基于叠层钝化型的高电子迁移率晶体管及制备方法

    公开(公告)号:CN108682628A

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201810460862.0

    申请日:2018-05-15

    CPC classification number: H01L29/66462 H01L21/56 H01L23/3171 H01L29/7787

    Abstract: 本发明涉及一种基于叠层钝化型的高电子迁移率晶体管及制备方法,包括:S101、选取外延基片;所述外延基片由下往上依次包括衬底、AlN成核层、GaN缓冲层、AlN插入层、AlGaN势垒层和GaN帽层;S102、在所述外延基片上制作源电极和漏电极;S103、在所述外延基片表面上依次生长氮化硅层和富硅层形成叠层钝化结构;S104、光刻栅极槽,在所述栅极槽和所述富硅层上生长栅介质层;S105、制备栅电极和金属互联层以完成所述高电子迁移率晶体管的制备。本发明提供的基于叠层钝化型的高电子迁移率晶体管及制备方法在生长SiN层再生长一层富硅层层,可以阻止水汽和氧进入GaN高电子迁移率晶体管,提高器件在潮湿环境下输出电流。

    一种塑封小型固态继电器及其制造方法

    公开(公告)号:CN108470689A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201810572756.1

    申请日:2018-06-06

    Inventor: 吴家健 姚霜霜

    CPC classification number: H01L21/56 H05K1/142

    Abstract: 本发明公开了一种塑料封装的小型固态继电器,包括组合框架,环氧塑封料,组合框架的PCB板上焊接有元器件,组合框架的部分PCB板和元器件包覆于环氧塑封料内,元器件露出引脚部分。步骤为:a、把PCB板及铜引脚框架通过一次焊接连接在一起;b、将电子元器件焊接在组合框架上;c、将焊接好的框架放入塑封压机,利用环氧塑封料进行塑封;d、将塑封好的产品进行固化、软化去溢料、切筋、电镀、测试、印字、装管等一系列工序。采用铜引脚框架及PCB框架形成组合式框架,避免了类集成电路框架多基岛的技术问题,及开模复杂费用高等问题;避开了传统的单只产品焊接,套壳灌封等效率问题;采用塑封外形,提高产品的可靠性,散热性,外观一致性。

    一种芯片封装体的制备方法

    公开(公告)号:CN108242430A

    公开(公告)日:2018-07-03

    申请号:CN201711498799.1

    申请日:2017-12-29

    Inventor: 施陈 周锋 卢海伦

    Abstract: 本申请公开了一种芯片封装体的制备方法,涉及芯片封装技术领域。所述方法包括:提供封装基板和芯片,封装基板包括至少一个用于与芯片上的金属凸点配合连接的第一焊盘、至少一个用于与连接端子互连的第二焊盘,其中,第一焊盘与第二焊盘位于封装基板的同一面;芯片贴装于封装基板上,其中,芯片上的金属凸点与第一焊盘配合连接,且将连接端子置于第二焊盘上;对封装基板进行焊接,以使芯片与第一焊盘、连接端子与第二焊盘焊接互连,得到芯片封装原体。通过上述方式,能够降低基板因多次受热而变形的概率;缩减封装工艺、提高封装工艺效率、提高设备产能、降低封装成本。

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