态判断；基于读数头所处的状态，利用单读数头的实时位移读数和间距补偿结果计算所述实际位移。
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公开(公告)号：CN110568720A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910798261.5
申请日：2019-08-27
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种微偏振片模板的制作方法，包括：S1：在基底一侧的表面设置第一光刻胶层；S2：制作掩膜版；S3：利用所述掩膜版对所述第一光刻胶层进行接触曝光；S4：在所述第一光刻胶层远离所述基底的一侧的表面涂覆第二光刻胶层；S5：利用全息光刻对所述第二光刻胶层进行曝光并显影；S6：在所述第二光刻胶层远离所述底板一侧表面上沉积金属层；S7：将所述第一光刻胶层、所述第二光刻胶层剥离，得到所述微偏振片模板。本发明公开的微偏振片模板的制作方法避免了电子束直写曝光制作周期长且设备使用费昂贵问题。
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公开(公告)号：CN110440688A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910654027.5
申请日：2019-07-19
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种绝对式光栅尺参考位置测量方法，包括：在测量光栅中设置增量码道、零位编码，并在读数头中设置参考位置测量单元、增量位移测量单元；对所述零位编码进行距离编码设计，根据相邻零位编码之间的距离对照编码距离可以得到所述零位编码的绝对位置信息；利用所述参考位置测量单元检测零位脉冲信号；利用所述增量位移测量单元检测增量位移信号；所述参考位置测量单元包括第一分光棱镜、第二分光棱镜、掩膜板和第一探测器，所述第二分光棱镜设置于所述第一分光棱镜与所述掩膜板之间以减小零位脉冲信号衍射效应。本发明还公开了一种绝对式光栅尺参考位置测量系统。本发明可提升绝对光栅尺测量精度，使绝对式光栅尺测量精度达到其分辨力数量级，以适用于精密加工和检测领域精密测量环节。
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公开(公告)号：CN110044286A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910299737.0
申请日：2019-04-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/14
Abstract: 本发明公开了一种光谱共焦轴向距离检测方法、装置及设备，所述方法包括以下步骤：驱动光谱共焦测头轴向扫描待测物体表面，比对各扫描位置的反射光谱信号，获取测量范围内每个光谱仪像素能够产生的最大光强，归为一组作为参比光强信号；获得噪声光谱信号；根据所述参比光强信号、所述噪声光谱信号和所述反射光谱信号，计算所述各扫描位置的色散反射率光谱。本发明通过获取测量范围内每个光谱仪像素能够产生的最大光强作为参比光强信号，并通过噪声光谱信号来计算色散反射率，进而对色散反射率寻峰，作为聚焦像素序号值，弥补了光源造成的不同波长光线的强度、透过率等差异，可以有效提高聚焦像素序号值的求解精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109405749A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811378447.7
申请日：2018-11-19
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种激光成像测距方法和系统，包括用于出射激光的激光器、第一透镜、第一成像镜头组、第二成像镜头组和探测器，所述激光经过所述第一透镜并在待测物的表面形成光斑，所述第一成像镜头组和第二成像镜头组用于将所述光斑形成的散射光转化为互相垂直的偏振光，所述探测器将所述偏振光转化的光电信号反馈至所述激光器。本发明通过对互相垂直的两个方向的偏振激光进行成像、转化和收集分析，提高图象的对比度，消除待测物表面不规则造成的镜面反射对测量过程的影响，根据光斑的中心检测图案，计算成像光点的移动距离，提高测量的精度和稳定性。
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公开(公告)号：CN109238153A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811064599.X
申请日：2018-09-12
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质。本发明通过利用信号光频梳作为测量臂光路的光源，并利用本振光频梳与两组测量光脉冲进行多外差干涉，通过测量干涉信号的相位时延，计算出待测物体厚度，克服了传统迈克尔逊干涉仪存在的无法对待测表面之间的绝对距离进行测量的技术问题，实现了一种有利于高精度、高实时性的光学表面距离测量双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质。本发明可广泛应用于平行表面距离的测量。
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公开(公告)号：CN106226855B
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201610840386.6
申请日：2016-09-21
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种全息光栅的制作装置，包括光源、准直镜、光阑、分束镜、两面反射镜和光栅基板，其中所述光源采用激光二极管，所述光源、所述准直镜和所述光阑沿光束前进的方向依次共轴排列，所述分束镜设置在所述光束经过所述光阑后的光路上，所述分束镜用于将所述光束反射为两光束，两面所述反射镜分别设置在经所述分束镜反射后的两光束的光路上，两面所述反射镜以所述分束镜为轴轴对称设置，所述光栅基板设置在干涉场。本发明提出的全息光栅的制作装置，大大降低了光源的成本，简化了结构、体积也大大减小。
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公开(公告)号：CN108426531A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810330428.0
申请日：2018-04-13
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明提供一种复合膜厚度在线测量系统，能够实时、高精度的获取复合膜同一探测区域的各层厚度。其中复合膜包括不透明基底层和透明涂层。通过激光三角法测量模块获取不透明基底的厚度参数，通过红外测量模块获取透明涂层的厚度参数，两个测量模块共用主要光路通道，保证内部结构紧凑；同时把两个测量模块的被测区域限定在同一位置处，实现复合膜同一区域参数的同时、高精度、在线测量。
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公开(公告)号：CN105738972B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201610235054.5
申请日：2016-04-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01V11/00
Abstract: 本发明公开了一种水下探测系统及水下探测方法。水下探测系统包括激光发射装置，超声探测装置和测量装置；所述激光发射装置用于向水下待探测的区域内的目标物体发射波长在430～570nm的激光，所述超声探测装置用于接收所述目标物体吸收所述激光后产生的超声波，所述测量装置的输入端连接所述超声探测装置的输出端，用于对所述超声探测装置输出的超声信号进行分析处理获取所述目标物体的信息。本发明的水下探测系统及水下探测方法，可实现更远探测距离和更高探测精度。
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